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미세 이송기구 및 이를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치

  • 기술번호 : KST2020002480
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 이송기구는, 제1 구동 부재 및 상기 제1 구동부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 제1 수평 구동 이송 모듈; 제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 구동되어 제 1 축을 따라 이송되는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 제2 수평 구동 이송 모듈; 상기 제1 리니어 가이드 부재 상에 회동 가능하게 연결되는 제1 링크 부재; 및 상기 제2 리니어 가이드 부재 상에 회동 가능하게 연결되는 제2 링크 부재를 포함하며, 상기 제1 링크 부재와 상기 제2 링크 부재는 서로 회동 가능하게 연결되는 링크 모듈; 상기 링크 모듈의 상부에 결합되며 상기 제1 링크 부재 및 상기 제2 링크 부재의 상대 회동에 연동되어 수직 방향으로 이송되는 조인트 모듈; 및 상기 조인트 모듈에 상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송 및 틸팅 가능하게 결합되는 수평 자유 이송 모듈을 포함하는, 미세 이송기구를 제공한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01)
출원번호/일자 1020180096314 (2018.08.17)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0020522 (2020.02.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재일 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 피씨알 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***, **층(삼성동, 송암빌딩*)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0816158-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0141657-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0918759-61
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-0173744-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0293279-97
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0293280-33
8 등록결정서
Decision to grant
2020.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0496672-24
9 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.08.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5021831-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트의 상부에 이격 배치되는 모션 플레이트; 및미세 이송기구를 포함하며,상기 미세 이송기구는,제1 구동 부재 및 상기 제1 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되는 제1 리니어 가이드 부재를 포함하는 제1 수평 구동 이송 모듈;제2 구동 부재 및 상기 제2 구동 부재에 의해 구동되어 제1 축을 따라 이송되는 제2 리니어 가이드 부재를 포함하는 제2 수평 구동 이송 모듈;상기 제1 리니어 가이드 부재 상에 회동 가능하게 연결되는 제1 링크 부재; 및 상기 제2 리니어 가이드 부재 상에 회동 가능하게 연결되는 제2 링크 부재를 포함하며, 상기 제1 링크 부재와 상기 제2 링크 부재는 서로 회동 가능하게 연결되는 링크 모듈;상기 링크 모듈의 상부에 결합되며 상기 제1 링크 부재 및 상기 제2 링크 부재의 상대 회동에 연동되어 수직 방향으로 이송되는 조인트 모듈; 및상기 조인트 모듈에 상기 제1 축과 상이한 제2 축을 따라 이송 및 틸팅 가능하게 결합되는 수평 자유 이송 모듈을 포함하며, 상기 미세 이송기구는 상기 베이스 플레이트 상에 적어도 2개 이상 배치되어 상기 모션 플레이트를 지지하며 이송시키며, 상기 미세 이송기구는,제1 미세 이송기구; 및상기 제2 축이 상기 제1 미세 이송기구의 상기 제1 축과 동일한 방향으로 연장되는 제2 미세 이송기구를 포함하는 초정밀 포지셔닝 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 축과 상기 제2 축은 서로 직교하는 초정밀 포지셔닝 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 리니어 가이드 부재 및 상기 제2 리니어 가이드 부재는 상기 제1 축 상에 서로 대향되게 배치되는 초정밀 포지셔닝 장치
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 수평 자유 이송 모듈은 상기 모션 플레이트에 일체로 형성되는 초정밀 포지셔닝 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 베이스 플레이트 상에 배치되며, 상기 모션 플레이트의 이송에 따라 변형되면서 상기 모션 플레이트를 지지하는 보조 지지기구를 더 포함하는, 초정밀 포지셔닝 장치
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 제1 미세 이송기구는,상기 제1 축이 동일한 방향으로 연장되는 복수 개가 구비되며, 서로 이격 배치되는 초정밀 포지셔닝 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.