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초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템 및 이의 실행 방법

  • 기술번호 : KST2020002594
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템은 복수의 연결 부재 중 어느 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 초순수 세정액 탱크에 저장된 초순수 세정액을 제공받으면, 상기 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 샘플링한 후 샘플링 초순수 세정액을 다른 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공하는 정량 펌프, 상기 정량 펌프를 통해 샘플링 초순수 세정액을 공급받아 내부에 저장하고, 상기 내부의 샘플링 초순수 세정액의 높이가 특정 높이 이상이면 상기 샘플링 초순수 세정액 중 일부 초순수 세정액을 외부로 배수하여 내부의 상기 특정 높이에 해당하는 샘플링 초순수 세정액에 프로브가 접촉되록하는 실시간 초순수 세정액 탱크 및 상기 실시간 초순수 세정액 저장 탱크에 저장된 나머지 초순수 세정액의 전기 전도도를 측정하는 전기 전도도 측정 장치를 포함한다. 따라서, 본 발명은 반도체 웨이퍼의 초순수 세정액에 대한 금속 이온의 오염 여부 및 오염 정도를 실시간 측정할 수 있다는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) G01N 27/06 (2006.01.01) G01N 33/18 (2006.01.01) G01N 1/10 (2006.01.01) G01F 23/28 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020190131316 (2019.10.22)
출원인 (주)제이쓰리, 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-2083287-0000 (2020.02.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200302) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)제이쓰리 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동완 충청남도 아산시
2 황태진 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)제이쓰리 충청남도 천안시 동남구
2 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-1078940-36
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-1077941-14
3 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2019.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0172430-16
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2019-0054295-63
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0007052-02
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0023875-89
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2020-0023874-33
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0136470-65
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번호 청구항
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복수의 연결 부재 중 어느 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 초순수 세정액 탱크에 저장된 초순수 세정액을 제공받으면, 상기 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 샘플링한 후 샘플링 초순수 세정액을 다른 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공하는 정량 펌프; 상기 정량 펌프를 통해 샘플링 초순수 세정액을 공급받아 내부에 저장하고, 상기 내부의 샘플링 초순수 세정액의 높이가 특정 높이 이상이면 상기 샘플링 초순수 세정액 중 일부 초순수 세정액을 외부로 배수하여 내부의 샘플링 초순수 세정액이 상기 특정 높이에 해당하도록 하며 상기 특정 높이에 해당하는 샘플링 초순수 세정액에 프로브가 접촉되도록하는 실시간 초순수 세정액 탱크; 및상기 실시간 초순수 세정액 저장 탱크에 저장된 나머지 초순수 세정액의 전기 전도도를 측정하는 전기 전도도 측정 장치를 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 정량 펌프는상기 초순수 세정액 탱크에 저장된 초순수 세정액을 제공하는 제1 초순수 세정액 제공 배관과 연결되는 제1 연결 부재; 상기 제1 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공받은 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 샘플링한 후 샘플링 초순수 세정액을 결정하는 바디; 및상기 샘플링 초순수 세정액을 상기 실시간 초순수 세정액 탱크에 제공하는 제2 초순수 세정액 제공 배관과 연결되는 제2 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 실시간 초순수 세정액 탱크는상기 제2 초순수 세정액 제공 배관이 삽입되는 배관 삽입 홀이 형성되어 있는 제1 케이스; 공급된 초순수 세정액을 외부로 배수하는 제2 케이스; 및상기 제1 케이스 및 제2 케이스 사이에 형성되며 상기 제2 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공받은 상기 샘플링 초순수 세정액을 내부에 저장하며, 내부의 샘플링 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 상기 제2 케이스에 제공하기 위한 복수의 배수 홀이 형성되어 있는 초순수 세정액 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제2 케이스는상기 초순수 세정액 하우징의 내부의 샘플링 초순수 세정액 중 상기 복수의 배수 홀을 통해 외부로 배출된 일부 초순수 세정액을 공급받아 외부로 배수하는 초순수 세정액 배수 배관과 연결되는 제3 연결 부재가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템
5 5
제1항에 있어서,상기 실시간 초순수 세정액 탱크는상기 내부에 저장된 초순수 세정액의 높이가 상기 복수의 배수 홀의 높이보다 높은 경우 상기 복수의 배수 홀을 통해 상기 내부에 저장된 샘플링 초순수 세정액 중 일정 샘플링 초순수 세정액을 외부로 배출하여 상기 제2 케이스에 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 복수의 배수 홀은상기 프로브에 상기 상기 실시간 초순수 세정액 탱크의 내부 샘플링 초순수 세정액이 접촉해야하는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 복수의 배수 홀의 크기 및 개수는상기 제2 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공되는 샘플링 초순수 세정액의 양 및 제공 속도에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 시스템
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정량 펌프가 복수의 연결 부재 중 어느 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 초순수 세정액 탱크에 저장된 초순수 세정액을 제공받는 단계;상기 정량 펌프가 상기 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 샘플링한 후 샘플링 초순수 세정액을 다른 하나의 연결 부재에 연결된 초순수 세정액 제공 배관을 통해 실시간 초순수 세정액 탱크에 제공하는 단계;상기 실시간 초순수 세정액 탱크가 상기 정량 펌프를 통해 샘플링 초순수 세정액을 공급받아 내부에 저장하는 단계;상기 실시간 초순수 세정액 탱크가 상기 내부의 샘플링 초순수 세정액의 높이가 특정 높이 이상이면 상기 샘플링 초순수 세정액 중 일부 초순수 세정액을 외부로 배수하여 내부의 상기 특정 높이에 해당하는 샘플링 초순수 세정액에 프로브가 접촉되도록하는 단계; 및전기 전도도 측정 장치가 상기 실시간 초순수 세정액 저장 탱크에 저장된 나머지 초순수 세정액의 전기 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 정량 펌프는상기 초순수 세정액 탱크에 저장된 초순수 세정액을 제공하는 제1 초순수 세정액 제공 배관과 연결되는 제1 연결 부재; 상기 제1 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공받은 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 샘플링한 후 샘플링 초순수 세정액을 결정하는 바디; 및상기 샘플링 초순수 세정액을 상기 실시간 초순수 세정액 탱크에 제공하는 제2 초순수 세정액 제공 배관과 연결되는 제2 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 실시간 초순수 세정액 탱크는상기 제2 초순수 세정액 제공 배관이 삽입되는 배관 삽입 홀이 형성되어 있는 제1 케이스; 공급된 초순수 세정액을 외부로 배수하는 제2 케이스; 및상기 제1 케이스 및 제2 케이스 사이에 형성되며 상기 제2 초순수 세정액 제공 배관을 통해 제공받은 상기 샘플링 초순수 세정액을 내부에 저장하며, 내부의 샘플링 초순수 세정액 중 일정 초순수 세정액을 상기 제2 케이스에 제공하기 위한 복수의 배수 홀이 형성되어 있는 초순수 세정액 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는초순수 세정액 오염도 원격 모니터링 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국생산기술연구원 한국생산기술연구원 중소기업 기술경쟁력 강화 지원사업 반도체 웨이퍼 초순수 세정액 이온농도 변화 실시간 원격 모니터링 시스템 개발