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전이금속 전구체, 이를 포함하는 액상 조성물 및 이를 이용하는 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020002641
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규한 전이금속 전구체, 이를 포함하는 액상 조성물 및 이를 이용하는 전이금속 디칼코게나이드 박막의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명에 따르면 열적 안정성이 우수하여, 지속적인 가온 공정 결정화 속도로 안정적인 결정 구조를 형성할 수 있는 신규한 전이금속 전구체 를 이용하여, 낮은 온도 조건에서 용이한 조작으로 박막의 결함없이 화학량론적 계수를 충족하는 균일한 전이금속 디칼코게나이드 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C07F 11/00 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C07F 11/00(2013.01) C07F 11/00(2013.01) C07F 11/00(2013.01)
출원번호/일자 1020180108811 (2018.09.12)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-2119409-0000 (2020.06.01)
공개번호/일자 10-2020-0030233 (2020.03.20) 문서열기
공고번호/일자 (20200608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.12)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임종선 대전광역시 유성구
2 김창균 대전광역시 유성구
3 정택모 대전광역시 유성구
4 안기석 대전광역시 유성구
5 이선숙 대전광역시 중구
6 송우석 대전광역시 유성구
7 명성 대전광역시 서구
8 박보근 대전광역시 유성구
9 김자희 충청북도 청주시 서원구
10 임이랑 전라북도 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0906117-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0082766-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0685349-56
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-1191803-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-1326745-35
7 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
 2019.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-1326802-40
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1326727-13
9 [출원서 등 보완]보정서
 2019.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-1326760-10
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0360783-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식1로 표시되는 화합물;[화학식1](NR1R23)2MX4상기 화학식1에서,R1은 C7 내지 C20의 알킬이고;R2는 각각 독립적으로 수소 또는 C1 내지 C6의 알킬이고;M은 Mo, Nb 및 W에서 선택되는 전이금속이고;X는　S, Se 또는 Te이다
2 2
제 1항에 있어서,상기 R1은 C14 내지 C20의 알킬이고,상기 R2는 각각 독립적으로 수소 또는 메틸인, 화합물
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서,상기 화합물은 (세틸트리메틸암모늄)2WSe4인, 화합물
5 5
하기 화학식1로 표시되는 화합물 및 극성 유기용매를 포함하는, 전이금속 칼코게나이드 박막증착용 조성물;[화학식1](NR1R23)2MX4상기 화학식1에서,R1은 C7 내지 C20의 알킬이고;R2는 각각 독립적으로 수소 또는 C1 내지 C6의 알킬이고;M은 Mo, Nb 및 W에서 선택되는 전이금속이고;X는　S, Se 또는 Te이다
6 6
제 5항에 있어서,상기 극성 유기용매는 아세토니트릴, 디메틸설폭사이드, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, 헥사메틸포스포르아미드, N-메틸피롤리돈, 테트라하이드로퓨란,　에틸아세테이트 및 아세톤에서 선택되는 하나 이상의 비양자성 극성 유기용매인, 전이금속 칼코게나이드 박막증착용 조성물
7 7
제 5항에 따른 전이금속 칼코게나이드 박막증착용 조성물을 이용하여 기판에 코팅막을 형성한 후 상기 코팅막을 열분해하는 단계를 포함하는, 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 열분해는,650℃미만에서 수행되는 것인, 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
9 9
제 8항에 있어서,상기 열분해는,200 내지 550℃ 범위에서 1차 열분해한 후 550℃초과 범위에서 2차 열분해가 수행되는 것인, 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
10 10
제 5항에 따른 전이금속 칼코게나이드 박막증착용 조성물을 이용하여 제조된, 전이금속 칼코게나이드 박막
11 11
제 10항의 전이금속 칼코게나이드 박막을 포함하는, 트랜지스터
12 12
제 11항에 있어서,상기 전이금속 칼코게나이드 박막이 p형 반도체로 동작하는 것인, 트랜지스터
13 13
제 11항의 트랜지스터를 포함하는, 전자 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 원천기술개발사업 (EZ)소프트 전원 소자용 그래핀 기반 나노 복합 소재 기술 개발
2 기획예산처 한국화학연구원 정부출연 일반사업 (Sub) IoT 디바이스용 스마트 화학 소재 개발
3 기획예산처 한국화학연구원 정부출연 일반사업 IoT 디바이스용 스마트 화학 소재 개발