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양자점층을 포함하는 이미지 센서

  • 기술번호 : KST2020002876
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 양자점층을 포함하는 이미지 센서를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 양자점층을 포함하는 이미지 센서는 기판 상에 복수의 픽셀 영역에 대응되게 형성되는 광전 변환 소자; 상기 광전 변환 소자가 형성된 기판 상에 형성되는 배선층; 상기 배선층 상에 형성되고, 상기 광전 변환 소자에 대응되게 형성되는 컬러필터; 및 상기 컬러필터 상에 형성되고, 광을 흡수하여 특정 파장 영역의 가시광으로 발광하는 양자점층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 27/146 (2006.01.01) H01L 29/12 (2006.01.01)
CPC H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14643(2013.01) H01L 27/14643(2013.01)
출원번호/일자 1020200007491 (2020.01.20)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0011043 (2020.01.31) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2017-0103143 (2017.08.14)
관련 출원번호 1020170103143
심사청구여부/일자 Y (2020.01.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재근 경기도 성남시 분당구
2 김일환 서울특별시 성동구
3 박준성 경기도 안양시 만안구
4 고윤혁 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2020.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0064990-26
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0295515-61
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0471923-13
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-0471910-20
5 등록결정서
Decision to grant
2020.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0349863-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 상에 복수의 픽셀 영역에 대응되게 형성되는 광전 변환 소자;상기 광전 변환 소자가 형성된 기판 상에 형성되는 배선층; 상기 배선층 상에 형성되고, 상기 광전 변환 소자에 대응되게 형성되는 컬러필터; 및상기 컬러필터 상에 형성되고, 모든 파장대역의 광으로서 가시광 파장대역, 적외선 파장대역, 및 자외선 파장대역의 광을 동시에 흡수하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 가시광 파장대역의 광인 제1 가시광을 투과하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 상기 자외선 파장대역의 광 및 상기 적외선 파장대역의 광을 상기 가시광 파장대역의 광과 동시에 흡수하여 특정 파장 영역의 제2 가시광으로 발광하는 양자점층;을 포함하고,상기 양자점층은 청색, 녹색 및 적색의 가시광선 파장대역의 광은 투과시키고, 청색의 가시광을 증폭시키는 청색 양자점층인 것을 특징으로 하고,상기 양자점층은 ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnSeS, GaN, AlN, AlP, GaP, InN 및 그 조합 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하며,상기 광전 변환 소자에는 상기 제1 가시광 및 상기 제2 가시광이 동시에 입사되고, 상기 동시에 입사된 제1 가시광 및 상기 제2 가시광에 기초하여 이미지를 촬영하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 양자점층은 상기 자외선 파장대역의 광을 에너지-다운-쉬프트(energy-down-shift)시켜 상기 제2 가시광을 발광하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 양자점층은 상기 적외선 파장대역의 광을 에너지-업-쉬프트(energy-up-shift)시켜 상기 제2 가시광을 발광하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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삭제
5 5
기판 상에 복수의 픽셀 영역에 대응되게 형성되는 광전 변환 소자;상기 광전 변환 소자가 형성된 기판 상에 형성되는 배선층; 상기 배선층 상에 형성되고, 상기 광전 변환 소자에 대응되게 형성되는 컬러필터; 및상기 컬러필터 상에 형성되고, 모든 파장대역의 광으로서 가시광 파장대역, 적외선 파장대역, 및 자외선 파장대역의 광을 동시에 흡수하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 가시광 파장대역의 광인 제1 가시광을 투과하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 상기 자외선 파장대역의 광 및 상기 적외선 파장대역의 광을 상기 가시광 파장대역의 광과 동시에 흡수하여 특정 파장 영역의 제2 가시광으로 발광하는 양자점층;을 포함하고,상기 양자점층은 청색, 녹색 및 적색의 가시광선 파장대역의 광은 투과시키고, 적색의 가시광을 증폭시키는 적색 양자점층인 것을 특징으로 하고,상기 양자점층은 CdSe, CdTe, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, CdZnTe, GaAs, InP, InAs, GaNAs, GaPAs, AlNAs, AlPAs, InNAs, InPAs, GaAlNAs, GaAlPAs, GaInNAs, GaInPAs, InAlNAs, InAlPAs 및 그 조합 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하며,상기 광전 변환 소자에는 상기 제1 가시광 및 상기 제2 가시광이 동시에 입사되고, 상기 동시에 입사된 제1 가시광 및 상기 제2 가시광에 기초하여 이미지를 촬영하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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기판 상에 복수의 픽셀 영역에 대응되게 형성되는 광전 변환 소자;상기 광전 변환 소자가 형성된 기판 상에 형성되는 배선층; 상기 배선층 상에 형성되고, 상기 광전 변환 소자에 대응되게 형성되는 컬러필터; 및상기 컬러필터 상에 형성되고, 모든 파장대역의 광으로서 가시광 파장대역, 적외선 파장대역, 및 자외선 파장대역의 광을 동시에 흡수하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 가시광 파장대역의 광인 제1 가시광을 투과하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 상기 자외선 파장대역의 광 및 상기 적외선 파장대역의 광을 상기 가시광 파장대역의 광과 동시에 흡수하여 특정 파장 영역의 제2 가시광으로 발광하는 양자점층;을 포함하고, 상기 양자점층은 청색, 녹색 및 적색의 가시광선 파장대역의 광은 투과시키고, 녹색의 가시광을 증폭시키는 녹색 양자점층인 것을 특징으로 하고,상기 양자점층은 CdS, CdSe, ZnTe, CdSeS, CdSTe, ZnSeTe, ZnSTe, CdZnSe, CdZnTe, CdZnSeS, CdZnSeTe, CdZnSTe, GaP, InN, InP 및 그 조합 중 적어도 어느 하나를 포함하며,상기 광전 변환 소자에는 상기 제1 가시광 및 상기 제2 가시광이 동시에 입사되고, 상기 동시에 입사된 제1 가시광 및 상기 제2 가시광에 기초하여 이미지를 촬영하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 양자점층은 양자점 농도에 따라 투과율(transmittance)이 제어되는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 양자점층은 CdZnS/ZnS 코어/쉘 양자점 또는 Mn-doped CdZnS/ZnS 코어/쉘 양자점을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 광전 변환 소자는 실리콘 기반의 포토다이오드인 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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제1항에 있어서, 상기 양자점층을 포함하는 이미지 센서는,상기 양자점층 상부 또는 하부에 마이크로 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서
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기판을 형성하는 단계;상기 기판 상에 복수의 픽셀 영역에 대응되도록 광전 변환 소자를 형성하는 단계;상기 광전 변환 소자 상에 배선층을 형성하는 단계; 상기 배선층 상에서 상기 광전 변환 소자의 위치에 대응되도록 컬러필터를 형성하는 단계; 및상기 컬러필터 상에 양자점층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 양자점층은 모든 파장대역의 광으로서 가시광 파장대역, 적외선 파장대역, 및 자외선 파장대역의 광을 동시에 흡수하고, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 가시광 파장대역의 광인 제1 가시광을 투과하며, 상기 동시에 흡수되는 모든 파장대역의 광들 중에서, 상기 자외선 파장대역의 광 및 상기 적외선 파장대역의 광을 상기 가시광 파장대역의 광과 동시에 흡수하여 특정 파장 영역의 제2 가시광으로 발광하고, 상기 양자점층은 청색, 녹색 및 적색의 가시광선 파장대역의 광은 투과시키고, 청색의 가시광을 증폭시키는 청색 양자점층인 것을 특징으로 하고,상기 양자점층은 ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnSeS, GaN, AlN, AlP, GaP, InN 및 그 조합 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하며,상기 광전 변환 소자에는 상기 제1 가시광 및 상기 제2 가시광이 동시에 입사되고, 상기 동시에 입사된 제1 가시광 및 상기 제2 가시광에 기초하여 이미지를 촬영하는 것을 특징으로 하는 양자점층을 포함하는 이미지 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.