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복수의 시편들로 구성된 제1 영역을 스캐닝하는 전수 검사 모듈;상기 제1 영역에서 상기 전수 검사 모듈에 의해 불량 의심 시편으로 판단된 시편에 대해 검사를 수행하는 정밀 검사 모듈; 및상기 전수 검사 모듈 및 상기 정밀 검사 모듈에서 각각 취득된 데이터를 처리하고, 상기 제1 영역 내 불량 시편을 검출하는 제어부로 구성되고, 상기 정밀 검사 모듈은테라헤르츠 파를 상기 제1 영역에 방출하는 방출부,상기 테라헤르츠 파의 조사 방향을 유도하는 가이드 와이어, 및상기 가이드 와이어를 진동시키는 진동부로 구성되고,상기 테라헤르츠 파의 조사 영역은 상기 가이드 와이어에 의해 유도되어 형성되는 제2 영역이되, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역 내에 위치하고,상기 가이드 와이어는 상기 가이드 와이어와 상기 진동부 사이에 발생되는 인력에 의해 상기 가이드 와이어의 일단이 제1 방향을 향하도록 유도되고,상기 제2 영역은 상기 제1 방향으로 확장되는, 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서, 상기 진동부는 상기 가이드 와이어에 상기 제1 방향으로 이격되어 위치하고,상기 제2 영역이 상기 제1 방향으로 확장될 수 있는 영역은 상기 가이드 와이어와 상기 진동부 사이의 거리와 대응되는,시편 검사 장치
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제2 항에 있어서,상기 제어부는 상기 정밀 검사 모듈의 스캔 경로를 설정하고,상기 스캔 경로는 상기 가이드 와이어의 연장선과 상기 제1 영역이 만나는 다수의 스캔 포인트들의 집합이고, 상기 제2 영역은 상기 다수의 스캔 포인트들 중 적어도 어느 하나의 스캔 포인트를 기준으로 형성되는 시편 검사 장치
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제3 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 제1 영역에서 상기 전수 검사 모듈에 의해 불량 의심 시편이라고 판단된 시편들의 좌표를 수집하며,상기 불량 의심 시편들의 좌표가 상기 스캔 경로에 포함되는 시편 검사 장치
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제4 항에 있어서,상기 제2 영역이 형성되는 상기 스캔 포인트는 상기 불량 의심 시편들의 좌표와 대응되는 시편 검사 장치
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제3 항에 있어서,상기 제어부는 상기 스캔 경로에서 형성되는 상기 제2 영역에 의해 불량 시편이라고 판단된 시편들의 좌표를 수집하는 시편 검사 장치
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제4 항에 있어서,상기 스캔 경로는 상기 불량 의심 시편들의 좌표를 기준으로 설정된 최단 경로이며,상기 최단 경로 상에 있는 상기 불량 의심 시편들의 좌표에 대응되는 스캔 포인트에서 상기 제2 영역이 형성되는 시편 검사 장치
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8
제4 항에 있어서,상기 스캔 경로는 상기 제1 영역을 모두 스캐닝할 수 있는 경로이며,상기 스캔 경로 상에 있는 상기 불량 의심 시편들의 좌표에 대응되는 스캔 포인트에서 상기 제2 영역이 형성되는 시편 검사 장치
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제3 항에 있어서,상기 복수의 시편 상에서 상기 정밀 검사 모듈이 검사를 수행하는 경우는 상기 시편이 상기 불량 의심 시편인 경우이고, 상기 복수의 시편 사이에서 상기 정밀 검사 모듈이 검사를 수행하는 경우는 상기 불량 의심 시편들이 연속적으로 위치한 경우인 시편 검사 장치
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제3 항에 있어서,상기 불량 의심 시편들이 연속적으로 위치하는 경우에 상기 제2 영역은 상기 복수의 불량 의심 시편들 사이 영역과 대응하는 영역에서 형성되는 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서, 상기 복수의 시편들은 제1 방향으로 이동 가능한 트레이 상에 위치하고, 상기 전수 검사 모듈 및 상기 정밀 검사 모듈은 상기 트레이 상에서 이격되어 제1 방향으로 위치하고, 상기 제1 영역 상에 상기 정밀 검사 모듈이 위치하도록 상기 트레이가 상기 제1 방향으로 이동하는 시편 검사 장치
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제11 항에 있어서, 상기 정밀 검사 모듈이 상기 제1 방향으로 이동된 상기 제1 영역의 상기 불량 의심 시편을 검사하는 것과 동시에, 상기 전수 검사 모듈이 상기 제1 영역과 인접한 복수의 시편들로 구성된 다른 영역을 스캐닝하는 시편 검사 장치
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복수의 시편들로 구성된 제1 영역을 스캐닝하는 전수 검사 단계;상기 제1 영역에서 상기 전수 검사 모듈에 의해 불량 의심 시편으로 판단된 시편에 대해 검사를 수행하는 정밀 검사 단계; 및상기 전수 검사 단계 및 상기 정밀 검사 단계에서 각각 취득된 데이터를 처리하고, 상기 제1 영역 내 불량 시편을 판단하는 제어 단계로 구성되고, 상기 정밀 검사 단계는상기 제1 영역에 대한 테라헤르츠 파 방출 단계,가이드 와이어에 의한 상기 테라헤르츠 파의 조사 방향 유도 단계, 및진동부에 의한 상기 가이드 와이어 진동 단계로 구성되고,상기 테라헤르츠 파의 조사 영역은 상기 가이드 와이어에 의해 유도되어 형성되는 제2 영역이되, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역 내에 위치하고,상기 가이드 와이어는 상기 가이드 와이어와 상기 진동부 사이에 발생되는 인력에 의해 상기 가이드 와이어의 일단이 제1 방향으로 향하도록 유도되고,상기 제2 영역은 상기 제1 방향으로 확장되는,시편 검사 방법
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제13 항에 있어서, 상기 제어 단계는 상기 불량 의심 시편들의 좌표를 기준으로 상기 전수 검사 모듈의 스캔 경로를 설정하는 단계를 더 포함하며,상기 스캔 경로는 상기 가이드 와이어의 연장선과 상기 제1 영역이 만나는 다수의 스캔 포인트들의 집합이고, 상기 제2 영역은 상기 다수의 스캔 포인트들 중 적어도 어느 하나의 스캔 포인트를 기준으로 형성되는 시편 검사 방법
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제13 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 따른 시편 검사 방법에 따라 상기 복수의 시편들의 불량 여부를 판단하기 위한 시편 검사 프로그램이 저장된 저장 매체
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