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반도체 장치로부터 파장 별로 계측된 계측 스펙트럼을 입력받는 스펙트럼 입력부; 상기 계측 스펙트럼과 비교하기 위한 테스트 스펙트럼을 산출하는 샘플 데이터가 저장된 라이브러리부;심플렉스 알고리즘 실행부와 DE(Differential Evolution) 알고리즘 실행부를 포함하며 이들 두 개의 알고리즘 실행부 중 어느 하나에서 산출된 샘플 데이터를 선택하여 테스트 스펙트럼을 산출하고, 상기 계측 스펙트럼과 상기 테스트 스펙트럼을 비교하여 차이를 최소화하는 샘플 데이터를 산출하는 과정을 반복하는 컨트롤러; 및상기 컨트롤러가 최소 차이의 테스트 스펙트럼을 산출한 샘플 데이터를 출력하는 출력부를 포함하는 장치
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제1항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 계측 스펙트럼과 상기 샘플 데이터에서 라이브러리부에 의해 산출된 테스트 스펙트럼의 차이의 제곱합을 최소화하는 상기 샘플 데이터를 산출하는 장치
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제2항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 라이브러리부의 샘플 데이터들 중에서 상기 차이의 제곱값을 최대화하는 값인 를 산출하고, 상기 심플렉스 알고리즘 실행부 또는 상기 DE 알고리즘 실행부에서 산출된 샘플 데이터를 이용하여 상기 컨트롤러가 테스트 스펙트럼을 산출하고, 상기 테스트 스펙트럼과 상기 계측 스펙트럼의 차이가 이전에 산출되었던 최소 차이값 보다 작은 경우, 상기 컨트롤러는 상기 에 상기 산출된 샘플 데이터를 대입하는 장치
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제3항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 테스트 스펙트럼에 대응하는 샘플 데이터를 산출한 알고리즘 실행부의 성공 가중치를 증가시키는 장치
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제1항에 있어서, 상기 심플렉스 알고리즘 실행부는 상기 라이브러리부에서 선택된 샘플 데이터들 중에서 하나의 샘플 데이터와 상기 샘플 데이터를 제외한 다른 둘 이상의 샘플 데이터의 중심점을 이용하여 반사지점에 배치된 샘플 데이터를 산출하는 장치
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제1항에 있어서, 상기 DE 알고리즘 실행부는 제k세대 또는 그 이전 세대의 샘플 데이터를 구성하는 파라미터를 이용하여 크로스 오버 방식으로 제(k+1) 세대의 파라미터를 산출하거나, 또는 상기 라이브러리부 또는 상기 제k세대를 포함한 이전의 세대에서 무작위로 선택한 파라미터를 계산하여 변이 방식으로 제(k+1)세대의 파라미터를 산출하는 장치
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스펙트럼 입력부가 반도체 장치로부터 파장 별로 계측된 계측 스펙트럼을 입력받는 단계; 심플렉스 알고리즘 실행부와 DE(Differential Evolution) 알고리즘 실행부를 포함하는 컨트롤러가 이들 두 개의 알고리즘 실행부 중 어느 하나에서 산출된 샘플 데이터를 선택하는 단계; 라이브러리부가 상기 선택된 샘플 데이터에 대응하는 테스트 스펙트럼을 산출하는 단계;상기 컨트롤러가 상기 계측 스펙트럼과 상기 테스트 스펙트럼을 비교하여 차이를 최소화하는 샘플 데이터를 산출하는 과정을 반복하는 단계; 및상기 컨트롤러가 최소 차이의 테스트 스펙트럼을 산출한 샘플 데이터를 출력부에 제공하여 상기 출력부가 출력하는 단계를 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 반복하는 단계는 상기 컨트롤러가 상기 계측 스펙트럼과 상기 샘플 데이터에서 상기 라이브러리부에 의해 산출된 테스트 스펙트럼의 차이의 제곱합을 최소화하는 상기 샘플 데이터를 산출하는 단계를 더 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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제8항에 있어서, 상기 반복하는 단계는 상기 컨트롤러가 상기 라이브러리부의 샘플 데이터들 중에서 상기 차이의 제곱값을 최대화하는 값인 를 산출하는 단계; 상기 심플렉스 알고리즘 실행부 또는 상기 DE 알고리즘 실행부에서 산출된 샘플 데이터를 이용하여 상기 컨트롤러가 테스트 스펙트럼을 산출하는 단계; 및상기 테스트 스펙트럼과 상기 계측 스펙트럼의 차이가 이전에 산출되었던 최소 차이값 보다 작은 경우, 상기 컨트롤러는 상기 에 상기 산출된 샘플 데이터를 대입하는 단계를 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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제9항에 있어서, 상기 컨트롤러가 상기 테스트 스펙트럼에 대응하는 샘플 데이터를 산출한 알고리즘 실행부의 성공 가중치를 증가시키는 단계를 더 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 심플렉스 알고리즘 실행부가 상기 라이브러리부에서 선택된 샘플 데이터들 중에서 하나의 샘플 데이터와 상기 샘플 데이터를 제외한 다른 둘 이상의 샘플 데이터의 중심점을 이용하여 반사지점에 배치된 샘플 데이터를 산출하는 단계를 더 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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제7항에 있어서, 상기 DE 알고리즘 실행부가 제k세대 또는 그 이전 세대의 샘플 데이터를 구성하는 파라미터를 이용하여 크로스 오버 방식으로 제(k+1) 세대의 파라미터를 산출하거나, 또는 상기 라이브러리부 또는 상기 제k세대를 포함한 이전의 세대에서 무작위로 선택한 파라미터를 계산하여 변이 방식으로 제(k+1)세대의 파라미터를 산출하는 단계를 더 포함하는, 컨트롤 랜덤 서치에 기반하여 최적 모델의 CD를 산출하는 방법
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