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세라믹 전구체 및 용매를 포함하는 세라믹 용액을 제조하는 단계;상기 세라믹 용액을 이용하여 기판 상에 세라믹 전구체층을 형성하는 단계; 및상기 세라믹 전구체층을 가열하면서 상기 세라믹 전구체층에 극단파 백색광(intense pulsed light, IPL)을 조사하여 상기 세라믹 전구체층을 소결시키는 단계를 포함하며,상기 소결시키는 단계는 제1 광소결 단계 및 제2 광소결 단계로 구성되며,상기 제1 광소결 단계는 10 ms의 펄스 폭, 20 회의 펄스 수, 100 ms 펄스 갭 및 200 J/㎠의 백색광의 펄스 강도 조건에서 수행하고, 상기 제2 광소결 단계는 10 ms 펄스 폭, 6 회의 펄스 수, 10 ms 펄스 갭 및 90 J/㎠ 백색광의 펄스 강도 조건에서 수행하며,상기 제1 광소결 단계 및 상기 제2 광소결 단계에서의 기판의 온도는 300 ℃ 내지 700 ℃인 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판의 온도는 300℃인 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 전구체는 이트리아 안정화 지르코니아(YSZ), 스칸디아 안정화 지르코니아(ScSZ), 세리아(CeO2)를 첨가물로 첨가한 스칸디아 안정화 지르코니아(ScCeSZ), 사마리움 도핑한 세리아(SDC), 가돌리늄 도핑한 세리아(GDC) 및 이트리아 도핑한 세리아(YDC) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 전구체는 유기 리간드를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 전구체층을 형성하는 단계는,졸겔법, 유기 금속 용액 증착법, 딥 코팅, 스크린 프린팅법 및 스프레이 코팅법 중 어느 하나로 진행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘(Si), 산화 실리콘(SiO2), 산화 알루미늄(Al2O3), 이트리아 안정화 지르코니아(YSZ) 및 산화 티타늄(TiO2) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 광소결 방법
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