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유전체장벽방전 플라즈마 샤워기

  • 기술번호 : KST2020003029
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 대면적화가 용이한 유전장벽방식의 플라즈마 소스에 대해 방전 기체를 전극에 직접 공급할 수 있는 새로운 구조의 플라즈마 소스를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은 두께가 있는 유전체 기판에 관통구로 된 기체주입구를 하나 이상 형성하고, 상기 기체주입구 내벽에 제1 전극을 형성하고, 상기 기판 면에서 제1 전극이 형성된 기체주입구 둘레에 제2 전극을 형성하여 제1 전극과 제2 전극에 전압을 인가하고 상기 기체주입구를 통해 기체를 공급함으로써, 기체주입구 내부에서 유전장벽방전을 일으켜 플라즈마를 형성하고 기체주입구로부터 제2 전극 쪽으로 플라즈마가 방출되게 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 샤워기를 제공한다.
Int. CL H05H 1/24 (2006.01.01)
CPC H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01)
출원번호/일자 1020180093454 (2018.08.10)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2139415-0000 (2020.07.23)
공개번호/일자 10-2020-0017903 (2020.02.19) 문서열기
공고번호/일자 (20200730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최 은하 서울특별시 노원구
2 최 진성 서울특별시 성북구
3 이 상학 서울특별시 서대문구
4 임 준섭 서울 노원구
5 기 세훈 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0790435-34
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0790376-38
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0043746-67
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0759500-13
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1295807-51
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1295859-14
8 등록결정서
Decision to grant		 2020.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0285660-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유전체 기판;상기 기판에 기판을 관통하도록 타공된 하나 이상의 기체주입구;상기 기체주입구의 주변부에 플랫한 부분과 기체주입구 내벽에 접하는 원통형 부분을 갖도록 형성된 X 전극; 및상기 기판의 기체주입구 단부 주변에 형성되되, X 전극의 플랫한 부분과 마주보는 부분에 형성된 Y 전극;을 포함하고,상기 X전극은 Y 전극과 이격되도록 X전극의 길이가 상기 기판의 두께보다 짧게 형성되고, 상기 기체주입구 내부로 방전 기체를 주입하고, X 전극과 Y 전극 사이에 전압을 인가하여 유전체 기판을 사이에 두고 배열된 X 전극 단부와 Y 전극 사이에 플라즈마를 방전시켜 플라즈마 불꽃을 상기 기체주입구를 통해 방출되게 하며,X 전극의 원통형 부분은 원통형의 일부 또는 전부로 형성되고, Y 전극은 기체주입구 단부 외주면을 따라 고리형의 일부 또는 전부로 형성되어, X 전극과 Y 전극이 기판 유전체를 장벽으로 하여 배치되어 유전체장벽방전을 일으키게 한 것을 특징으로 하는 플라즈마 샤워기
2 2
제1항에 있어서, 상기 Y 전극은 유전체로 덮이는 것을 특징으로 하는 플라즈마 샤워기
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 기판의 두께, X 전극의 길이, 기체주입구의 구경, 기체주입부 간의 간격 또는 기체주입구의 갯수 중 하나 이상의 변수를 조절하여 플라즈마 처리 면적과 방전 불꽃의 형상을 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 샤워기
5 5
제1항에 있어서, X 전극의 길이 L과 기판의 두께 T를 증가시켜 플라즈마 전자 온도를 높이는 것을 특징으로 하는 플라즈마 샤워기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광운대학교 해외우수연구기관유치사업 독일 INP-광운대 PBRC 플라즈마 의과학 센터