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코팅 용액을 담을 수 있는 용기부;상기 용기부의 하부에 연결되어 상기 용기부를 회전시키는 회전부; 및상기 회전부를 구동하는 구동부;를 포함하는 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 용기부는 용기부의 내부의 하측면에 기판을 고정시킬 수 있는 기판 고정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 기판 고정부는 진공 흡착 방식으로 기판을 고정하거나, 기판 고정부와 기판 사이에 접착부를 통하여 기판을 고정하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 용기부는 금속, 세라믹, 유리 및 플라스틱에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 용기부는 콘 타입(cone type), 디시 타입(dish type), 리버스 돔 타입(reversed dome type), 리버스 돔 플랫지 타입(reversed dome with flange type), 바울 타입(bowl type), 플랫지·디시 타입(flange·dish type), 플랫지·디시·플루 타입(flange·dish·flue type), 플랫지 타입(flange type), 플랫지·플루 타입(flange·flue type), 반구형 타입(hemisphere type), 반타원형 타입(semi-elliptical type) 및 트럼펫 타입(trumpet type))에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 기판은 표면에 곡면을 가지는 기판 또는 표면에 요철을 가지는 기판인 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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제1항 내지 제6항의 어느 한 항에 있어서, 상기 용기부가 회전하여 스핀 코팅되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치
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기판을 용기부의 내부의 하측면에 장착하고 고정시키는 제1 단계;상기 기판이 완전히 잠기도록 코팅 용액을 용기부에 주입하는 제2 단계; 및상기 용기부에 연결되어 있는 회전부를 회전시켜 기판을 코팅하는 제3 단계;를 포함하는 기판의 코팅 방법
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제8항에 있어서, 상기 회전부를 회전시켜 기판을 코팅하는 제3 단계는 코팅 용액이 기판에 균일하게 코팅되도록 제1 속도로 회전시키는 제3-1 단계 및 용기 내에 남은 코팅 용액이 용기 외부로 방출되도록 상기 제1 속도보다 빠른 제2 속도로 회전시키는 제3-2 단계를 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 ZnO 졸-겔, MoO3 졸-겔, NiO 졸-겔, ITO 졸-겔, IZO 졸-겔, SnO2 졸-겔, ATO 졸-겔, FTO 졸-겔, GZO 졸-겔, IGZO 졸-겔의 무기 반도체 물질, SiOx(x≥1), Al2O3, ZnO, Ta2O5, Nb2O5, HfO2, TiO2, In2O3, SiNx(x≥1), MgF2, CaF2 에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 공액 또는 비공액 (conjugated or nonconjugated) 고분자 (polymer), 올리고머(oligomers), 단분자 (monomer)의 유기 반도체 물질, PET(polyethylenceterephthalate), PEN(pilyethylenenaphthalate), PES(polyethersulfone), PI(polyimide), PC(polycarbonate), PU(polyurethane), PMMA(polymethylmethacrylate), PTFE(polytetrafluoroethylene)의 유기 절연체 물질에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 ITO 나노 입자, ZnO 나노 입자, TiO2 나노 입자, CdTe 양자점, SiO2, 의 무기 반도체 또는 절연체 나노 입자, Ag 나노 입자, Au 나노 입자, Ag 나노 와이어의 금속 나노 입자에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 플러린, 그래핀 산화물, 그라파이트, carbon nanotube, graphene의 탄소 동소체 및 MXene 의 전이금속 카바이트 에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 PEO:Cs2CO3 의 금속염에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 코팅 용액은 폴리스티렌 나노 비드 (nano bead), PMMA 나노 비드의 나노비드 분산체에서 선택된 1종 또는 2종 이상을 포함하는 기판의 코팅 방법
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제 8 항에 있어서,상기 용기부는 콘 타입(cone type), 디시 타입(dish type), 리버스 돔 타입(reversed dome type), 리버스 돔 플랫지 타입(reversed dome with flange type), 바울 타입(bowl type), 플랫지·디시 타입(flange·dish type), 플랫지·디시·플루 타입(flange·dish·flue type), 플랫지 타입(flange type), 플랫지·플루 타입(flange·flue type), 반구형 타입(hemisphere type), 반타원형 타입(semi-elliptical type) 및 트럼펫 타입(trumpet type)에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판의 코팅 방법
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제8항에 있어서, 상기 기판은 표면에 곡면을 가지는 기판 또는 표면에 요철을 가지는 기판인 것을 특징으로 하는 기판의 코팅 방법
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제8항에 있어서, 상기 기판을 코팅하는 제3단계 후에, 용기부로부터 방출된 코팅 용액을 다른 기판을 코팅하기 위하여 재사용하는 것을 특징으로 하는 기판의 코팅 방법
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