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정제 후 재사용이 가능한 육불화황을 정제하는 심냉법을 사용하는 육불화황 정제 시스템에 있어서,육불화황을 포함하는 혼합물을 공급하는 공급용기를 구비하도록 형성되는 공급부;상기 공급용기에서 연장 형성되고, 진공펌프 및 압축기를 구비하여 육불화황을 포함하는 혼합물을 이송시키도록 형성되는 회수부;육불화황을 포함하는 혼합물에 포함된 고체 및 액체상의 불순물을 제거하도록 형성되는 전처리부; 열교환부를 내부에 구비하여 육불화황을 포함하는 혼합물 중 육불화황의 냉각이 수행되어 고체상의 육불화황으로 분리되고, 불순물 배출 후 상기 고체상의 육불화황을 가열하여 용융 또는 기화시켜 육불화황을 정제되도록 형성되는 분리부;상기 분리부와 연장되어 정제된 육불화황이 이동되고, 상기 분리부의 압력변화를 완화시키고, 정제된 육불화항을 수용하도록 형성되는 저장부; 및정제된 육불화황을 충전용기에 충전하하도록 형성되는 충전부;상기 열교환부에 냉매가 공급되며 냉각되어 상기 분리부에서 혼합물 중 육불화황의 냉각이 수행되고,상기 분리부에서 상기 고체상인 육불화황의 가열은 열매(가열매체, heating medium)를 상기 열교환부로 공급하여 수행되거나 상기 열교환부에 구비된 가열장치의 작동으로 수행되고, 상기 저장부로 이동되는 정제된 육불화황은 상기 열교환부에 의하여 가열된 용융 또는 기화된 상태의 육불화황인 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 공급부는 회전장치를 구비하고,상기 회전장치는 상기 공급용기를 회전시켜 상기 공급용기의 하부에 저장된 액체상의 육불화황을 포함하는 혼합물이 가스상의 육불화황을 포함하는 혼합물보다 상기 회수부로 먼저 공급되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 분리부의 상기 열교환부에 공급되는 상기 냉매는 액체 질소인 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 분리부의 상기 열교환부에 공급되는 상기 열매는 질소 가스 또는 육불화황을 포함하는 가스인 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제4항에 있어서,상기 열매는 상기 열교환부에 연장되어 형성된 열매 공급장치로부터 공급되고,상기 열매 공급장치는 히터, 블로어 또는 펌프로 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 분리부의 열교환부의 가열장치는 열선을 포함하고,상기 열선은 상기 열교환부의 내부 또는 외부 표면을 감싸는 형태이고, 전기를 열 에너지로 전환하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 분리부는 불순물 배출 배관을 구비하고,상기 불순물 배출 배관은 상기 분리부의 상부에 배치되어 상기 분리부에서 고체상으로 분리된 육불화황 또는 포화상태의 육불화황 보다 밀도가 낮은 불순물 기체들이 배출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 저장부는 상기 분리부의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제8항에 있어서,상기 분리부와 상기 저장부를 연결하는 제1연결배관; 및제2연결배관을 구비하고,상기 제1연결배관은 상기 분리부에서 용융 또는 기화된 육불화황을 중력 또는 압력차로 상기 저장부로 이송하도록 형성되고,상기 제2연결배관은 상기 저장부와 상기 분리부 사이의 압력차를 없애도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,상기 충전부는 액체펌프, 충전용기, 퍼지용기 및 진공배기부를 구비하고,상기 액체펌프와 상기 충전용기는 제1퍼지 배관으로 연결되도록 형성되고,상기 진공배기부의 작동으로 상기 제1퍼지 배관을 통하여 상기 충전용기를 진공 배기하도록 형성한 후, 액체펌프의 작동으로 정제된 육불화황이 상기 충전용기에 저장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제10항에 있어서,상기 진공배기부와 상기 퍼지용기는 제2퍼지 배관으로 연결되도록 형성되고,상기 진공배기부의 작동으로 상기 제2퍼지 배관을 통하여 상기 퍼지용기를 진공 배기하도록 형성하여 상기 충전용기에 저장된 다음 충전부 내에 잔존하는 정제된 육불화황이 상기 퍼지용기에 차압 또는 진공배기부에 연장 형성된 압축기 및 진공펌프의 동력으로 저장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제10항에 있어서,상기 충전부는 상기 충전용기 및 상기 퍼지용기와 연장 형성되는 진공배기부를 구비하고,상기 진공배기부는 상기 회수부에 구비된 상기 진공펌프 및 압축기를 겸용 하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제10항에 있어서,상기 저장부에 히터를 더 구비하고,상기 히터는 상기 액체펌프 입구의 압력을 높이도록 형성되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 시스템
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제1항에 있어서,온도, 압력, 유량, 레벨 등을 포함하는 운전 인자를 계측하는 계측기와 자동 및 수동 제어를 위한 계통 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황정제 시스템
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육불화황을 포함하는 혼합물을 공급용기에 수용하는 준비 단계;압력차를 형성하여 육불화황을 포함하는 혼합물을 이동시키는 이동 단계;육불화황을 포함하는 혼합물 중 고체 및 액체상의 불순물을 제거하는 전처리 단계;고체 및 액체 상의 불순물이 제거된 육불화황 혼합물을 냉각하여 고체상의 정제된 육불화황을 형성하는 냉각 및 냉각 후 불순물 기체 배출이 수행되고,상기 고체상의 정제된 육불화황을 용융 또는 기화시키는 가열과 용융 및 기화된 육불화황을 저장부로 이동하여 저장하는 것을 순차적으로 수행되어 육불화황을 정제하는 정제 단계;충전용기 내부의 환경을 진공 상태로 형성하는 진공 배기 단계; 및정제된 육불화황을 상기 충전용기에 충전하는 충전 단계를 포함하고, 상기 정제 단계에서 상기 고체상의 정제된 육불화황은 가열되어 용융 또는 기화되어 상기 저장용기에 저장되고,상기 정제 단계의 냉각은 냉매의 공급으로 형성되는 열교환으로 이루어지고,상기 정제 단계의 가열은 열매의 공급 또는 가열장치의 작동으로 형성되는 열교환으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제15항에 있어서,상기 냉매는 액체 질소인 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제15항에 있어서,상기 열매는 질소 가스 또는 육불화황을 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제15항에 있어서,상기 열매는 히터, 블로어 또는 펌프로 통하여 공급되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제15항에 있어서,상기 가열장치는 전기를 열 에너지로 전환하도록 형성되는 열선에서 발생되는 열을 공급는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제15항에 있어서,상기 정제 단계의 상기 불순물 기체 배출은,소정의 배출온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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제20항에 있어서,상기 소정의 배출온도는 -50
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제20항에 있어서,상기 정제 단계의 상기 불순물 기체 배출은 상기 소정의 배출온도에서 설정 압력에 도달하였을 때 정지되고,상기 설정 압력은 하기의 수학식으로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 육불화황 정제 방법
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공급부, 회수부, 전처리부, 분리부, 저장부 및 충전부를 포함하는 육불화황 정제 시스템의 운전 방법에 있어서,준비 단계, 이동 단계, 전처리 단계, 정제 단계, 진공 배기 단계 및 충전 단계를 포함하는 운전 방법
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제23항에 있어서,상기 운전 방법은 자동 모드로 수행되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제24항에 있어서,상기 자동 모드에서 상기 준비 단계 내지 상기 충전 단계는 기설정된 로직에 따라 연속적으로 운전되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제23항에 있어서,상기 운전 방법은 단계별 자동 모드로 수행되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제26항에 있어서,상기 단계별 자동 모드에서 상기 준비 단계 내지 상기 충전 단계는 기 설정된 시작 조건을 충족할 때에 상기 준비 단계 내지 상기 충전 단계를 독립적으로 운전되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제23항에 있어서,상기 운전 방법은 수동 모드로 수행되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제28항에 있어서,상기 수동 모드에서 상기 준비 단계 내지 상기 충전 단계는 기설정된 조건과 무관하게 사용자의 조작에 의하여 운전되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제23항 내지 제29항에 있어서,상기 운전 방법은 상기 육불화황 정제 시스템의 손상 또는 사용자의 신체의 손상을 방지하도록 작동 온도 및 작동 압력이 일정범위로 제한되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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제23항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서,상기 운전 방법은,상기 준비 단계, 이동 단계, 전처리 단계, 정제 단계, 진공 배기 단계 및 충전 단계 중 적어도 하나 이상이 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 운전 방법
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