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열진공 챔버 내부 바닥에서 외부로 구비된 레일(R); 상기 레일 위를 이동하는 이송대차(100); 상기 이송대차에 의해 열진공 챔버 내부로 이송되며 시험 대상물을 지지하는 광학테이블(T); 상기 이송대차에 구비되고, 상기 광학테이블을 상하 이동시키는 잭스크류(120); 및 상기 이송대차에 구비되어 상기 잭스크류를 구동하는 전기 모터; 상기 이송대차 하부에 구비되어 상기 레일 상을 이동하는 롤러; 상기 열진공 챔버 외부에 배치되어, 상기 광학테이블이 상기 열진공 챔버 외부에 위치할 때 상기 광학테이블을 지지하는 외부포스트(200); 및 상기 열진공 챔버 내부에 배치되어, 상기 광학테이블이 상기 열진공 챔버 내부에 위치할 때 상기 광학테이블을 지지하는 내부포스트(300); 및 상기 잭스크류의 상측에 구비되어, 상기 잭스크류의 작동에 의해 상하 방향으로 진퇴하면서 상기 광학테이블의 하면을 들어올리거나 내리는 지지판;을 더 포함하고,상기 전기 모터의 동작에 의해 상기 잭스크류가 구동되면서 상기 지지판을 상하로 이동시켜서 상기 광학테이블을 승강시키고,상기 광학테이블(T)의 상면에 구비되어 광학테이블 이송시 광학테이블 상면의 수평상태를 확인할 수 있는 수평센서;를 더 포함하고, 상기 수평센서는 상기 광학테이블 상의 3 지점에서 3 세트가 설치되어 수평도를 측정하는, 전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송장치
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제1항에 있어서,상기 전기모터에 전력을 공급하며, 상기 이송대차에 부착되는 배터리;를 더 포함하는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송장치
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제1항에 있어서,상기 광학테이블이 상기 열진공 챔버 외부에서 상기 외부포스트(200)에 의해 지지되되,상기 광학테이블 이송을 위해서는, 상기 지지판이 상승하여 상기 광학테이블은 상기 외부포스트에서 이격되어 상기 지지판에 의해 지지되는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송장치
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제1항에 있어서,상기 수평센서에 의해 측정되는 광학테이블 수평도에 대한 신호정보를 수신하고, 상기 신호정보에 대응하여 상기 전기모터를 소정의 회전수로 구동시켜서 상기 광학테이블의 수평을 조절하는 제어기;를 더 포함하는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송장치
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제1항에 기재된 이송장치를 이용한 광학테이블 이송방법으로서,상기 이송대차에 구비되는 전기모터로 잭스크류를 구동하여 이송대차 상측의 광학테이블을 상승시켜 외부포스트와 분리하고 이송대차로 광학테이블을 지지하는 1단계;상기 이송대차를 레일 위에서 이동시켜 열진공 챔버 내부로 이동시키는 2단계;상기 이송대차의 전기모터로 잭스크류를 구동하여 이송대차를 하강시켜 광학테이블에서 분리하고, 상기 광학테이블이 내부포스트에 의해 지지되도록 하는 3단계;를 포함하는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송방법
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제10항에 있어서, 상기 1단계는,상기 광학테이블 상면에 위치하는 수평센서에서 광학테이블의 수평도에 측정하는 1-1단계;와 상기 수평도에 대응하여 상기 전기모터를 소정의 회전수로 구동시켜서 상기 광학테이블의 수평을 조절하는 1-2단계;를 포함하는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송방법
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제10항에 있어서, 상기 2단계는,상기 광학테이블 상면에 위치하는 수평센서에서 광학테이블의 수평도에 측정하는 2-1단계;와 상기 수평도에 대응하여 상기 전기모터를 소정의 회전수로 구동시켜서 상기 광학테이블의 수평을 조절하는 2-2단계;를 포함하는,전기모터를 이용한 열진공 시험용 광학테이블 이송방법
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