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대상체의 광정렬을 위한 3차원 측정 및 정렬시스템에 있어서, 상기 대상체가 위치되는 광학테이블 모듈;상기 광학 테이블 모듈 상에 배치되는 상기 대상체의 광정렬을 3차원으로 측정하는 광학측정 모듈;상기 광학테이블 모듈의 엣지를 따라 배치되며 상기 광학측정 모듈의 위치를 재배치시키는 스테이지 모듈;상기 스테이지 모듈의 위치를 측정하는 인코더 모듈; 및상기 광학측정 모듈에서 조사되는 빔을 반사하는 기준거울 모듈;을 포함하고, 상기 스테이지 모듈은 상기 대상체의 측정을 위한 위치로 상기 광학측정 모듈을 배치시키며,상기 인코더 모듈은 상기 광학측정 모듈의 위치를 측정하여 상기 광학측정 모듈의 이동거리를 산출하고,상기 광학측정 모듈은 상기 기준거울 모듈로 빔을 조사할 수 있으며, 상기 기준거울 모듈 상에서 반사되는 빔을 수용하여 상기 광학측정 모듈의 위치 오차를 산출할 수 있으며, 상기 스테이지 모듈은 상기 광학측정 모듈의 위치 오차에 따라 상기 광학측정 모듈의 위치를 재배치하는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 인코더 모듈은 레이저 헤드이며,상기 레이저 헤드는 상기 스테이지 모듈 방향으로 레이저를 조사하고, 상기 스테이지 모듈에서 반사되는 레이저를 수용하여 상기 스테이지 모듈의 위치 및 상기 광학측정 모듈의 위치와 상기 레이저 헤드 사이 거리를 산출하는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 광학테이블 모듈은 사각형으로 형성되고 상기 광학측정 모듈과 상기 스테이지 모듈은 각각 4개로 구성되어 상기 광학테이블 모듈의 각각의 엣지 방향으로 배치되는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 스테이지 모듈은, 상부에 상기 광학측정 모듈이 배치되는 이동부재; 및상기 이동부재를 이동시키는 이송부재;를 포함하고, 상기 이송부재는 상기 광학테이블의 면의 외측에서 상기 광학테이블의 면을 따라 배치되는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 5항에 있어서, 상기 인코더 모듈은 상기 이송부재 내에 배치되는 로터리 인코더이고, 상기 로터리 인코더는 상기 이송부재의 운동을 측정하여 상기 스테이지 모듈과 상기 광학측정 모듈의 위치를 산출하는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 5항에 있어서, 상기 스테이지 모듈은 상기 이동부재의 상부에서 위 방향으로 신축되는 신축부재를 포함하고, 상기 광학측정 모듈은 상기 신축부재의 상부에 배치되어서, 상기 신축부재의 신축에 따라 높이가 변경되는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 스테이지 모듈의 위치를 제어하는 제어 모듈을 더 포함하는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 스테이지 모듈 또는 상기 광학측정 모듈의 위치를 시각 데이터로 출력하는 모니터링 모듈을 더 포함하는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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제 1항에 있어서, 상기 기준거울 모듈은 상기 광학테이블 모듈의 마주보는 두 꼭지점 부분에 배치되는, 3차원 측정 및 정렬시스템
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