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1차측과 2차측을 통해 공급되는 전압을 변압하여 구동 장치로 전류 펄스를 인가하는 고전압 변압기, 상기 고전압 변압기의 1차측과 연결되어 있는 연결 라인으로 자화 펄스와 주 펄스를 인가하는 이극형 펄스 발생기, 그리고 상기 자화 펄스와 상기 주 펄스를 인가하는 시간 차를 조절하는 타이밍 제어기를 포함하고, 상기 이극형 펄스 발생기는, 양극 전원을 이용하여 자화 펄스를 생성하는 자화 펄스 발생부, 그리고음극 전원을 이용하여 음극 펄스를 생성하는 주 펄스 발생부를 포함하는 모듈레이터
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제1항에서,자화 펄스 발생부는상기 자화 펄스의 전원을 공급하는 제1 전원 공급 장치, 상기 제1 전원 공급 장치로부터 양극 전원을 인가받아 충전하고 충전된 상기 양극 전원을 방전하는 제1 캐패시터, 상기 연결 라인의 연결 지점과 상기 제1 캐패시터에 연결되어 있는 제1 다이오드, 그리고상기 제1 캐패시터와 상기 제1 다이오드 사이에 연결되어 온 또는 오프 제어하는 제1 고체 소자 스위치를 포함하는 모듈레이터
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제2항에서,주 펄스 발생부는,상기 주 펄스의 전원을 공급하는 제2 전원 공급 장치, 상기 제2 전원 공급 장치로부터 음극 전원을 인가받아 충전하고 충전된 상기 음극 전원을 방전하는 제2 캐패시터, 상기 제2 캐패시터와 연결되고, 상기 제1 고체 소자 스위치와 연결되어 온 또는 오프 제어하는 제2 고체 소자 스위치, 그리고 상기 제1 다이오드 및 상기 제2 고체 소자 스위치와 연결되어 있고, 상기 연결 라인과의 연결 지점 위치에 연결되어 있는 제2 다이오드로 구성된 주 펄스 발생부를 포함하는 모듈레이터
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제3항에서,상기 타이밍 제어기는,상기 제1 고체 소자 스위치와 상기 제2 고체 소자 스위치의 온 또는 오프되는 시점을 제어하여 상기 자화 펄스가 상기 1차측에 인가되는 시간, 상기 주 펄스가 상기 1차측에 인가되는 시간, 그리고 상기 자화 펄스의 인가가 종료된 시점부터 상기 주 펄스가 인가되는 시점까지의 시간을 제어하는 모듈레이터
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제4항에 있어서, 상기 이극형 펄스 발생기는, 제1 시점에서 상기 자화 펄스를 상기 1차측에 인가하면, 상기 타이밍 제어기의 제어에 대응하여 미리 설정된 시간이 경과된 후, 제2 시점에서 상기 주 펄스를 상기 1차측에 인가하는 모듈레이터
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제5항에 있어서, 상기 자화 펄스와 상기 주 펄스가 상기 1차측에 인가되는 시간 차이를 제어하여 상기 2차측에 유도되는 전압의 크기를 조절하는 모듈레이터
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제1항에서,복수개의 상기 이극형 펄스 발생기를 포함하고, 복수개의 상기 이극형 펄스 발생기는 동일한 임피던스와 길이를 가지는 복수의 연결 라인을 통해 상기 고전압 변압기의 1차측과 병렬로 연결되는 모듈레이터
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제7항에서,상기 고전압 변압기의 상기 2차측을 통해 공급되는 전압을 조절하는 별도의 변압기와 파형 제어 전원의 양극 전원과 일단이 연결되는 제3 고체 소자 스위치와 상기 별도의 변압기 1차측에 연결되며, 파형 제어 전원의 음극 전원과 일단이 연결되는 제4 고체 소자 스위치를 포함하는 복수개의 단위 모듈로 구성되는 펄스 파형 제어기를 더 포함하고, 상기 타이밍 제어기는 상기 펄스 파형 제어기의 제3 고체 소자 스위치 및 제4 고체 소자 스위치의 온 또는 오프 설정 시점을 제어하는 모듈레이터
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제8항에서, 상기 제3 고체 소자 스위치와 상기 제4 고체 소자 스위치가 온 상태로 설정되면, 인가되는 전류의 전압이 더 증가하고, 상기 제3 고체 소자 스위치와 상기 제4 고체 소자 스위치가 오프 상태로 설정되면, 인가되는 전류의 전압이 더 낮아지게 되는 모듈레이터
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제1항에서, 상기 이극형 펄스 발생기를 통해 자화 펄스와 주 펄스의 인가 시점의 차이에 따라 조절된 크기의 전류 펄스를 마그네트론에 공급하는 모듈레이터
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고전압 변압기의 1차측에 연결되어 있는 연결 라인을 통해 이극형 펄스 발생기는 주펄스와 반대 극성을 가지는 자화 펄스를 인가하는 단계, 상기 자화 펄스가 상기 1차측에 인가되고, 상기 1차측에 인접하게 위치하는 상기 고전압 변압기의 2차측에 전압이 유도되는 단계, 미리 설정된 시간 차에 대응하여 이극형 펄스 발생기는 상기 연결 라인을 통해 상기 주 펄스를 상기 1차측으로 인가하는 단계, 그리고상기 주 펄스가 상기 1차측에 인가되고, 상기 2차측에 주 펄스의 전압이 유도되어 전압의 크기가 제어되는 단계, 를 포함하는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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제18항에 있어서, 상기 자화 펄스를 인가하는 단계는, 양극의 자화 펄스 전원을 공급하는 제1 전원 공급 장치로부터 양극 전원을 인가받아 제1 캐패시터가 충전되는 단계, 상기 제1 캐패시터와 상기 1차측과 연결되어 있는 연결 라인에 연결되어 있는 제1 고체 소자 스위치를 온 상태로 설정하는 단계, 상기 제1 캐패시터가 방전되면서 상기 자화 펄스를 생성하는 단계, 그리고 상기 1차측과 연결되어 있는 연결 라인과 연결 지점 위치에서 일측 방향으로만 상기 자화 펄스를 흐르게 하여 상기 1차 측에 인가하는 단계를 포함하는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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제19항에 있어서, 상기 주 펄스를 상기 1차측으로 인가하는 단계는, 음극의 주 펄스 전원을 공급하는 제2 전원 공급 장치로부터 음극 전원을 인가받아 제2 캐패시터가 충전하는 단계, 상기 제2 캐패시터와 상기 1차측과 연결되어 있는 연결 라인에 연결되어 있는 제2 고체 소자 스위치를 상기 미리 설정된 시간 차에 대응하여 온 상태로 설정하는 단계, 상기 제2 캐패시터가 방전되면서 상기 주 펄스를 생성하는 단계, 그리고 상기 1차측과 연결되어 있는 연결 라인과 연결 지점 방향으로만 상기 주 펄스를 흐르게 하여 상기 1차 측에 인가하는 단계를 포함하는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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제 20항에 있어서, 상기 자화 펄스를 인가한 직후에 상기 주 펄스를 상기 1차측에 인가하면 상기 2차측에 유도되는 전압의 크기가 최대가 되고, 상기 미리 설정된 시간 차가 커질수록 상기 2차 측에 유도되는 전압의 크기가 작아지는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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제 18항에 있어서, 고전압 변압기의 2차측에 연결되어 인가되는 전압을 가감하여 전류 펄스의 파형을 제어하는 단계를 더 포함하는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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제 22항에 있어서, 상기 전류 펄스의 파형을 제어하는 단계는, 상기 고전압 변압기의 2차측과 별도의 변압기가 직렬로 연결되어 있는 펄스 파형 제어기의 n개(n은 자연수)의 단위 모듈에 기초하여 각각의 단위 모듈로부터 조절된 전압 크기를 인가받고, 인가받은 전압 펄스의 파형의 합을 통해 최종적으로 전류 펄스의 파형이 제어되는 모듈레이터의 전류 펄스의 크기 제어 방법
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