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전자 빔의 경로상에 경사지게 구비된 하나의 형광 스크린;상기 형광 스크린을 중심으로 상기 전자 빔의 경로와 수직한 위치에 배치되어 전자 빔에 의해 형성된 포커스를 포함한 상기 형광 스크린의 영상을 촬영하기 위한 하나의 CCD 카메라;촬영된 상기 형광 스크린의 영상에 포함된 상기 포커스의 현재 좌표를 기지(旣知)의 목표 좌표로 이동시키기 위한 제어 신호를 생성하는 제어 모듈; 및생성된 상기 제어 신호에 따라 상기 전자 빔의 궤적을 제어하는 스티어링 모듈;을 포함하며, 상기 제어 모듈은,촬영된 상기 형광 스크린의 영상으로부터 상기 포커스의 현재 좌표를 검출하는 영상 처리 모듈;촬영된 상기 형광 스크린의 영상의 목표 좌표로부터 상기 현재 좌표를 감산함으로써 보정 벡터의 각 축 성분을 구하는 보정 벡터 연산 모듈; 및상기 보정 벡터의 각 축 성분에 따라 상기 제어 신호를 생성하는 제어 신호 생성 모듈;을 포함하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제1항에 있어서,상기 스티어링 모듈은,상기 제어 신호 중 제1 제어 신호가 인가되면 상기 전자 빔의 궤적을 제1 축 방향으로 편향시키는 한 쌍의 제1 스티어링 모듈; 및상기 제어 신호 중 제2 제어 신호가 인가되면 상기 전자 빔의 궤적을 제2 축 방향으로 편향시키는 한 쌍의 제2 스티어링 모듈;을 포함하며,상기 제1 축 방향 및 상기 제2 축 방향은, 상기 전자 빔에 수직한 평면상의 축 방향인, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제2항에 있어서,상기 제어 신호 생성 모듈은,상기 보정 벡터를 구성하는 각 축 성분의 비율에 따라 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호의 크기 비율을 조절하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제4항에 있어서,상기 제어 신호 생성 모듈은,상기 보정 벡터의 크기가 기 설정된 값 이하가 될 때까지 상기 크기 비율에 따라 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호의 크기를 단계적으로 증가시키는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제2항에 있어서,상기 제어 신호 생성 모듈은,상기 보정 벡터를 구성하는 각 축 성분 별로 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호의 크기를 개별적으로 조절하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제6항에 있어서,상기 제어 신호 생성 모듈은,상기 보정 벡터의 제1 축 성분의 크기를 고정시킨 상태에서 상기 제2 축 성분의 크기가 기 설정된 값 이하가 될 때까지 상기 제2 제어 신호의 크기를 단계적으로 조절한 후, 상기 보정 벡터의 제2 축 성분의 크기를 고정시킨 상태에서 상기 제1 축 성분의 크기가 상기 기 설정된 값 이하가 될 때까지 상기 제1 제어 신호의 크기를 단계적으로 조절하거나, 또는상기 보정 벡터의 제2 축 성분의 크기를 고정시킨 상태에서 상기 제1 축 성분의 크기가 기 설정된 값 이하가 될 때까지 상기 제1 제어 신호의 크기를 단계적으로 조절한 후, 상기 보정 벡터의 제1 축 성분의 크기를 고정시킨 상태에서 상기 제2 축 성분의 크기가 상기 기 설정된 값 이하가 될 때까지 상기 제2 제어 신호의 크기를 단계적으로 조절하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제1항에 있어서,상기 영상 처리 모듈은, 상기 형광 스크린의 영상을 이진화하여 이진화 영상을 생성하고, 생성된 이진화 영상에서 화소값이 기 설정된 값 이상인 화소들의 집합을 상기 전자 빔의 포커스로 하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제1항에 있어서,상기 제어 신호는,전류인, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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제1항에 있어서,상기 형광 스크린은,상기 전자 빔의 경로에서 상기 CCD 카메라 방향으로 45도 경사지게 구비된, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 장치
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하나의 CCD 카메라에서, 전자 빔에 의해 형성된 포커스를 포함한 하나의 형광 스크린의 영상을 촬영하는 제1 단계;제어 모듈에서, 촬영된 상기 형광 스크린의 영상에 포함된 포커스의 현재 좌표를 기지(旣知)의 목표 좌표로 이동시키기 위한 제어 신호를 생성하는 제2 단계; 및스티어링 모듈에서, 생성된 제어 신호에 따라 상기 전자 빔의 궤적을 제어하는 단계로, 상기 제어 신호 중 제1 제어 신호가 인가되면 상기 전자 빔의 궤적을 제1 축 방향으로 편향시키고 상기 제어 신호 중 제2 제어 신호가 인가되면 상기 전자 빔의 궤적을 제2 축 방향으로 편향시키는 제3 단계;를 포함하며, 상기 제2 단계는,촬영된 상기 형광 스크린의 영상으로부터 상기 포커스의 현재 좌표를 검출하는 단계와, 촬영된 상기 형광 스크린의 영상의 목표 좌표로부터 상기 현재 좌표를 감산함으로써 보정 벡터의 각 축 성분을 구하는 단계와, 상기 보정 벡터의 각 축 성분에 따라 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호를 생성하는 단계를 포함하며,상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호를 생성하는 단계는,상기 보정 벡터를 구성하는 각 축 성분의 비율에 따라 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호의 크기 비율을 조절하거나 상기 보정 벡터를 구성하는 각 축 성분 별로 상기 제1 제어 신호 및 상기 제2 제어 신호의 크기를 개별적으로 조절하는, CCD 카메라 영상을 이용한 전자 빔의 포커스 제어 방법
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