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산화구리, 산화니켈로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속산화물로 이루어진 코어 및 금속으로 이루어져 상기 코어를 감싸는 쉘로 구성된 코어-쉘 분말을 형성하는 단계;상기 코어-쉘 분말의 표면에 유리를 코팅한 후 바인더와의 혼합으로 페이스트를 형성하는 단계;세라믹테이프에 상기 페이스트를 프린팅한 후 적층하여 세라믹적층체를 형성하는 단계;상기 세라믹적층체를 산화분위기 하에서 1차 열처리하는 단계; 및상기 1차 열처리된 세라믹적층체를 수소를 포함한 환원분위기 하에서 2차 열처리하여 상기 금속산화물에서 산소가 분리되면서 금속으로 환원되고, 상기 산소가 분리된 부분에 공극이 생성됨으로써 상기 환원된 금속이 나노포러스(nanoporous) 구조를 갖는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 1차 열처리하는 단계는,상기 세라믹적층체를 100~600℃에서 바인더 번아웃(binder-burn-out)을 통해 상기 바인더를 탈지시키는 단계; 및상기 바인더 번아웃된 세라믹적층체를 900~1,000℃에서 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노포러스 구조를 갖는 단계에서는,수소와 질소의 혼합분위기 하에서 300~500℃로 2차 열처리하는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 나노포러스 구조를 갖는 단계에서는,상기 2차 열처리의 온도가 300℃에서 500℃로 갈수록 상기 환원된 금속에 생성되는 공극의 크기가 커지는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자의 제조방법
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세라믹테이프; 및산화구리, 산화니켈로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 금속산화물로 이루어진 코어 및 금속으로 이루어져 상기 코어를 감싸는 쉘로 구성되어 표면에 유리가 코팅된 후 바인더와 혼합된 상태로 상기 세라믹테이프에 프린팅되는 전극;을 포함하여 다층구조로 적층되는 세라믹적층체이되,상기 세라믹적층체는,산화분위기 하에서 1차 열처리된 후, 환원분위기 하에서 2차 열처리될 시 상기 금속산화물에서 산소가 분리되면서 금속으로 환원되고, 상기 산소가 분리된 부분에 공극이 생성됨으로써 상기 환원된 금속이 나노포러스(nanoporous) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물을 이용한 세라믹소자
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