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제 1 방향의 일측에 윈도우가 형성된 하우징;상기 하우징 내에 제공되고, 상기 윈도우를 향하여 플라즈마를 발생시키는 스틱형 플라즈마 소스; 및상기 플라즈마 소스에 결합되어, 상기 플라즈마 소스의 일단을 상기 윈도우의 길이 방향인 제 2 방향으로 왕복 운동시키는 구동부를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 하나의 플라즈마 젯을 포함하는 구조 또는 여러 개의 플라즈마 젯으로 이루어진 어레이 구조인 플라즈마 방생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 구동부는:상기 플라즈마 소스의 일단을 상기 하우징의 내부에 결합시키는 결착부; 및상기 결착부와 이격되어 배치되고, 상기 플라즈마 소스에 동력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 동력 전달부는:상기 플라즈마 소스에서 소정 거리로 이격되어 회전하도록 설치된 디스크; 및상기 디스크의 회전력을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 플라즈마 소스로로 전달하는 샤프트를 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 결착부는 상기 플라즈마 소스의 회전축을 상기 하우징 내부에 결합시키되,상기 플라즈마 소스는 상기 구동부에 의해 진자 운동을 수행하고,상기 플라즈마 소스의 상기 일단은 상기 윈도우를 향해 상기 플라즈마를 방출하는 플라즈마 발생 장치
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제 2 항에 있어서,상기 결착부는 상기 플라즈마 소스가 상기 제 2 방향으로 이동할 수 있도록 상기 플라즈마 소스를 상기 하우징 내부에 결합시키되,상기 플라즈마 소스는 상기 구동부에 의해 상기 제 2 방향으로 직선 왕복 운동을 수행하고,상기 플라즈마 소스의 상기 일단은 상기 윈도우를 향해 상기 플라즈마를 방출하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는:상기 제 1 방향으로 연장되고, 그의 내부에 플라즈마 소스가 공급되는 튜브; 및상기 튜브의 외주면 상에서, 상기 플라즈마 소스의 상기 일단에 인접하게 배치되는 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 7 항에 있어서,상기 전극은 상기 튜브를 둘러싸는 링 전극 또는 나선형의 코일 전극을 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 7 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 상기 튜브의 내부에 배치되고, 상기 제 1 방향으로 연장되는 코어 전극을 더 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 윈도우는 상기 제 2 방향에 따른 개구의 폭이 조절되는 가변 윈도우인 플라즈마 발생 장치
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