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기판;상기 기판 상에 형성된 하부전극;상기 하부전극 상에 형성된 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층;상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층 상에 형성된 세라믹 압전 박막; 및상기 세라믹 압전 박막 상에 형성된 상부전극을 포함하고,상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층 및 상기 세라믹 압전 박막은 결정 구조를 가지며,상기 기판은 실리콘 기판 또는 폴리이미드 기판이며,상기 세라믹 압전 박막은 [001] 방향으로 결정배향된 것이며,상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층은 Ca2Nb3O10 이며,상기 세라믹 압전 박막은 (Na0
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제1항에 있어서,상기 이차원 페로브스카이트 나노시트 시드층과 상기 세라믹 압전 박막의 격자 변수(Lattice Parameter) 차이는 0% 내지 20% 인 것을 특징으로 하는 압전 센서
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제1항에 있어서,상기 하부전극 및 상부전극의 물질은 백금(Pt), 금(Au), 팔라듐(Pd), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 전도성 카본 테이프 및 투명 전도성 산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전 센서
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