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원자간력현미경 팁 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020003845
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 제조 방법으로 제조되는 주사탐침현미경 팁은 원자층증착법을 이용하여 코팅층을 중심팁의 표면에 형성하는 등의 구성을 포함함에 따라, 코팅층의 두께가 매우 얇고 매우 균일하며, 분해능이 높고, 단차피복 특성이 우수하며, 중심팁의 반경이 보다 작고 다양한 3차원 미세 구조를 포함하는 시료를 정밀하게 분석할 수 있는 효과가 있다. 또한 본 발명에 따른 주사탐침현미경 팁은 원자간력현미경, 구체적인 예로, 전도성 원자간력현미경(Conductive-Atomic force microscope, C-AFM)에도 사용 가능할 뿐만 아니라 자기력현미경(Magnetic force microscopy, MFM)의 팁으로도 전용 가능한 이점이 있다.
Int. CL G01Q 60/38 (2010.01.01) G01Q 40/02 (2010.01.01)
CPC G01Q 60/38(2013.01) G01Q 60/38(2013.01)
출원번호/일자 1020180115781 (2018.09.28)
출원인 전북대학교산학협력단, 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2101854-0000 (2020.04.10)
공개번호/일자 10-2020-0036302 (2020.04.07) 문서열기
공고번호/일자 (20200420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김우희 서울특별시 성북구
2 서정대 전라북도 전주시 덕진구
3 손종역 경기도 오산시 대원로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
2 경희대학교산학협력단 경기도 용인시 기흥구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0960082-19
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0965647-66
3 보정요구서
Request for Amendment
2018.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0156697-78
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-1082554-20
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2019-0027282-47
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0514162-50
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0949712-06
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0949678-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
15 등록결정서
Decision to grant
2020.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0042933-76
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원자층증착법을 이용하여 금속층을 포함하는 코팅층을 중심팁의 표면에 형성하는 단계를 포함하며, 상기 코팅층의 평균두께는 3 nm 이하이고, 상기 금속층은 코발트 및 니켈 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하며, 상기 금속층은 하기 화학식 1의 금속 전구체로부터 유래되는 것인, 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 중심팁의 평균반경이 5 nm 이하인 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 중심팁은, 테이퍼형의 몸체부; 및 상기 몸체부의 뾰족한 끝단에 형성되는 침상형의 선단부;를 포함하는 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 코팅층이 상기 선단부의 표면에 형성되는 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 중심팁의 재질이 질화규소계 물질 및 탄소계 물질 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법
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8 8
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9 9
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제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항의 전도성 및 자성 측정용 주사탐침현미경 팁의 제조 방법으로 제조되며, 전도성 원자간력현미경 팁 또는 자기력현미경 팁으로 사용되는 주사탐침현미경용 전도성-자성 하이브리드 팁
11 11
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.