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다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템

  • 기술번호 : KST2020003859
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템에 관한 것이다. 상기 플라즈마 진단 시스템은, 광원으로부터 제공된 레이저 펄스를 이용하여, 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 광경로의 순방향과 역방향을 따라 순차적으로 플라즈마로 제공하는 광학계; 상기 광학계로부터 제공된 수직 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제1 집광 신호를 측정하고, 상기 광학계로부터 제공된 수평 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제2 집광 신호를 측정하는 수광 광학계; 및 상기 수광 광학계에 의해 측정된 제1 및 제2 집광 신호들을 이용하여, 플라즈마에 대한 톰슨 산란 신호를 측정하는 제어부; 를 구비하고, 상기 제1 집광 신호는 톰슨 산란 신호와 배경 산란 잡음 신호의 혼합 신호이며, 제2 집광 신호는 배경 산란 잡음 신호인 것을 특징으로 한다. 상기 광학계는, 편광 빔 스플리터; 제1 반사 거울; 집속 렌즈; 제2 반사 거울; 및 상기 플라즈마 영역과 상기 제2 반사 거울의 사이에 배치된 1/4파장 위상 지연판;으로 구성된다. 본 발명에 따른 시스템은 플라즈마 내부로 수직 및 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 순차적으로 제공하여 측정함으로써, 배경 산란 잡음 신호가 제거된 톰슨 산란 신호를 정확하게 측정하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G21B 1/23 (2006.01.01) G21K 1/10 (2006.01.01)
CPC G21B 1/23(2013.01) G21B 1/23(2013.01)
출원번호/일자 1020180136033 (2018.11.07)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2099119-0000 (2020.04.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조규만 서울특별시 강북구
2 박준규 서울특별시 마포구
3 이동근 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교 산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-1105638-41
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2019-0017000-11
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0621343-05
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-1100782-81
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1100783-26
8 등록결정서
Decision to grant
2019.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0935231-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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선형 편광 상태의 레이저 펄스를 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공된 레이저 펄스를 이용하여, 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 광경로의 순방향과 역방향을 따라 순차적으로 플라즈마로 제공하는 광학계;상기 광학계로부터 제공된 수직 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제1 집광 신호를 측정하고, 상기 광학계로부터 제공된 수평 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제2 집광 신호를 측정하는 수광 광학계; 및상기 수광 광학계에 의해 측정된 제1 집광 신호로부터 제2 집광 신호를 제거하여, 제1 집광 신호로부터 잡음을 제거하고 플라즈마에 대한 톰슨 산란 신호를 측정하는 제어부; 를 구비하고, 상기 광학계는, 상기 광원으로부터 제공된 레이저 펄스의 광경로상에 배치된 편광 빔 스플리터;상기 편광 빔 스플리터로부터 반사된 레이저 펄스를 다시 편광 빔 스플리터로 제공하는 제1 반사 거울;상기 편광 빔 스플리터를 투과한 레이저 펄스를 플라즈마 영역으로 집속시키는 집속 렌즈;상기 플라즈마 영역에서 집속된 후 진행되는 레이저 펄스를 되반사시켜 상기 집속 렌즈로 제공하는 제2 반사 거울; 상기 편광 빔 스플리터와 상기 집속 렌즈의 사이에 배치된 반파장 위상 지연판(HWP);및상기 플라즈마 영역과 상기 제2 반사 거울의 사이에 배치된 1/4파장 위상 지연판;을 구비하여, 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 광경로의 순방향과 역방향을 따라 순차적으로 플라즈마 영역으로 제공하는 것을 특징으로 하며,상기 반파장 위상 지연판은 상기 편광 빔 스플리터를 투과한 레이저 펄스의 편광 방향을 미세 정렬하여, 수광 광학계 방향으로 최대의 톰슨 산란이 일어나도록 하는 것을 특징으로 하며,상기 제1 집광 신호는 톰슨 산란 신호와 배경 산란 잡음 신호의 혼합 신호이며, 제2 집광 신호는 배경 산란 잡음 신호인 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 플라즈마 진단 시스템은 상기 광학계로부터 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스가 제공될 때 각각 트리거 신호들을 생성하여 출력하는 트리거 모듈을 더 구비하고,상기 수광 광학계는 트리거 모듈로부터 출력되는 트리거 신호들에 따라 구동되는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
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제3항에 있어서, 상기 트리거 모듈은 상기 광원과 상기 광학계의 사이 또는 광학계의 임의의 위치에 배치되어, 상기 광원으로부터 상기 광학계로 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하거나 상기 광학계로부터 플라즈마로 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하거나 상기 광학계의 임의의 위치에서 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하면, 트리거 신호를 생성하여 출력하는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
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삭제
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제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학계는 플라즈마 내부로 레이저 펄스를 집속시키며, 상기 수광 광학계는 상기 플라즈마 내의 산란된 빛 신호들을 집광하여 측정하며, 상기 제어부는 플라즈마 내의 톰슨 산란 신호를 측정하여 제공하는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
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제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 플라즈마 진단 시스템은 전자의 온도와 밀도 측정이 필요한 플라즈마 장치에 적용되는 것을 특징으로 하는 다중 왕복 경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.