1 |
1
선형 편광 상태의 레이저 펄스를 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공된 레이저 펄스를 이용하여, 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 광경로의 순방향과 역방향을 따라 순차적으로 플라즈마로 제공하는 광학계;상기 광학계로부터 제공된 수직 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제1 집광 신호를 측정하고, 상기 광학계로부터 제공된 수평 편광 상태의 레이저 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제2 집광 신호를 측정하는 수광 광학계; 및상기 수광 광학계에 의해 측정된 제1 집광 신호로부터 제2 집광 신호를 제거하여, 제1 집광 신호로부터 잡음을 제거하고 플라즈마에 대한 톰슨 산란 신호를 측정하는 제어부; 를 구비하고, 상기 광학계는, 상기 광원으로부터 제공된 레이저 펄스의 광경로상에 배치된 편광 빔 스플리터;상기 편광 빔 스플리터로부터 반사된 레이저 펄스를 다시 편광 빔 스플리터로 제공하는 제1 반사 거울;상기 편광 빔 스플리터를 투과한 레이저 펄스를 플라즈마 영역으로 집속시키는 집속 렌즈;상기 플라즈마 영역에서 집속된 후 진행되는 레이저 펄스를 되반사시켜 상기 집속 렌즈로 제공하는 제2 반사 거울; 상기 편광 빔 스플리터와 상기 집속 렌즈의 사이에 배치된 반파장 위상 지연판(HWP);및상기 플라즈마 영역과 상기 제2 반사 거울의 사이에 배치된 1/4파장 위상 지연판;을 구비하여, 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스를 광경로의 순방향과 역방향을 따라 순차적으로 플라즈마 영역으로 제공하는 것을 특징으로 하며,상기 반파장 위상 지연판은 상기 편광 빔 스플리터를 투과한 레이저 펄스의 편광 방향을 미세 정렬하여, 수광 광학계 방향으로 최대의 톰슨 산란이 일어나도록 하는 것을 특징으로 하며,상기 제1 집광 신호는 톰슨 산란 신호와 배경 산란 잡음 신호의 혼합 신호이며, 제2 집광 신호는 배경 산란 잡음 신호인 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 플라즈마 진단 시스템은 상기 광학계로부터 수직 편광 상태의 레이저 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 펄스가 제공될 때 각각 트리거 신호들을 생성하여 출력하는 트리거 모듈을 더 구비하고,상기 수광 광학계는 트리거 모듈로부터 출력되는 트리거 신호들에 따라 구동되는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
|
4 |
4
제3항에 있어서, 상기 트리거 모듈은 상기 광원과 상기 광학계의 사이 또는 광학계의 임의의 위치에 배치되어, 상기 광원으로부터 상기 광학계로 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하거나 상기 광학계로부터 플라즈마로 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하거나 상기 광학계의 임의의 위치에서 레이저 펄스가 제공되는 것을 감지하면, 트리거 신호를 생성하여 출력하는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학계는 플라즈마 내부로 레이저 펄스를 집속시키며, 상기 수광 광학계는 상기 플라즈마 내의 산란된 빛 신호들을 집광하여 측정하며, 상기 제어부는 플라즈마 내의 톰슨 산란 신호를 측정하여 제공하는 것을 특징으로 하는 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
|
7 |
7
제1항, 제3항, 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 플라즈마 진단 시스템은 전자의 온도와 밀도 측정이 필요한 플라즈마 장치에 적용되는 것을 특징으로 하는 다중 왕복 경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템
|