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하부 기판 내의 제 1 광도파로;상기 하부 기판 상의 그래핀층; 상기 그래핀층 상의 상부 기판; 및상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이의 스페이서들을 포함하는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 광도파로의 상면은 상기 하부 기판의 상면과 공면을 갖는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀층은 상기 하부 기판의 상면 및 상기 제 1 광도파로의 상면과 접촉하는 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 상부 기판의 굴절률은 상기 제 1 광도파로의 굴절률보다 크거나 같은 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 상부 기판의 굴절률은 상기 제 1 광도파로의 굴절률보다 작은 압력 센서
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6
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층의 일면을 덮는 보호막을 더 포함하는 압력 센서
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제 6 항에 있어서,상기 보호막은 상기 하부 기판과 상기 그래핀층 사이에 배치되고,상기 스페이서들은 상기 하부 기판의 상면 및 상기 보호막의 하면 과 접촉하는 압력 센서
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8
제 6 항에 있어서,상기 보호막은 상기 그래핀층과 상기 상부 기판 사이에 배치되고,상기 스페이서들은 상기 보호막의 상면 및 상기 상부 기판의 하면 과 접촉하는 압력 센서
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9
제 1 항에 있어서,상기 스페이서들과 상기 상부 기판은 일체형인 압력 센서
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10
제 1 항에 있어서,상기 스페이서들은 삼각형, 사각형, 또는 반원형의 단면 형상을 갖는 압력 센서
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11
제 1 항에 있어서,상기 스페이서들에 의해 정의되는 에어갭을 더 포함하되,상기 에어갭은 상기 그래핀층과 상기 상부 기판 사이에 제공되는 압력 센서
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12
제 1 항에 있어서,상기 스페이서들에 의해 정의되는 에어갭을 더 포함하되,상기 에어갭은 상기 그래핀층과 상기 하부 기판 사이에 배치되는 압력 센서
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13
제 1 항에 있어서,상기 제 1 광도파로는:광 입사채널; 및상기 광 입사채널의 일단부에 배치된 복수 개의 광 출사 채널들을 포함하되,상기 광 출사 채널들은 서로 평행하고,상기 광 입사채널과 상기 광 출사 채널들은 서로 연결된 압력 센서
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제 1 항에 있어서,상기 하부 기판 내의 제 2 광도파로를 더 포함하되,상기 제 1 광도파로는 제 1 방향으로 연장하고,상기 제 2 광도파로는 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장하고,상기 제 1 광도파로 및 상기 제 2 광도파로는 서로 교차하는 압력 센서
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광도파로를 포함하는 하부 기판;상기 하부 기판 상의 상부 기판; 및상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이의 그래핀층을 포함하되,상기 상부 기판은:상부 부분; 상기 상부 부분의 하면으로부터 돌출된 제 1 하부 부분 및 제 2 하부 부분들을 포함하고,상기 제 1 하부 부분은 상기 제 2 하부 부분들 사이에 배치되는 압력 센서
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16
제 15 항에 있어서,상기 제 1 하부 부분은 상기 광도파로와 중첩하는 압력 센서
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제 15 항에 있어서,상기 광도파로의 상면은 상기 하부 기판의 상면과 공면을 이루는 압력 센서
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제 15 항에 있어서,상기 그래핀층은 상기 하부 기판의 상면 및 상기 광도파로의 상면과 접촉하는 압력 센서
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19
제 15 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 하부 부분들은 삼각형, 사각형, 또는 반원형의 단면 형상을 갖는 압력 센서
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제 15 항에 있어서,상기 그래핀층의 일면을 덮는 보호막을 더 포함하되,상기 제 1 및 제 2 하부 부분들은 상기 보호막과 접촉하는 압력 센서
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