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Fe-Co-Sm 계 자성재료의 조성비 측정방법에 있어서,챔버 내에 테이프 형상의 기판을 복수 개 배치하고, 상기 기판에 Fe, Co 및 Sm 각각의 자성재료가 영역에 따라 서로 상이한 조성비가 분포되도록 증착된 조성경사형 박막을 제조하는 박막 제조단계;자기특성 연속 측정장치를 이용하여 상기 조성경사형 박막의 자기이력곡선을연속 측정하는 자기이력곡선 측정단계; 및상기 자기이력곡선 측정단계에서 측정된 자기이력곡선에 기초하여 해당 영역의 잔류자화 및 보자력을 확인하고, 최적의 자성재료 조성비를 특정하는 조성비 특정단계;를 포함하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료의 조성비 측정방법
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제1항에 있어서,상기 박막 제조단계는,상기 기판의 하부에 배치된 복수의 증발기 각각에 Fe, Co 및 Sm 각각의 자성재료를 저장하고, 상기 자성재료를 상기 기판의 영역마다 상이한 조성비를 갖도록 증착시키는 것을 특징으로 하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료의 조성비 측정방법
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제1항에 있어서,상기 자화도 측정단계는,상기 조성경사형 박막을 지지부재에 지지하는 박막 지지과정; 및상기 지지부재를 자석부재의 상부 또는 하부를 지나도록 연속 이동시켜 상기 조성경사형 박막을 상기 자석부재의 상부 또는 하부에 일정 간격으로 고-스탑(go-stop) 구동하며, 홀프로브센서를 통해 상기 조성경사형 박막의 자화도를 연속 측정하는 자화도 연속측정과정:을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료의 조성비 측정방법
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제1항에 있어서,상기 조성비 특정단계에서,상기 잔류자화 및 보자력은 히스테리시스 곡선(hysteresis loop)을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료의 조성비 측정방법
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자성재료는 Fe-Co-Sm 계로 이루어지고, 상기 Fe-Co-Sm 계 자성재료는 FexCoySm1의 조성비를 가지며,상기 x는 0
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제 5항에 있어서,상기 조성비는,챔버 내에 테이프 형상의 기판을 복수 개 배치하고, 상기 기판에 Fe, Co 및 Sm 각각의 자성재료가 영역에 따라 서로 상이한 조성비가 분포되도록 증착된 조성경사형 박막의 자기이력곡선을 연속 측정하며, 연속 측정된 상기 자기이력곡선에 기초하여 해당 영역의 잔류자화 및 보자력을 확인하여 특정하는 것을 특징으로 하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료
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제 6항에 있어서,상기 잔류자화 및 보자력은 히스테리시스 곡선(hysteresis loop)을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 Fe-Co-Sm 계 자성재료
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