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벌크 게이트 및 메시 게이트를 포함하는 게이트; 및상기 게이트로부터 소정의 거리 이격되어 설치된 캐소드를 포함하고,상기 메시 게이트는 금속 기판의 복수의 관통홀에 의해 형성된 하나 이상의 격벽을 포함하고, 상기 격벽은 상기 벌크 게이트와 전기적으로 연결되어 상기 벌크 게이트와 함께 전계를 형성하며,상기 게이트와 상기 캐소드와의 사이에 형성된 전계에 의해, 상기 게이트를 사이에 두고 상기 캐소드의 반대편에 대향하여 설치된 아노드로 향하는, 상기 캐소드 표면으로부터의 전자 방출이 상기 복수의 관통홀을 통과하도록 하기 위한 것을 특징으로 하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 게이트는, 실리콘 기판 상부에 금속을 증착한 후 상기 메시 게이트의 패턴을 형성한 후 상기 실리콘 기판의 하부의 실리콘을 제거하는 공정을 포함하는 MEMS 가공 공정에 의해, 상기 벌크 게이트 및 상기 메시 게이트가 일체형으로 제작된 것을 특징으로 하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀은 한점을 중심으로 좌우 대칭적으로 형성된 것을 포함하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀에 의한 복수의 격벽들이 한점을 중심으로 좌우 대칭적으로 형성된 것을 포함하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀 또는 상기 복수의 관통홀에 의한 복수의 격벽의 중심들은, 한점을 중심으로 좌우로 같은 거리에 형성된 하나 이상의 쌍을 포함하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀 또는 상기 복수의 관통홀에 의한 복수의 격벽의 중심들은, 한점을 중심으로 좌우에 대칭적으로 인접 이격 거리가 동일한 2이상의 부분을 포함하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀 또는 상기 복수의 관통홀에 의한 복수의 격벽의 중심들은, 한점을 중심으로 좌우에 대칭적으로 인접 이격 거리가 서로 다른 2이상의 부분을 포함하는 전계방출 장치
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제1항에 있어서,상기 메시 게이트의 상기 복수의 관통홀 또는 상기 복수의 관통홀에 의한 복수의 격벽들은, 1차원 또는 2차원 배열로 형성된 것을 특징으로 하는 전계방출 장치
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MEMS 가공 공정을 기초로 전계방출 장치의 제작 방법에 있어서,실리콘 기판 상부에 금속을 증착한 후 상기 메시 게이트의 패턴을 형성하는 단계; 및상기 메시 게이트의 패턴 및 그 주위로 벌크 게이트를 포함하는 금속 부분이 남아있도록 상기 실리콘 기판의 하부의 실리콘을 제거하는 단계를 포함하고,상기 메시 게이트는 금속 기판의 복수의 관통홀에 의해 형성된 하나 이상의 격벽을 포함하고, 상기 격벽은 상기 벌크 게이트와 전기적으로 연결되어 상기 벌크 게이트와 함께 전계를 형성하며,상기 벌크 게이트 및 상기 메시 게이트를 포함하는 게이트로부터 소정의 거리 이격되어 설치된 캐소드와의 사이에 형성된 전계에 의해, 상기 게이트를 사이에 두고 상기 캐소드의 반대편에 대향하여 설치된 아노드로 향하는, 상기 캐소드 표면으로부터의 전자 방출이 상기 복수의 관통홀을 통과하도록 하기 위한 것을 특징으로 하는 전계방출 제작 방법
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