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광간섭 형상 측정기에 있어서,시간별로 광경로차를 순차적으로 발생시키는 거리스캐닝 간섭계가 포함되어 개시광원의 광을 다중 파장 간격 변조광으로 변환시키는 다중 파장 간격 변조 광원부;상기 다중 파장 간격 변조 광원부에서의 방출광을 고정거울과 샘플로 나누고, 상기 샘플의 거리차에 대응되는 서로 다른 특정 파장 간격의 간섭신호를 발생시키는 고정거리 간섭계부;상기 다중 파장 간격 변조 광원부에서의 상기 특정 파장 간격에 대응되는 시간에 광세기를 시간별로 수신하여 전기 신호로 변환하는 광검출부를 포함하여 이루어지고,상기 다중 파장 간격 변조 광원부는,상기 개시광원의 광을 편광 성분에 따라 분할하는 광분배결합기; 및상기 분할된 광들의 편광에 따른 지연거리 차이가 시간에 따른 인가 전압에 따라 스캐닝되는 편광지연소자를 포함하고,상기 분할된 광들은 거리가 고정된 복수의 고정 거울과 상기 편광지연소자로 각각 반사되는 복수의 광경로를 형성하고,상기 광분배결합기를 통해 상기 분할된 광들은 상기 편광지연소자를 거쳐 상기 복수의 고정 거울에 순차적으로 반사되는, 광간섭 형상 측정기
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제1 항에 있어서, 상기 광검출부는,상기 고정거리 간섭계부에서 상기 특정 파장 간격의 간섭신호를 수신하고, 상기 특정 파장 간격에 대응되는 시간에서 다른 시간보다 상대적으로 커지는 광세기를 상기 대응되는 시간 별로 수신하여 전기 신호로 변환하고,상기 광검출부의 상기 전기 신호를 공간별로 수집하여 형상화하는 영상화 처리기를 더 포함하는, 광간섭 형상 측정기
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제1 항에 있어서,상기 광간섭 형상 측정기는,상기 분할된 광들이 시간에 따라 서로 경로차가 발생하여 상기 광분배결합기에 의하여 다중 파장 간격 변조광으로 변환되는 다중 파장 간격 변조 광원을 이용한 거리스캐닝 간섭계인것을 특징으로 하는, 광 간섭 형상 측정기
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제1 항에 있어서, 상기 다중 파장 간격 변조 광원부는 상기 개시광원의 광을 인라인 페브리페로 간섭계를 통과시키는 광경로부를 형성하고,상기 광경로부의 광들이 시간에 따라 서로 경로차가 발생하여 다중 파장 간격 변조광으로 변환되는 다중 파장 간격 변조 광원을 이용한 거리스캐닝 간섭계인것을 특징으로 하는, 광 간섭 형상 측정기
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8
제1 항에 있어서,상기 광검출부는 상기 샘플의 공간별 높낮이에 따라 순차적으로 반사되는 광을 검출하고,상기 공간별 높낮이에 따라 검출된 광의 상대적 광세기를 공간별로 나누어 검출할 수 있는 초점광 위치 스캐너를 더 포함하고,상기 초점광 위치 스캐너를 통과하는 광을 검출하는 단일 광검출기를 포함하여, 상기 공간별 높낮이에 따른 샘플 형상을 순차적으로 측정하는 것을 특징으로 하는, 광간섭 형상 측정기
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제1 항에 있어서, 상기 광검출부는,상기 샘플의 공간별 높낮이에 따라 상기 샘플에서 동시에 반사되는 특정 면적 내의 광의 상대적 광세기를 공간별로 동시에 검출할 수 있는 CCD 또는 CMOS 카메라를 포함하여, 상기 샘플의 특정 면적 단위의 샘플 형상을 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는, 광간섭 형상 측정기
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