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다공성 도전막인 제 1 감지 소재; 및상기 제 1 감지 소재의 표면 상에 분산되어 배치되는 제 2 감지 소재들을 포함하되,상기 제 2 감지 소재들은: 2차원 결정 구조를 갖는 전도성 구조체; 및 상기 전도성 구조체의 결정층들 사이에 배치되는 나노 입자들을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 감지 소재는 2차원 결정 구조를 갖는 도전 물질을 포함하되,상기 제 1 감지 소재는 그의 표면을 수직 관통하는 홀들을 갖는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 감지 소재는 다층 그래핀(graphene)을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 감지 소재의 기공율(porosity)은 50% 내지 98%인 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 구조체 및 상기 나노 입자들은 내방사선 물질을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전도성 구조체는 전이금속 카바이드(transition metal carbides)를 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 나노 입자들은 감마선 (Gamma ray)에 차폐 특성을 가지는 금속 산화물을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 감지 소재 및 상기 제 2 감지 소재들을 덮는 보호층을 더 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서
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다공성 희생층의 표면 상에 제 1 감지 소재를 형성하는 것;2차원 결정 구조의 전도성 구조체의 결정층들 사이에 방사선 차폐 특성을 갖는 나노 입자들을 삽입하여 제 2 감지 소재들을 형성하는 것;상기 제 1 감지 소재의 표면 상에 상기 제 2 감지 소재들을 부착시키는 것; 및상기 다공성 희생층을 제거하는 것을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 다공성 희생층은 그의 상면에 수직한 방향으로 상기 다공성 희생층을 수직 관통하는 홀들을 갖는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 다공성 희생층의 기공율(porosity)은 50% 내지 98%인 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 감지 소재들을 형성하는 것은:상기 전도성 구조체를 포함하는 전구체 용액을 형성하는 것;상기 전구체 용액에 방사선 차폐 특성을 갖는 상기 나노 입자들을 넣는 것; 및상기 전구체 용액에 초음파 처리 공정을 수행하는 것을 포함하되,상기 초음파 저리 공정에 의해 상기 나노 입자들은 상기 전도성 구조체의 결정층들 사이에 삽입되는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 감지 소재는 2차원 결정 구조를 갖는 도전 물질을 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 복합 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 다공성 희생층을 제거하기 전에,상기 제 1 감지 소재를 덮도록 고분자 물질을 도포하여 보호층을 형성하는 것을 더 포함하는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 다공성 희생층을 제거하는 것은 습식 식각 공정을 통해 수행되는 내방사선 특성을 갖는 온도-압력 센서의 제조 방법
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다공성 도전막;상기 다공성 도전막의 표면 상에 분산되어 배치되는 복수의 클러스터들; 및상기 다공성 도전막 및 상기 복수의 클러스터들을 덮는 보호층을 을 포함하되,상기 복수의 클러스터들은: 2차원 결정 구조를 갖는 전도성 구조체; 및 상기 전도성 구조체의 결정층들 사이에 배치되는 나노 입자들을 포함하는 내방사선 구조체
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제 16 항에 있어서,상기 다공성 도전막은 2차원 결정 구조의 도전 물질을 포함하고, 그의 표면을 수직 관통하는 홀들을 갖는 내방사선 구조체
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제 16 항에 있어서,상기 다공성 도전막의 기공율(porosity)은 50% 내지 98%인 내방사선 구조체
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제 16 항에 있어서,상기 전도성 구조체는 전이금속 카바이드(transition metal carbides)를 포함하는 내방사선 구조체
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제 16 항에 있어서,상기 나노 입자들은 감마선 (Gamma ray)에 차폐 특성을 가지는 금속 산화물을 포함하는 내방사선 구조체
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