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얼라인헤드를 포함하는 본딩장치

  • 기술번호 : KST2020004584
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 얼라인헤드를 포함하는 본딩장치는, 접합 대상의 상면에 접촉되며, 레이저 투과성을 가지도록 형성된 레이저 투과부를 포함하는 얼라인헤드, 상기 얼라인헤드를 상하 방향으로 이동시키도록 형성되어 상기 접합 대상을 피접합 대상에 가압시키되, 상기 얼라인헤드의 기울기를 조절시킬 수 있도록 형성되는 가변 액추에이터 및 상기 레이저 투과부에 레이저 빔을 조사하여 상기 레이저 투과부에 접촉된 접합 대상에 열 에너지를 인가하는 레이저 조사유닛을 포함한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) H01L 21/67092(2013.01)
출원번호/일자 1020180130507 (2018.10.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0049970 (2020.05.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤길상 인천 연수구
2 고영배 인천광역시 연수구
3 하석재 인천광역시 연수구
4 박정연 인천 서구
5 이동원 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1071338-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0007999-81
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0054539-15
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0235351-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0235333-16
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0459502-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
접합 대상의 상면에 접촉되며, 레이저 투과성을 가지도록 형성된 레이저 투과부를 포함하는 얼라인헤드;상기 얼라인헤드를 상하 방향으로 이동시키도록 형성되어 상기 접합 대상을 피접합 대상에 가압시키되, 상기 얼라인헤드의 기울기를 조절시킬 수 있도록 형성되는 가변 액추에이터;상기 레이저 투과부에 레이저 빔을 조사하여 상기 레이저 투과부에 접촉된 접합 대상에 열 에너지를 인가하는 레이저 조사유닛; 및상기 가변 액추에이터의 상단부를 지지하도록 형성되어 상기 가변 액추에이터를 상하 이동시키는 고정플레이트 어셈블리;를 포함하며,상기 고정플레이트 어셈블리는,상기 가변 액추에이터의 상단을 고정시키도록 형성되는 탑플레이트; 및상기 탑플레이트 및 별도의 이송테이블과 연결되어, 상기 이송테이블의 구동력에 의해 상하 이동 가능하게 형성되는 백플레이트;를 포함하는 본딩장치
2 2
제1항에 있어서,상기 가변 액추에이터는 서로 좌우 방향으로 이격된 한 쌍의 액추에이터 모듈을 포함하는 본딩장치
3 3
제2항에 있어서,상기 얼라인헤드는,상기 레이저 투과부의 양측에 구비되어 각각 상기 한 쌍의 액추에이터 모듈 중 어느 하나와 연결되는 연결부를 더 포함하는 본딩장치
4 4
제3항에 있어서,상기 가변 액추에이터는,상기 한 쌍의 액추에이터 모듈의 하부에 각각 구비되어 상기 연결부를 탈착 가능하게 하는 고정부를 더 포함하는 본딩장치
5 5
제3항에 있어서,상기 레이저 투과부는 상기 연결부보다 하부로 돌출되도록 형성된 본딩장치
6 6
제3항에 있어서,상기 레이저 투과부는 상기 연결부보다 상부로 돌출되도록 형성된 본딩장치
7 7
제1항에 있어서,상기 레이저 투과부는 상기 얼라인헤드에 복수 개가 구비되는 본딩장치
8 8
제1항에 있어서,상기 레이저 투과부 하면의 면적은 상기 접합 대상 상면의 면적에 대응되도록 형성된 본딩장치
9 9
제1항에 있어서,상기 레이저 투과부 하면의 면적은 상기 접합 대상 상면의 면적보다 크게 형성되고,상기 레이저 투과부 하면에는 상기 접합 대상 상면의 면적에 대응되는 면적을 가지는 함몰홈이 형성된 본딩장치
10 10
제9항에 있어서,상기 함몰홈의 깊이는 상기 접합 대상의 두께보다 작은 길이를 가지도록 형성된 본딩장치
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
제1항에 있어서,상기 가변 액추에이터는 서로 좌우 방향으로 이격된 한 쌍의 액추에이터 모듈을 포함하고,상기 탑플레이트에는 상기 레이저 조사유닛으로부터 조사된 레이저가 통과하는 레이저 투과홀이 형성된 본딩장치
14 14
삭제
15 15
제1항에 있어서,상기 고정플레이트 어셈블리는,상기 탑플레이트 및 상기 백플레이트 사이에 구비되어 지지력을 제공하는 리브플레이트를 더 포함하는 본딩장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)프로텍 제조기반생산시스템 가변영역 레이저를 이용한 이종 패키지 제조용 초정밀 스택 본딩 장비 개발