요약 | 미세플라즈마 처리를 통한 오존수 제조 장치가 개시된다. 본 발명은, 미세액적을 미세반응기를 통해 제조하고 미세플라즈마 처리를 할 수 있다. 본 발명에 따르면, 기존 벌크 플라즈마를 통한 국소적인 처리법을 대체할 수 있는 새로운 기술이고, 이를 통해 강산성 오존수 제조를 수행할 수 있으며, 한번의 공정을 통해 다수의 플라즈마 처리를 동시에 진행함으로써 효율성을 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라, 미세-레벨(micro-level)에서 이루어지는 플라즈마 처리 기술이기때문에 대량의 벌크 공정에서 이루어지는 국소처리 문제를 해결할 수 있다. |
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Int. CL | C02F 1/78 (2006.01.01) C01B 13/28 (2006.01.01) |
CPC | C02F 1/78(2013.01) C02F 1/78(2013.01) C02F 1/78(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020180127262 (2018.10.24) |
출원인 | 인하대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-2115843-0000 (2020.05.21) |
공개번호/일자 | 10-2020-0046305 (2020.05.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20200527) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2018.10.24) |
심사청구항수 | 2 |