| 1 |
1
2차원 나노소재가 다층으로 형성되고, P형 불순물 영역과 N형 불순물 영역이 반복되게 형성된 나노소재층을 베이스 기판 상에 형성하는 나노소재층 형성단계;상기 나노소재층으로부터 상기 베이스 기판을 제거하기 위하여, 상기 베이스 기판을 에칭하는 에칭단계;상기 에칭단계 동안, 상기 나노소재층이 구부러지도록 상기 나노소재층의 양측부로부터 중앙부를 향하는 방향으로 압축력을 인가하는 압축력 인가단계; 및구부러진 나노소재층의 전체 표면과 외부를 전기적으로 절연시키기 위하여, 구부러진 상태의 나노소재층을 탄성 재질의 절연부로 감싸는 절연단계;를 포함하며,상기 압축력 인가단계는,상기 나노소재층의 양측부로부터 중앙부를 향하는 방향으로 압축공기의 유동을 형성하거나 또는 에칭액의 유동을 형성함으로써 압축력을 형성하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 2 |
2
2차원 나노소재가 다층으로 형성되고, P형 불순물 영역과 N형 불순물 영역이 반복되게 형성된 나노소재층을 구부러진 베이스 기판 상에 형성하는 나노소재층 형성단계;상기 나노소재층으로부터 상기 베이스 기판을 제거하기 위하여, 상기 베이스 기판을 에칭하는 에칭단계; 및구부러진 나노소재층의 전체 표면과 외부를 전기적으로 절연시키기 위하여, 구부러진 상태의 나노소재층을 탄성 재질의 절연부로 감싸는 절연단계;를 포함하며,상기 나노소재층 형성단계는,상기 2차원 나노소재를 다층으로 형성하여 나노소재 베이스층을 마련하는 나노소재 베이스층 형성단계;상기 나노소재 베이스층에 결함밀도가 1을 초과하도록 온도 구배가 형성되는 방향을 따라 선형적인 형태의 결함을 형성하는 결함 형성단계; 및상기 나노소재 베이스층에서 결함이 형성된 부위에 상기 2차원 나노소재와 다른 물질인 이종 물질을 결합시키는 이종 물질 결합단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 나노소재층 형성단계는,상기 2차원 나노소재를 다층으로 형성하여 나노소재 베이스층을 마련하는 나노소재 베이스층 형성단계;상기 나노소재 베이스층에 결함을 형성하는 결함 형성단계; 및상기 나노소재 베이스층에서 결함이 형성된 부위에 상기 2차원 나노소재와 다른 물질인 이종 물질을 결합시키는 이종 물질 결합단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 4 |
4
제2항 또는 제3항에 있어서,상기 이종 물질 결합단계는,상기 나노소재 베이스층의 결함에 서로 다른 성질의 이종 물질을 선택적으로 결합시킴으로써, 상기 나노소재층에 상기 P형 불순물 영역과 상기 N형 불순물 영역을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 5 |
5
제3항에 있어서,상기 결함 형성단계는, 상기 나노소재 베이스층에 결함을 온도 구배가 형성되는 방향을 따라 선형적인 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 절연단계 이전에 수행되고, 상기 베이스 기판이 제거된 나노소재층을 세척하는 세척단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 8 |
8
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 절연단계 이전에 수행되고, 상기 나노소재층와 외부의 전기적 연결을 위하여 상기 나노소재층의 양단부에 배선 단자를 형성하는 배선 단자 형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 9 |
9
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 2차원 나노소재는 육방정 질화 붕소 또는 그래핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자 제조방법
|
| 10 |
10
2차원 나노소재가 다층으로 형성되고, P형 불순물 영역과 N형 불순물 영역이 반복되게 구획되어 있으며, 구부러진 형상의 나노소재층; 및구부러진 형상의 나노소재층의 전체 표면과 외부를 전기적으로 절연시키기 위하여, 구부러진 형상의 나노소재층을 감싸는 탄성 재질의 절연부;를 포함하며,상기 나노소재층은,상기 2차원 나노소재가 다층으로 형성된 나노소재 베이스층;상기 나노소재 베이스층에 결함밀도가 1을 초과하도록 온도 구배가 형성되는 방향을 따라 선형적인 형태로 형성된 결함; 및상기 나노소재 베이스층에서 결함이 형성된 부위에 결합되고, 상기 2차원 나노소재와 다른 물질인 이종 물질;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,서로 다른 성질의 이종 물질이 상기 나노소재 베이스층의 결함에 선택적으로 결합됨으로써, 상기 나노소재층에 상기 P형 불순물 영역과 상기 N형 불순물 영역이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
제10항에 있어서,상기 2차원 나노소재는 육방정 질화 붕소 또는 그래핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 열전소자
|
