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전압파형 인가 여부에 따라 압전박막 변형하는 압전 구동부; 상기 압전 구동부의 하면에 접촉되는 하부전극과, 상기 압전 구동부의 상면에 접촉되는 상부전극을 가지는 전극부; 상기 하부전극과 전기적으로 연결되는 하부배선과, 상기 상부전극과 전기적으로 연결되는 상부배선을 가지는 배선부; 상기 하부전극의 하부에 밀착 구비되어 상기 압전 구동부의 압전박막 변형에 연동하여 진동하는 진동부; 상기 진동부의 하측에 상기 진동부와 이격되게 구비되고, 상기 진동부를 기준으로 일측 및 타측에 각각 형성되어 잉크가 이동되도록 하는 제1포트 및 제2포트와 연결되어 상기 제1포트로 유입되는 잉크가 상기 제2포트로 배출되도록 잉크가 흐르는 유동유로를 형성하며, 상기 진동부가 진동 시에 상기 유동유로의 잉크가 토출되는 노즐을 가지는 제1웨이퍼부; 상기 진동부의 상측에 구비되고, 상기 압전 구동부를 내측에 수용하는 수용부, 상기 제1포트와 연결되는 제1홀 및 상기 제2포트와 연결되는 제2홀을 가지는 제2웨이퍼부; 그리고 상기 유동유로에 구비되어 상기 유동유로의 입구단 및 출구단 중의 적어도 어느 하나의 유로단면적이 감소되도록 하는 유량제한부를 포함하고,상기 유량제한부는 상기 제1포트 및 상기 노즐의 사이에 배치되어 상기 유동유로의 입구단의 유로단면적이 감소되도록 하는 제1유량제한부와, 상기 노즐 및 상기 제2포트의 사이에 배치되어 상기 유동유로의 출구단의 유로단면적이 감소되도록 하는 제2유량제한부를 포함하고, 상기 유동유로 내의 압력이 증가되도록, 상기 유동유로에서 잉크의 흐름방향을 기준으로, 상기 제1유량제한부의 후단부의 단면적은 상기 제2유량제한부의 전단부의 단면적보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛
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제1항에 있어서, 상기 제1유량제한부는 상기 유동유로의 길이방향을 따라 동일한 제1단면적을 가지도록 형성되고, 상기 제2유량제한부는 상기 유동유로의 길이방향을 따라 동일한 제2단면적을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛
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제1항에 있어서,상기 제1유량제한부는 상기 유동유로에서 잉크의 흐름방향을 따라 단면적이 커지도록 형성되고, 상기 제2유량제한부는 상기 유동유로에서 잉크의 흐름방향을 따라 단면적이 감소하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛
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제1항에 있어서, 상기 제1포트의 유로단면적은 상기 제2포트의 유로단면적보다 작은 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛
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제1항, 제3항, 제6항 및 제8항 중 어느 하나의 항에 기재되고, 폭 방향을 따라 배열되는 복수의 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛을 가지는 제1잉크젯 헤드 어레이를 포함하고, 상기 제1잉크젯 헤드 어레이에 속하는 상기 복수의 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛에 구비되는 상기 압전 구동부의 전기적 반응이 동일하게 이루어지도록, 상기 제1잉크젯 헤드 어레이에 속하는 상기 복수의 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛에 구비되는 복수의 상기 하부배선은 서로 연결되며, 상기 제1잉크젯 헤드 어레이에 속하는 상기 복수의 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛에 구비되는 상기 상부배선은 각각 동일한 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 조립체
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제9항에 있어서, 상기 복수의 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛을 가지고, 상기 제1잉크젯 헤드 어레이와 나란하게 구비되는 제2잉크젯 헤드 어레이; 그리고 상기 제1잉크젯 헤드 어레이 및 상기 제2잉크젯 헤드 어레이의 작동을 제어하는 제어유닛을 포함하고, 상기 제어유닛은 상기 제1잉크젯 헤드 어레이에 속하는 상기 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛과 상기 제2잉크젯 헤드 어레이에 속하는 상기 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛 중에 상기 폭방향을 따라 연장되는 가상의 연장선 상에 노즐이 함께 위치되는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛이 있는 경우, 해당되는 상기 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛 중 어느 하나의 작동이 중지되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 조립체
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제1항, 제3항, 제6항 및 제8항 중 어느 하나의 항에 기재된 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛을 제조하기 위한 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛 제조방법으로서, 베이스 웨이퍼의 상면에 상기 하부전극, 상기 압전 구동부 및 상기 상부전극을 순차적으로 마련하는 구동부 형성단계; 상기 압전 구동부를 기준으로 상기 베이스 웨이퍼의 일측에 상기 제1포트를 형성하고 타측에 상기 제2포트를 형성하는 포트 형성단계; 상기 제2웨이퍼부를 상기 베이스 웨이퍼의 상부에 본딩하여 상기 수용부의 내측에 상기 압전 구동부가 수용되도록 하고, 상기 제1홀은 상기 제1포트와 연결되며 상기 제2홀은 상기 제2포트와 연결되도록 하는 제2웨이퍼부 마련단계; 상기 베이스 웨이퍼의 하부를 연마하여 상기 베이스 웨이퍼의 높이가 상기 진동부 및 상기 유량제한부를 합한 높이와 동일해지도록 하는 연마단계; 상기 베이스 웨이퍼를 가공하여 상기 진동부 및 상기 유량제한부를 형성하는 가공단계; 그리고 상기 제1웨이퍼부를 상기 유량제한부의 하부에 본딩하는 제1웨이퍼부 마련단계를 포함하고, 상기 가공단계에서, 상기 유량제한부는 상기 제1포트 및 상기 노즐의 사이에 배치되어 상기 유동유로의 입구단의 유로단면적이 감소되도록 하는 제1유량제한부와, 상기 노즐 및 상기 제2포트의 사이에 배치되어 상기 유동유로의 출구단의 유로단면적이 감소되도록 하는 제2유량제한부를 포함하도록 가공되고,상기 유동유로 내의 압력이 증가되도록, 상기 유동유로에서 잉크의 흐름방향을 기준으로, 상기 제1유량제한부의 후단부의 단면적은 상기 제2유량제한부의 전단부의 단면적보다 작게 형성되는 잉크 순환형 잉크젯 헤드 유닛의 제조방법
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