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레이저 광원;상기 레이저 광원의 출력광의 빔 사이즈를 증가시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 출력된 빔의 공간 분포를 조절하는 레이저 변조 간섭계; 및상기 레이저 변조 간섭계에서 공간 변조된 빔을 시료에 조사하는 대물 렌즈를 포함하고,상기 레이저 변조 간섭계에서 출력된 공간 변조된 빔을 제1 경로와 제2 경로로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 경로의 제1 여기 빔을 스위칭하는 제1 광 스위치; 상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제2 경로의 제2 여기 빔을 스위칭하는 제2 광 스위치;상기 대물 렌즈와 상기 제1 광 스위치 사이에 배치되고 상기 제1 여기 빔 또는 상기 제2 여기 빔을 상기 대물 렌즈에 제공하는 제2 빔 분할기; 및상기 제2 광 스위치와 상기 제2 빔 분할기 사이에 배치되어 도넛 형태의 강도 프로파일을 제공하는 소용돌이 위상판(vortex phase plate);을 포함하고,상기 제1 광 스위치와 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치되고, 상기 제1 여기 빔에 반응하여 상기 시료가 제공하는 제1 측정빔을 분할하는 제3 빔 분할기;상기 제3 빔 분할기에 의한 분기된 상기 제1 측정빔을 집속하는 제1 집속 렌즈;상기 제1 측정빔을 투과시키고 상기 제1 집속 렌즈의 후단에 배치되는 제1 핀홀; 및상기 제1 핀홀의 후단에 배치되어 상기 제1 측정빔을 측정하는 제1 광 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제3 항에 있어서,상기 제2 광 스위치와 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치되고 상기 제2 여기 빔에 반응하여 상기 시료가 제공하는 제2 측정빔을 분할하는 제4 빔 분할기;상기 제4 빔 분할기에 의한 분기된 상기 제2 측정빔을 집속하는 제2 집속 렌즈; 상기 제2 측정빔을 투과시키고 상기 제2 집속 렌즈의 후단에 배치되는 제2 핀홀; 및상기 제2 핀홀의 후단에 배치되어 상기 제2 측정빔을 측정하는 제2 광 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제3 항에 있어서,상기 레이저 변조 간섭계에 의하여 상기 공간 변조된 빔은 튜브 형상, 폴 형상, 또는 튜브-폴 형상인 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제3 항에 있어서,상기 레이저 변조 간섭계는, 상기 레이저 광원으로부터 제공받은 빔 사이즈가 증가된 광을 기준 경로와 변조 경로로 분할하고 상기 기준 경로에서 반사된 빔과 상기 변조 경로에서 반사된 빔을 결합하여 출력하는 빔 분할기;상기 기준 경로에 배치된 제1 미러; 상기 변조 경로에 배치된 공간 액정 변조기; 및상기 공간 액정 변조기의 후단에 배치된 제2 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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레이저 광원;상기 레이저 광원의 출력광의 빔 사이즈를 증가시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 출력된 빔의 공간 분포를 조절하는 레이저 변조 간섭계; 및상기 레이저 변조 간섭계에서 공간 변조된 빔을 시료에 조사하는 대물 렌즈를 포함하고,상기 레이저 변조 간섭계에서 출력된 공간 변조된 빔을 제1 경로와 제2 경로로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 경로의 제1 여기 빔을 스위칭하는 제1 광 스위치; 상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제2 경로의 제2 여기 빔을 스위칭하는 제2 광 스위치;상기 대물 렌즈와 상기 제1 광 스위치 사이에 배치되고 상기 제1 여기 빔 또는 상기 제2 여기 빔을 상기 대물 렌즈에 제공하는 제2 빔 분할기; 및상기 제2 광 스위치와 상기 제2 빔 분할기 사이에 배치되어 도넛 형태의 강도 프로파일을 제공하는 소용돌이 위상판(vortex phase plate);을 포함하고,상기 제1 빔 분할기와 상기 레이저 변조 간섭계 사이에 배치된 선형 편광판;상기 선형 편광판과 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치된 반파장판; 상기 제2 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치된 1/4 파장판; 및상기 제2 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치된 빔 스캐너; 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제4 항에 있어서,상기 제1 핀홀과 상기 제1 광 감지부 사이에 배치된 제1 광 섬유;상기 제1 광 감지부의 신호를 처리하는 제1 록인 증폭기;상기 제2 핀홀과 상기 제2 광 감지부 사이에 배치된 제2 광 섬유; 및상기 제2 광 감지부의 신호롤 처리하는 제2 록인 증폭기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제8 항에 있어서,상기 제1 록인 증폭기의 제1 신호와 상기 제2 록인 증폭기의 제2 신호의 차이를 연산하는 신호 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제3 항에 있어서,상기 레이저 광원의 출력광은 연속파 또는 펄스이고,상기 제1 광 스위치와 상기 제2 광 스위치는 서로 다른 시간에 턴온되고,상기 제1 광 스위치와 상기 제2 광 스위치는 전기광학 변조기인 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제4 항에 있어서,상기 제3 빔 분할기와 상기 제1 집속 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 측정 빔 만을 선택적으로 투과시키는 제1 밴드 패스 필터; 및상기 제4 빔 분할기와 상기 제2 집속 렌즈 사이에 배치되어 상기 제2 측정 빔 만을 선택적으로 투과시키는 제2 밴드 패스 필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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레이저 광원;상기 레이저 광원의 출력광의 빔 사이즈를 증가시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 출력된 빔의 공간 분포를 조절하는 레이저 변조 간섭계; 및상기 레이저 변조 간섭계에서 공간 변조된 빔을 시료에 조사하는 대물 렌즈를 포함하고,상기 레이저 변조 간섭계에서 출력된 공간 변조된 빔을 제1 경로와 제2 경로로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 경로의 제1 여기 빔을 스위칭하는 제1 광 스위치; 상기 제1 빔 분할기와 상기 대물 렌즈 사이에 배치되어 상기 제2 경로의 제2 여기 빔을 스위칭하는 제2 광 스위치;상기 대물 렌즈와 상기 제1 광 스위치 사이에 배치되고 상기 제1 여기 빔 또는 상기 제2 여기 빔을 상기 대물 렌즈에 제공하는 제2 빔 분할기; 및상기 제2 광 스위치와 상기 제2 빔 분할기 사이에 배치되어 도넛 형태의 강도 프로파일을 제공하는 소용돌이 위상판(vortex phase plate);을 포함하고,상기 제1 광 스위치와 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치되고, 상기 제1 여기 빔에 반응하여 상기 시료가 제공하는 제1 측정빔을 분할하는 제1 이색성 미러;상기 제1 이색성 미러에서 반사된 상기 제1 측정빔을 집속하는 제1 집속 렌즈;상기 제1 측정빔을 투과시키고 상기 제1 집속 렌즈의 후단에 배치되는 제1 핀홀; 및상기 제1 핀홀의 후단에 배치되어 상기 제1 측정빔을 측정하는 제1 광 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제12 항에 있어서,상기 제2 광 스위치와 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치되고 상기 제2 여기 빔에 반응하여 상기 시료가 제공하는 제2 측정빔을 반사시키는 제2 이색성 미러;상기 제2 이색성 미러에서 반사된 상기 제2 측정빔을 집속하는 제2 집속 렌즈; 상기 제2 측정빔을 투과시키고 상기 제2 집속 렌즈의 후단에 배치되는 제2 핀홀; 및상기 제2 핀홀의 후단에 배치되어 상기 제2 측정빔을 측정하는 제2 광 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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제13 항에 있어서,상기 제1 이색성 미러와 상기 제1 집속 렌즈 사이에 배치되어 상기 제1 측정 빔 만을 선택적으로 투과시키는 제1 밴드 패스 필터; 및상기 제2 이색성 미러와 상기 제2 집속 렌즈 사이에 배치되어 상기 제2 측정 빔 만을 선택적으로 투과시키는 제2 밴드 패스 필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 장치
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