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내부에 기판이 안착되도록 마련된 챔버;챔버 내에 안착된 기판에 칼코겐 성분이 기체 상태로 도포될 수 있도록, 칼코겐 소스가 수용되기 위한 공간부를 갖는 복수 개의 샤워 헤드를 포함하는 샤워 모듈; 및챔버 내 샤워 모듈을 가열하도록 마련된 제1 히터를 포함하고,각각의 샤워 헤드는, 공간부에 수용된 칼코겐 소스가 샤워헤드를 통과하도록 마련된 기공을 포함하며,각각의 샤워 헤드는, 챔버 내에 안착된 기판의 일면과 마주하도록 배치된 바닥부재 및 상기 공간부를 형성하도록 바닥부재의 가장자리에 마련되며, 적어도 일부영역에 하나 이상의 관통홀을 갖는 측벽을 포함하는, 태양전지 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 샤워 모듈은, 인접하는 2개의 샤워헤드가 관통홀이 형성된 측벽끼리 접촉하도록 배열된, 태양전지 제조장치
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제 2 항에 있어서,인접하는 2개의 샤워헤드의 각 측벽에 형성된 관통홀들을 통과하여 샤워헤드들을 고정시키기 위한 체결수단을 추가로 포함하는 태양전지 제조장치
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제 2 항에 있어서,샤워바디는, 공간부에 칼코겐 성분이 수용되면, 상기 칼코겐 성분이 바닥부재 및 측벽을 각각 통과하도록 마련되고,샤워모듈에서, 하나의 샤워바디의 측벽을 통과한 칼코겐 성분은 관통홀을 통해 인접하는 샤워바디의 공간부로 이동되거나, 측벽을 통해 인접하는 샤워바디의 공간부로 이동 가능한, 태양전지 제조장치
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5
제 3 항에 있어서,샤워모듈에서, 인접하는 2개의 샤워헤드의 관통홀 중 일부에는 체결수단이 마련되고, 나머지 관통홀에는 체결수단이 마련되지 않은 태양전지 제조장치
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6
제 2 항에 있어서,바닥부재는 기판의 일면과 마주하는 제1 면이 사각 형상을 갖고,바닥부재의 상기 제1 면의 단면적은 칼코겐 성분이 도포될 기판의 일면의 단면적보다 작은 태양전지 제조장치
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제 6 항에 있어서, 제1 면은 한 변이 0
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내부에 기판이 안착되도록 마련된 챔버;챔버 내에 안착된 기판에 칼코겐 성분이 기체 상태로 도포될 수 있도록, 칼코겐 소스가 수용되기 위한 복수 개의 제1 공간부를 갖고, 인접하는 공간부는 격벽을 통해 구획되며, 상기 격벽에 하나 이상의 관통홀이 형성된 샤워 모듈; 및챔버 내에 샤워 모듈을 가열하도록 배치된 제1 히터를 포함하며,샤워 모듈은, 제1 공간부에 수용된 칼코겐 소스가 샤워 모듈을 통과하도록 마련된 기공을 포함하는 태양 전지 제조 장치
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제 8 항에 있어서,상기 샤워 모듈은, 챔버 내에 안착된 기판의 일면과 마주하도록 배치된 바닥부재 및 제2 공간부를 형성하도록 바닥부재의 가장자리에 마련된 측벽을 포함하며,상기 격벽은 상기 측벽 내측에 위치하며, 제1 방향으로 연장된 제1 부재 및 제1 부재와 교차하도록 배치된 제2 부재를 포함하며,제2 공간부는 제1 및 제2 부재에 의하여 복수 개의 제1 공간부로 구획되는, 태양 전지 제조 장치
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제 9 항에 있어서,샤워모듈에서, 어느 한 제1 공간부에 수용된 칼코켄 성분은 격벽 또는 관통홀을 통과하여 인접한 또 다른 제1 공간부로 이동 가능한, 태양전지 제조장치
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제 9 항에 있어서,바닥부재, 측벽 및 격벽은 일체로 형성된, 태양 전지 제조 장치
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12
제 9 항에 있어서,상기 샤워 모듈은 소정의 기공도를 갖도록 마련된 흑연을 포함하는, 태양전지 제조장치
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내부에 기판이 안착되도록 마련된 챔버;챔버 내에 안착된 기판에 칼코겐 성분이 기체 상태로 도포될 수 있도록, 칼코겐 소스가 수용되기 위한 공간부를 갖는 복수 개의 샤워 헤드를 포함하는 샤워 모듈; 챔버 내 샤워 모듈을 가열하도록 배치된 제1 히터; 및칼코겐 소스가 수용되고, 각각의 샤워헤드의 공간부로 칼코겐 소스를 공급하도록 마련된 공급부를 포함하고,각각의 샤워 헤드는, 공간부에 수용된 칼코겐 소스가 샤워헤드를 통과하도록 마련된 기공을 포함하며,각각의 샤워 헤드는, 챔버 내에 안착된 기판의 일면과 마주하도록 배치된 바닥부재 및 상기 공간부를 형성하도록 바닥부재의 가장자리에 마련되며, 적어도 일부영역에 하나 이상의 관통홀을 갖는 측벽을 포함하는 태양전지 제조장치
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제 1 2 항에 있어서,공급부는, 칼코겐 소스가 수용된 하나 이상의 수용부;수용부를 가열하도록 마련된 제3 히터; 및수용부 및 샤워헤드의 공간부를 유체 이동 가능하게 연결하도록 마련된 하나 이상의 공급 라인을 포함하는 태양전지 제조장치
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제 14 항에 있어서,제3 히터는 수용부 내의 칼코겐 소스를 액체 상태로 유지하도록 마련된 태양전지 제조장치
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내부에 기판이 안착되도록 마련된 챔버; 챔버 내에 안착된 기판에 칼코겐 성분이 기체 상태로 도포될 수 있도록, 칼코겐 소스가 수용되기 위한 복수 개의 제1 공간부를 갖고, 인접하는 2개의 제1 공간부는 격벽을 통해 구획되며, 상기 격벽에 하나 이상의 관통홀이 형성된 샤워 모듈;챔버 내에 샤워 모듈을 가열하도록 배치된 제1 히터; 및챔버 외부에 배치되고, 칼코겐 소스가 수용되며, 각각의 제1 공간부로 칼코겐 소스를 공급하도록 마련된 공급부를 포함하며,샤워 모듈은, 제1 공간부에 수용된 칼코겐 소스가 샤워 모듈을 통과하도록 마련된 기공을 포함하는, 태양전지 제조장치
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제 16 항에 있어서,공급부는, 칼코겐 소스가 수용된 하나 이상의 수용부;수용부를 가열하도록 마련된 제3 히터; 및수용부 및 샤워헤드의 공간부를 유체 이동 가능하게 연결하도록 마련된 하나 이상의 공급 라인을 포함하는 태양전지 제조장치
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