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기 설정된 두께를 가지고, 기 설정된 파장 대역의 레이저를 이용하여 라만 분광 스펙트럼을 측정하였을 때, G 밴드의 피크 위치(Pos(G))와 G 밴드의 반치폭(FWHM(G)) 사이의 관계가 Pos(G)(cm-1) 003e# 0
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제1항에 있어서,상기 기 설정된 두께는,400nm 이상인 것을 특징으로 하는 코팅막
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적외선 광학기기 코팅장치가 적외선 광학기기에 코팅막을 증착하는 방법에 있어서,수소 또는 탄화수소 기체를 주입하는 주입과정;주입되는 기체의 유량을 조절하는 조절과정;아크 방전을 이용하여 주입되는 탄화수소 기체를 플라즈마 이온화시키는 아크 방전과정;상기 아크 방전과정에서 플라즈마 이온화된 수소 이온 또는 탄소 이온만을 기 설정된 방향으로 유도하는 유도과정; 및적외선 광학기기를 회전시켜, 상기 유도과정에서 유도된 수소 이온 또는 탄소 이온을 상기 적외선 광학기기 상에 고르게 적층하며, 기 설정된 두께만큼 적층하는 적층과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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제3항에 있어서,상기 탄화수소 기체는,메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2) 및 벤젠(C6H6) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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제3항에 있어서,상기 유도과정은,상기 아크 전원에 의해 플라즈마화되지 않은 원자나 입자를 자력으로 제거하는 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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제3항에 있어서,상기 기 설정된 두께는,상기 적외선 광학기기가 중적외선 영역을 투과시키기 위한 광학기기인 경우, 500nm를 기준으로 기 설정된 범위 내의 수치인 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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제3항에 있어서,상기 기 설정된 두께는,상기 적외선 광학기기가 원적외선 영역을 투과시키기 위한 광학기기인 경우, 1200nm를 기준으로 기 설정된 범위 내의 수치인 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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적외선 광학기기 코팅장치가 적외선 광학기기에 코팅막을 증착하는 방법에 있어서,수소 또는 탄화수소 기체를 주입하는 주입과정;주입되는 기체의 유량을 조절하는 조절과정;아크 방전을 이용하여 주입되는 탄화수소 기체를 플라즈마화시키는 아크 방전과정;상기 아크 방전과정에서 플라즈마화된 수소 이온 또는 탄소 이온만을 기 설정된 방향으로 유도하는 유도과정;상기 적외선 광학기기에 전원을 인가하는 인가과정;전원이 인가된 적외선 광학기기를 회전시켜, 상기 유도과정에서 유도된 수소 이온 또는 탄소 이온을 상기 적외선 광학기기 상에 고르게 적층하며, 기 설정된 두께만큼 적층하는 적층과정; 및상기 적증과정에서 적층되는 이온의 두께를 조정하기 위해, 상기 적외선 광학기기에 인가되는 전원의 크기를 제어하는 제어과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 증착방법
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수소 또는 탄화수소 기체를 공급받으며, 공급되는 기체의 유량을 조절하는 유량조절부;아크 방전을 이용하여 상기 유량조절부로부터 공급되는 탄화수소 기체를 플라즈마 이온화시키는 아크 전원;상기 아크 전원으로부터 플라즈마 이온화된 수소 이온 또는 탄소 이온만을 기 설정된 방향으로 유도하는 자장여과 필터;적외선 광학기기를 장착하며, 장착된 적외선 광학기기를 회전시켜, 상기 자장여과 필터로부터 유도된 수소 이온 또는 탄소 이온이 상기 적외선 광학기기 상에 고르게 적층되며, 기 설정된 두께만큼 적층되도록 하는 광학기기 회전부; 및상기 광학기기 회전부에 장착된 적외선 광학기기에 전원을 인가하는 전원을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 광학기기 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 탄화수소 기체는,메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2) 및 벤젠(C6H6) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 광학기기 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 자장여과 필터는,상기 아크 전원에 의해 플라즈마화되지 않은 원자나 입자를 자력으로 제거하는 것을 특징으로 하는 적외선 광학기기 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 유량조절부를 거쳐 주입되는 가스가 이온화될 수 있도록, 상기 아크 전원과 상기 자장여과 필터 사이에 위치하여 가스를 공급하는 튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 광학기기 코팅장치
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제12항에 있어서,상기 튜브는,상기 자장여과 필터 중앙을 지나는 플라즈마 빔에 가깝게 가스가 공급되도록 상기 튜브의 길이와 상기 자장여과 필터 내부 반경의 비가 0
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