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기판 이송 로봇 핸드의 제조방법에 있어서, 별도로 제작된 맨드렐(내부금형)을 중심으로 상기 맨드렐의 외면에 미경화 수지로 이루어진 프리프레그를 복수의 층으로 둘러싸는 적층단계;상기 프리프레그에서 중공을 가지도록 상기 맨드렐을 분리하는 분리단계;상기 프리프레그의 길이보다 상대적으로 길게 형성된 내부필름을 상기 중공의 내부에 삽입하는 내부 필름 삽입단계;상기 중공이 외부로 노출되도록 측면에 개방부가 형성된 별도의 외부금형의 내부에 상기 프리프레그를 장착시키는 장착단계;상기 외부금형의 외부를 외부필름으로 감싸고, 상기 내부필름과 상기 외부필름을 결합시킨 후 밀폐된 공간에 진공을 걸어 진공 포장(bagging)하는 진공포장단계;상기 프리프레그가 밀봉된 상기 금형을 오토클레이브(autoclave)장치 내부에서 기 설정된 온도, 압력 및 시간으로 상기 프리프레그를 가압 및 가열하는 성형단계; 및상기 성형단계 이후 경화된 프리프레그를 분리하는 탈형단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 성형단계는 가압하는 경우 상기 중공에서는 내경방향에서 외경방향으로 가압하고, 외부금형에서는 외경방향에서 내경방향으로 가압하여 성형하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 진공포장단계는 상기 외부금형의 개방부를 제외한 나머지 부분의 외부를 외부필름으로 감싸며, 상기 개방부를 통해 노출된 상기 내부필름과 상기 외부필름을 결합시켜 프리프레그를 밀폐시키고 상기 외부필름의 끝단은 오토클레이브 장치 베이스에 부착하여 밀폐된 공간에 진공을 걸어 진공 포장하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 장착단계는, 상기 프리프레그를 'ㄷ'자 형상의 하부금형에 장착하고 상기 프리프레그가 장착된 상기 하부금형의 상부를 상부금형으로 덮는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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상기 제 1 항에 있어서,상기 탈형단계는 상기 오토클레이브 장치에서 외부금형을 꺼내어 외부필름을 제거하는 단계; 및상기 외부금형에서 경화된 기판 이송 로봇 핸드를 이탈시키는 과정; 및 내부필름을 제거하는 과정;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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상기 제 1 항에 있어서,상기 성형단계는 120℃ 내지 250℃의 온도범위 내에서 가열 성형이 이루어지는것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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상기 제 1 항에 있어서,상기 성형단계는 2bar 내지 10bar의 압력범위 내에서 가압 성형이 이루어지는것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드의 제조방법
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기판 이송 로봇 핸드의 제조 장치에 있어서,중공을 가지는 프리프레그를 제작하기 위하여 상기 프리프레그가 외면에 감싸지는 맨드렐;상기 중공 내부에 삽입되어 프리프레그의 내면에 부착되는 내부필름;상기 프리프레그가 안착되며 길이 방향 양단의 적어도 한쪽에 개방구를 가지는 외부금형을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드 제조장치
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제 8 항에 있어서,상기 중공은 상기 프리프레그의 길이방향을 따라 형성되고, 상기 외부금형은 상기 중공에 대응하여 상기 개방부가 서로 마주보는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하고,상기 외부금형은 프리프레그의 외주면이 안착되는 'ㄷ'자 형상의 외부금형의 하부지그; 및 윗면을 덮는 외부금형의 상부지그;를 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드 제조장치
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상기 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 제조방법을 이용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드
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