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증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법

  • 기술번호 : KST2020005434
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착용 챔버에서 탄화규소 전구체를 원료로 증착공정을 완료한 후, 챔버내의 탄화규소가 증착된 부품을 회수하는 단계; 상기 회수된 부품으로부터 증착된 탄화규소를 수집하는 단계; 상기 수집된 탄화규소로부터 PVT법 단결정 원료에 적합한 크기의 탄화규소를 선별하는 단계; 및 선별된 탄화규소를 정제하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법을 제공한다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01.01)
CPC C30B 29/36(2013.01)
출원번호/일자 1020180125578 (2018.10.19)
출원인 한국세라믹기술원, 주식회사 지텍
등록번호/일자 10-2187817-0000 (2020.12.01)
공개번호/일자 10-2020-0044596 (2020.04.29) 문서열기
공고번호/일자 (20201208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 지텍 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김규현 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 정성민 경기도 수원시 장안구
3 이명현 경상남도 진주시 소호로 **,
4 김영희 서울특별시 서대문구
5 권용진 경상남도 진주시 가호로 **,
6 정은진 서울특별시 광진구
7 권우택 경상남도 진주시 사들로 **, ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 지텍 경기도 화성시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1035982-67
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-0084728-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5206720-76
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2019.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-1013064-09
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0012351-34
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0089368-13
8 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0553004-81
9 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0677797-21
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0803696-97
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0803675-38
12 등록결정서
Decision to grant
2020.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0803480-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CVD 공정에 의한 증착용 챔버에서 탄화규소 전구체를 원료로 증착공정을 완료한 후, 챔버내의 탄화규소가 증착된 부품을 회수하는 단계;상기 회수된 부품으로부터 알갱이 형태로 성장된 탄화규소를 수집하는 단계;상기 수집된 탄화규소로부터 적어도 200㎛의 입도를 갖는 알갱이 형태로 성장되어 PVT법 단결정 원료에 적합한 크기의 탄화규소를 선별하는 단계; 및로터리 킬른에서 선별된 탄화규소를 정제하는 단계;를 포함하여 구성되며,상기 부품은 저항가열용 흑연을 재질로 하는 전극봉이고, 상기 부품에 증착된 탄화규소는 적어도 6N(six-nine) 수준의 순도를 가지며, 적어도 5N 수준의 순도를 갖는 탄화규소를 얻는 것을 특징으로 하는 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법
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3 3
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4 4
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제1항에 있어서,상기 탄화규소를 선별하는 단계; 이후에선별된 탄화규소를 분쇄하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법
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제1항에 있어서,상기 선별된 탄화규소를 정제하는 단계;는산화분위기 또는 수소분위기에서 열처리하여 잔류하는 탄소를 가스화시키는 단계;임을 특징으로 하는 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법
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제1항에 있어서,상기 정제온도는 650 ~ 850℃의 범위인 것을 특징으로 하는 증착공정에서 발생되는 탄화규소 부산물을 단결정 원료로 재생하는 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
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DOCDB 패밀리 정보

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1 WO2020080856 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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