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상측에 개구부를 가지며, 단결정 원료를 수용하는 도가니;상기 도가니의 둘레에 제공되는 유도 코일을 포함하며, 상기 도가니를 가열하여 상기 단결정 원료를 용융시키는 유도 가열부; 및상기 개구부를 통해 상하방향으로 이동 가능하게 제공되며, 하단에 종자결정이 부착되는 시드 샤프트;를 포함하고,상기 도가니는,바닥면을 형성하는 바닥부;상기 바닥부에 연결되는 하측 벽체부; 및상기 하측 벽체부와 상이한 두께를 가지며, 상기 하측 벽체부와 연결되는 상측 벽체부를 포함하며,상기 하측 벽체부의 상단은 상기 유도 코일의 상하방향 중앙부에 위치하고,상기 단결정 원료의 용융액은 상기 단결정 원료의 용융액의 표면이 상기 하측 벽체부의 상단과 같거나 낮게 상기 바닥부와 상기 하측 벽체부가 형성하는 공간에 수용되는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 상측 벽체부의 두께는 상기 하측 벽체부의 두께보다 얇은 단결정 용액성장 장치
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청구항 2에 있어서,상기 상측 벽체부의 중심면은 상기 하측 벽체부의 중심면보다 상기 유도 코일에 근접하여 위치하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 상측 벽체부의 내주면은 상기 하측 벽체부의 내주면보다 상기 유도 코일에 근접하여 위치하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 상측 벽체부의 외주면은 상기 하측 벽체부의 외주면과 상기 유도 코일로부터의 거리가 동일한 단결정 용액성장 장치
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 상측 벽체부는 열복사를 통해 상기 단결정 원료의 용융액의 표면을 가열하는 단결정 용액성장 장치
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8
삭제
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청구항 1에 있어서,상기 하측 벽체부의 두께는 상기 종자결정의 폭에 비례하는 단결정 용액성장 장치
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10
청구항 1에 있어서,상기 도가니와 상기 종자결정은 적어도 하나의 동일한 원소를 포함하는 단결정 용액성장 장치
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11
바닥면을 형성하는 바닥부와, 서로 다른 두께를 갖는 상측 벽체부 및 하측 벽체부를 포함하는 도가니 내부에 단결정 원료를 장입하는 과정;상기 도가니의 둘레에 제공되는 유도 코일을 포함하는 유도 가열부를 통해 상기 도가니를 가열하여 상기 단결정 원료를 용융시키는 과정;상기 바닥부와 상기 하측 벽체부가 형성하는 공간에 상기 단결정 원료의 용융액이 수용되는 과정; 및시드 샤프트 하단의 종자결정을 상기 단결정 원료의 용융액에 접촉시키는 과정;을 포함하고,상기 유도 코일의 상하방향 중앙부는 상기 하측 벽체부의 상단에 위치하며,상기 단결정 원료의 용융액이 수용되는 과정에서는 상기 단결정 원료의 용융액의 표면이 상기 하측 벽체부의 상단과 같거나 낮게 수용되는 단결정 용액성장 방법
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청구항 11에 있어서,상기 단결정 원료를 장입하는 과정 이전에,상기 바닥부와 상기 하측 벽체부가 형성하는 공간의 부피를 계측하는 과정; 및상기 단결정 원료의 용융액의 부피가 상기 공간의 부피 이하가 되는 상기 단결정 원료의 양을 산출하는 과정;을 더 포함하고,상기 단결정 원료를 장입하는 과정에서는 산출된 양의 상기 단결정 원료를 장입하는 단결정 용액성장 방법
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청구항 11에 있어서,상기 도가니는 상기 상측 벽체부의 두께가 상기 하측 벽체부의 두께보다 얇은 단결정 용액성장 방법
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청구항 13에 있어서,상기 상측 벽체부의 중심면은 상기 하측 벽체부의 중심면보다 상기 유도 코일에 근접하여 위치하는 단결정 용액성장 방법
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