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용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법

  • 기술번호 : KST2020005444
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부종자용액성장법을 시행하기 위하여 도가니에 성장원료 용융액을 수용하는 단계; 상기 용융액상에 구조물을 부유시키는 단계; 상기 용융액을 가열하여 구조물 표면의 온도를 측정하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법을 제공한다. 이상과 같은 본 발명에 따르면, 상부종자용액성장법에서 용융액 표면에 그라파이트 소재의 구조물을 설치하여 용융액으로부터 열전도를 받아 발색하는 그라파이트 소재의 바닥면의 온도를 측정함으로써 용융액 표면의 온도를 최소 오차범위내에서 측정할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) G01K 1/14 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020180133187 (2018.11.01)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0050299 (2020.05.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.01)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정성민 경기도 수원시 장안구
2 이명현 경기도 화성
3 배시영 경상남도 진주시
4 신윤지 경상남도 진주시 사들로 **, ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-1085825-13
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-1086092-21
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1102120-99
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.09.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0010448-17
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0069672-20
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0333186-77
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0333187-12
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0592932-20
10 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0926734-30
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번호 청구항
1 1
상부종자용액성장법을 시행하기 위하여 도가니에 성장원료 용융액을 수용하는 단계;상기 용융액상에 구조물을 부유시키는 단계; 상기 용융액을 가열하여 구조물 표면의 온도를 측정하는 단계;를 포함하되,상기 구조물은 보트이며, 상기 보트는 바닥면을 가지되, 그 반대면이 용융액과 면접하여 바닥면에서의 위치별 온도 편차를 측정할 수 있고, 상기 바닥면에서의 위치별 상기 구조물 표면의 온도를 측정하는 단계; 이후에, 상기 구조물 표면의 동일 지점에 대한 온도를 반복해서 측정하고, 발열이 가장 강한 밝은색의 온도를 동일한 횟수만큼 반복해서 측정한 후 그 평균오차를 도출하여 저장하는 단계;상기 평균오차를 도출하여 저장하는 단계; 이후에 상기 평균오차를 기준으로 하여, 향후 측정된 구조물의 온도로부터 용융액 표면의 온도를 보정하는 단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 구조물은 그라파이트 구조물인 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 용융액상에 부유된 구조물 표면의 온도 측정시 온도 측정 지점은 상기 구조물과 상기 용융액이 접하는 영역과 인접한 지점인 것을 특징으로 하는 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 일진디스플레이 전략적핵심소재기술개발사업 TSSG 법을 이용한 전위밀도 300ea/cm2 이하 고품질 SiC단결정 성장 기술 개발