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내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법

  • 기술번호 : KST2020005448
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부종자용액성장법을 시행하기 위하여 도가니에 성장원료 용융액을 수용하는 단계; 상기 용융액상에 구조물을 부유시키는 단계; 상기 용융액을 가열하여 구조물 표면의 온도를 측정하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법을 제공한다. 이상과 같은 본 발명에 따르면, 상부종자용액성장법에서 용융액 표면에 그라파이트 소재의 구조물을 설치하여 용융액으로부터 열전도를 받아 발색하는 그라파이트 소재의 바닥면의 온도를 측정함으로써 용융액 표면의 온도를 최소 오차범위내에서 측정할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
Int. CL C30B 15/20 (2006.01.01) C30B 15/10 (2006.01.01) C30B 15/36 (2006.01.01) G01K 1/14 (2006.01.01)
CPC C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01)
출원번호/일자 1020180136069 (2018.11.07)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0052723 (2020.05.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정성민 경기도 수원시 장안구
2 이명현 경상남도 진주시 소호로 **,
3 배시영 경상남도 진주시
4 신윤지 경상남도 김해시 월산로 ***, **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-1105853-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0027687-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0182466-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0338277-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0338275-04
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2020.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0473915-41
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2020.07.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0747656-78
9 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2020.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0500823-73
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번호 청구항
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상부종자용액성장법을 시행하기 위하여 도가니에 성장원료 용융액을 수용하는 단계;상기 용융액상에 구조물을 부유시키는 단계; 상기 용융액을 가열하여 구조물 표면의 온도를 측정하는 단계;상기 구조물 표면의 동일 지점에 대한 온도를 반복해서 측정하고, 발열이 가장 강한 밝은색의 온도를 동일한 횟수만큼 반복해서 측정한 후 그 평균오차를 도출하여 저장하는 단계;를 포함하여 구성되되,상기 도가니의 내부에는 요입홈이 형성되며, 상기 용융액은 그 상면이 상기 요입홈의 하단보다 아래에 위치되도록 수용되는 것을 특징으로 하는 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 요입홈의 상단 첨부 또는 가상의 상단 첨부에서 요입홈 방향과 도가니 표면 방향사이에서 측정되는 각도는 60도 내지 90도인 것을 특징으로 하는 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 요입홈의 하단 첨부 또는 가상의 하단 첨부에서 요입홈 방향과 도가니 표면방향사이에서 측정되는 각도는 90도 미만인 것을 특징으로 하는 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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삭제
5 5
삭제
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제1항에 있어서,상기 용융액상에 부유된 구조물 표면의 온도 측정시 온도 측정 지점은 상기 구조물과 상기 용융액이 접하는 영역과 인접한 지점인 것을 특징으로 하는 내부에 요입홈이 형성된 도가니를 이용한 용액성장법에서 융체의 온도 측정 방법
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 일진디스플레이 전략적핵심소재기술개발사업 TSSG 법을 이용한 전위밀도 300ea/cm2 이하 고품질 SiC단결정 성장 기술 개발