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100㎛ 이하의 두께를 갖는 초박판 유리; 상기 초박판 유리 상에 형성된 제1 전극; 상기 제1 전극 상에 형성된 압전층; 및 상기 압전층 상에 형성된 제2 전극;을 포함하며, 상기 제1 전극, 압전층 및 제2 전극을 포함하여 압전 소자를 구성하며, 상기 제1 전극, 압전층 및 제2 전극을 포함하는 압전 소자는 상기 초박판 유리 상에 직접 증착에 의해 형성되어, 상기 초박판 유리에 직접 접촉하여 결합되는 일체형 구조를 갖는 것에 의해, 내구성을 개선시킨 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 초박판 유리는 5㎛ ~ 100㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 각각은 은 나노와이어(Ag Nanowire), 은 페이스트(Ag paste), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), GIO(Gallium Indium Oxide), GZO(Gallium Zinc Oxide) 및 FTO(Fluorine Tin Oxide) 중 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 각각은 50nm ~ 50㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 압전층은 PZT(Lead zirconate titanate), AlN, (Pb, Sm)TiO3, 쿼츠(Quartz), PMN(Pb(MgNb)O3)-PT(PbTiO3), PVDF(Polyvinylidene fluoride) 및 PVDF-TrFe 중 선택된 1종 이상의 압전 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 압전층은 500nm ~ 1mm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 제1 전극의 일측 가장자리에 형성되어, 상기 제1 전극에 접속된 제1 전극 단자; 상기 제2 전극의 타측 가장자리에 형성되어, 상기 제2 전극에 접속된 제2 전극 단자; 및 상기 제1 전극, 압전층 및 제2 전극 사이에 형성된 절연층; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제8항에 있어서,상기 제1 전극과 제2 전극은 압전층을 사이에 두고 지그재그 형태로 형성되며, 상기 절연층은 제1 전극 및 압전층의 측면과, 상기 제2 전극의 하면과 접촉되도록 형성된 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제9항에 있어서,상기 절연층은 상기 제1 전극 및 압전층의 합산 두께와 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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제1항에 있어서,상기 압전 소자는 평면 상으로 볼 때, 플레이트 패턴, 줄무늬 패턴 및 크로스 격자형 패턴 중 어느 하나의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커
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100㎛ 이하의 두께를 갖는 초박판 유리 상에 제1 투명 도전물질을 증착하여 제1 전극을 형성하는 단계; 상기 제1 전극이 형성된 초박판 유리 상에 압전 물질을 증착하여 압전층을 형성하는 단계; 및 상기 압전층이 형성된 초박판 유리 상에 제2 투명 도전물질을 증착하여 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 전극, 압전층 및 제2 전극을 포함하여 압전 소자를 구성하며, 상기 제1 전극, 압전층 및 제2 전극을 포함하는 압전 소자는 상기 초박판 유리 상에 직접 증착에 의해 형성되어, 상기 초박판 유리에 직접 접촉하여 결합되는 일체형 구조를 갖는 것에 의해, 내구성을 개선시킨 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 제1 및 제2 투명 도전물질 각각은 은 나노와이어(Ag Nanowire), 은 페이스트(Ag paste), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), GIO(Gallium Indium Oxide), GZO(Gallium Zinc Oxide) 및 FTO(Fluorine Tin Oxide) 중 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 압전층은 PZT(Lead zirconate titanate), AlN, (Pb, Sm)TiO3, 쿼츠(Quartz), PMN(Pb(MgNb)O3)-PT(PbTiO3), PVDF(Polyvinylidene fluoride) 및 PVDF-TrFe 중 선택된 1종 이상의 압전 물질을 스퍼터링 증착 방식으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 제2 전극 형성 단계 이후, 상기 제1 전극 및 압전층의 측면과, 상기 제2 전극의 하면과 접촉되는 절연층을 형성하는 단계; 및 상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 금속 물질을 증착하여 제1 전극 및 제2 전극에 각각 접속된 제1 전극 단자 및 제2 전극 단자를 형성하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유리 진동 음향 스피커 제조 방법
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