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폴리머 유전체를 포함하며, 제1그룹의 라디칼을 발생시키는 제1 플라즈마 발생부;세라믹 유전체를 포함하며, 제2그룹의 라디칼을 발생시키는 제2 플라즈마 발생부; 및상기 제1 플라즈마 발생부 및 상기 제2 플라즈마 발생부가 제공되는 공간이 내부에 형성되고, 상기 공간에서 상기 제1그룹의 라디칼과 상기 제2그룹의 라디칼이 혼합된 혼합 라디칼이 외부로 토출되는 토출구가 형성된 하우징을 포함하되,상기 폴리머 유전체는 제1 면과 이와 마주하는 제2 면을 갖는, 필름 형태로 제공되며,상기 제1 플라즈마 발생부는,상기 제1 면에 제공되는 전극;상기 폴리머 유전체를 롤 형태로 권취하고, 일 방향으로 공급하는 권출 롤;상기 권출 롤에서 공급된 상기 폴리머 유전체를 롤 형태로 권취하는 권취 롤;상기 권출 롤과 상기 권취 롤 사이에 위치하며, 상기 제2면과 접촉하는 전극 롤;상기 폴리머 유전체를 사이에 두고 상기 전극 롤과 마주 배치되며, 상기 전극과 접촉하는 도전성 롤;상기 전극 롤에 전력을 인가하는 전원을 더 포함하는 플라즈마 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1그룹의 라디칼은 상기 제2그룹의 라디칼보다 일산화탄소의 함유량이 높으며,상기 제2그룹의 라디칼은 상기 제1그룹의 라디칼보다 산소 이온의 함유량이 높은 플라즈마 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 제2 플라즈마 발생부는 상기 전극 롤과 상기 토출구 사이에 위치하며, 상기 전극 롤과 상기 도전성 롤 사이의 공간에 상기 제2그룹의 라디칼을 발생시키는 플라즈마 발생 장치
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필름 형태로 제공되며, 제1 면과 이와 마주하는 제2 면을 갖는 폴리머 유전체;상기 제1 면에 제공되는 전극;상기 폴리머 유전체를 롤 형태로 권취하고, 일 방향으로 공급하는 권출 롤;상기 권출 롤에서 공급된 상기 폴리머 유전체를 롤 형태로 권취하는 권취 롤;상기 권출 롤과 상기 권취 롤 사이에 위치하며, 상기 제2면과 접촉하는 전극 롤;상기 폴리머 유전체를 사이에 두고 상기 전극 롤과 마주 배치되며, 상기 전극과 접촉하는 도전성 롤; 및상기 전극 롤에 전력을 인가하는 전원을 더 포함하는 플라스마 발생 장치
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