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테라헤르츠 파를 조사하는 방출부;상기 방출부에서 조사된 테라헤르츠 파의 경로를 변환시키는 반사부; 상기 테라헤르츠 파의 경로에 따라 시편에 제1 영역을 형성하게 하는 초점 조정부 -상기 반사부와 상기 초점 조정부 사이의 거리는 제1 거리로 이격되어 있고, 상기 제1 영역은 제2 영역 및 제3 영역을 포함하고, 상기 제2 영역 및 상기 제3 영역은 제2 거리로 이격되어 있음-; 상기 제1 영역에 조사된 상기 테라헤르츠 파가 상기 시편에서 각각 반사된 테라헤르츠 파를 수신하는 수신부; 및상기 제1 거리 및 상기 제2 거리 중 적어도 하나를 제어하고, 상기 테라헤르츠 파의 반사도 차이에 따른 상기 시편의 불량 여부를 검출하는 제어부로 구성되고,상기 초점 조정부는 복수의 렌즈를 포함하고, 상기 방출부로부터 상기 복수의 렌즈를 통과한 상기 테라헤르츠 파가 상기 시편 상에서 수직으로 입사하되 상기 제2 영역 및 상기 제3 영역에서 각각 동일한 초점을 형성하고, 상기 제1 거리가 57mm 내지 61mm 인 경우, 상기 제2 영역은 64mm 내지 67mm의 직경을 가지고,상기 제3 영역은 적정 직경 -상기 적정 직경은 상기 시편의 불량 여부를 검출할 수 있는 직경을 의미함- 을 각각 가지고,상기 적정 직경은 최소값을 기준으로 0
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제1 항에 있어서,상기 제3 영역의 상기 적정 직경은 67
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제1 항에 있어서,상기 제1 거리가 58mm 내지 60mm인 경우,상기 제3 영역의 상기 적정 직경은 67
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제1 항에 있어서,상기 제1 거리는 59mm 내지 60mm인 경우,상기 제3 영역의 상기 적정 직경은 67
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제1 항에 있어서,상기 제1 거리는 60mm인 경우,상기 제3 영역의 상기 적정 직경은 68mm 내지 103mm인 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 거리는 60mm 내지 61mm인 경우,상기 제3 영역의 상기 적정 직경은 102
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠 파의 광원은 연속형 또는 펄스형인 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠 파의 파장은 3mm 내지 30um인 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 제2 거리는 상기 반사부가 상기 제어부에 의해 회전되는 각도에 기초하여 결정되는 시편 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 시편은 전자 소자 또는 투명 전극이고,상기 전자 소자 또는 투명 전극은 투명 폴리머 기판, 유리, 및 석영 중 어느 하나에 금속 물질로 코팅된 시편 검사 장치
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제11 항에 있어서,상기 금속 물질은 인듐 주석 산화물, 인듐 아연 산화물, 불소 도핑 주석 산화물, 및 금속 나노 와이어 중 적어도 어느 하나인 시편 검사 장치
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방출부에서 테라헤르츠 파를 조사하는 단계;상기 방출부에서 조사된 테라헤르츠 파의 경로를 반사부를 통해 변환시키는 단계; 상기 테라헤르츠 파가 초점 조정부를 통해 시편에 제1 영역을 형성하는 단계 -상기 반사부와 상기 초점 조정부 사이의 거리는 제1 거리로 이격되어 있고, 상기 제1 영역은 제2 영역 및 제3 영역을 포함하고, 상기 제2 영역 및 상기 제3 영역은 제2 거리로 이격되어 있음-; 상기 제1 영역에 조사된 상기 테라헤르츠 파가 상기 시편에서 각각 반사된 테라헤르츠 파를 수신부를 통해 수신하는 단계; 및제어부가 상기 제1 거리 및 상기 제2 거리 중 적어도 하나를 제어하고, 상기 테라헤르츠 파의 반사도 차이에 따른 상기 시편의 불량 여부를 검출하는 단계로 구성되고,상기 초점 조정부는 복수의 렌즈를 포함하고, 상기 방출부로부터 상기 복수의 렌즈를 통과한 복수의 상기 테라헤르츠 파가 상기 시편 상에서 수직으로 입사하되 각각 동일한 초점을 형성하고, 상기 제1 거리가 57mm 내지 61mm 인 경우, 상기 제2 영역은 64mm 내지 67mm의 직경을 가지고,상기 제3 영역은 적정 직경 -상기 적정 직경은 상기 시편의 불량 여부를 검출할 수 있는 직경을 의미함- 을 각각 가지고,상기 적정 직경은 최소값을 기준으로 0
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