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회전축으로부터 소정의 거리로 이격되어 배치된 복수의 반사 면을 포함하는 폴리곤 미러;상기 폴리곤 미러를 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 제1 모터;상기 제1 모터가 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 동안, 상기 회전축이 틸팅(tilting)되도록 상기 폴리곤 미러를 제1 축 방향으로 이동시키는 제2 모터; 및상기 제1 모터의 회전 속도에 대한 변화를 검출하기 위한 클럭 신호를 추출하는 클럭 신호 추출면을 포함하는폴리곤 미러 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 제2 모터는, 상기 회전축이 소정의 각도 범위 내에서만 틸팅되도록 상기 폴리곤 미러를 반복적으로 이동시키는, 폴리곤 미러 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 제1 모터의 샤프트는, 상기 폴리곤 미러의 회전축 상에 배치되는, 폴리곤 미러 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 제2 모터는, 중간 연결부를 통해 상기 폴리곤 미러와 결합하고,상기 중간 연결부의 일 단은 상기 제1 모터와 결합하고, 상기 중간 연결부의 타 단은 상기 제2 모터의 샤프트와 결합하는, 폴리곤 미러 어셈블리
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제1항에 있어서,상기 제1 모터의 회전 속도는 상기 제2 모터의 회전 속도보다 빠른, 폴리곤 미러 어셈블리
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6
제1항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러가 피검물을 스캔하지 않는 각도에서, 광원으로부터 입사하는 전자기파를 반사시키는, 폴리곤 미러 어셈블리
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7
제1항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러 내부에 배치되어, 광원으로부터 발생되어 상기 폴리곤 미러에 입사하는 전자기파를 반사시키는, 폴리곤 미러 어셈블리
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8
제1항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러 외부에 배치되어, 상기 폴리곤 미러에 반사되어 입사하는 전자기파를 반사시키는, 폴리곤 미러 어셈블리
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9
제1항에 있어서,상기 폴리곤 미러는 ABS(acrylonitrile butadiene styrene copolymer) 수지를 포함하고,상기 복수의 반사면은 크롬 도금된, 폴리곤 미러 어셈블리
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10
회전축으로부터 소정의 거리로 이격되어 배치된 복수의 반사면을 포함하는 폴리곤 미러;상기 폴리곤 미러를 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 제1 모터;상기 회전축이 틸팅되도록 상기 폴리곤 미러를 제1 축 방향으로 이동시키는 제2 모터; 및일 단이 상기 제1 모터와 결합하고, 타 단이 상기 제2 모터의 샤프트와 결합하는 중간 연결부를 포함하는폴리곤 미러 어셈블리
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제10항에 있어서,상기 제1 모터의 샤프트는 상기 폴리곤 미러의 회전축 상에 배치되는, 폴리곤 미러 어셈블리
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제10항에 있어서,상기 제2 모터는, 상기 회전축이 소정의 각도 범위 내에서만 틸팅되도록 상기 폴리곤 미러를 반복적으로 이동시키는, 폴리곤 미러 어셈블리
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13
제10항에 있어서,상기 폴리곤 미러는, 상기 폴리곤 미러가 피검물을 스캔하지 않는 각도에서, 상기 폴리곤 미러에 입사하는 전자기파를 반사시키는 클럭 신호 추출면을 포함하는, 폴리곤 미러 어셈블리
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제10항에 있어서,상기 제1 모터는 BLDC(Brushless DC) 모터이고,상기 제2 모터는 스테핑 모터인, 폴리곤 미러 어셈블리
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밀리미터파 또는 테라파를 포함하는 전자기파를 발생시키는 광원;상기 광원에서 발생된 전자기파를 평행하게 형성하는 콜리메이팅 렌즈;폴리곤 미러를 포함하고, 제1 모터를 이용하여 회전축을 중심으로 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 동안, 제2 모터를 이용하여 상기 회전축이 틸팅되도록 상기 폴리곤 미러를 제1 축 방향으로 이동시키는 폴리곤 미러 어셈블리;상기 폴리곤 미러로부터 반사되는 전자기파를 검출하여, 피검물에 대한 2차원 이미지를 획득하는 검출부; 및상기 제1 모터의 회전 속도에 대한 변화를 검출하기 위한 클럭 신호를 추출하는 클럭 신호 추출면을 포함하는 스캔 장치
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제15항에 있어서,상기 제2 모터는, 상기 회전축이 소정의 각도 범위 내에서만 틸팅되도록 상기 폴리곤 미러를 반복적으로 이동시키는, 스캔 장치
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제15항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러가 상기 피검물을 스캔하지 않는 각도에서, 광원으로부터 입사하는 전자기파를 반사시키는, 스캔 장치
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18
제15항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러 내부에 배치되어, 광원으로부터 발생되어 상기 폴리곤 미러에 입사하는 전자기파를 반사시키는, 스캔 장치
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19
제15항에 있어서,상기 클럭 신호 추출면은, 상기 폴리곤 미러 외부에 배치되어, 상기 폴리곤 미러에 반사되어 입사되는 전자기파를 반사시키는, 스캔 장치
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20
제15항에 있어서,상기 피검물에 대한 상기 2차원 이미지는 복수의 행을 포함하고, 상기 복수의 행 각각은 상기 피검물에 대한 이미지 신호 및 상기 클럭 신호를 포함하고,상기 검출부는, 상기 클럭 신호를 기준으로 상기 복수의 행을 정렬하여 상기 제1 모터의 회전 속도에 대한 변화에 따른 상기 2차원 이미지의 왜곡을 보정하는, 스캔 장치
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