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고 효율을 나타내는 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자를 형성하는 방법에 있어서, 투명 전극 기판 상에 산화 변색 물질층을 증착하는 단계;상기 산화 변색 물질층 상에 전기변색 물질로 형성되어 일정한 선폭(width) 및 간격(pitch)을 나타내는 복수의 라인 패턴(line pattern)들을 메쉬(mesh) 구조의 형태로 교차로 적층하여 3차원 나노 구조체를 형성하는 단계; 및상기 3차원 나노 구조체의 상단에 특정 원소를 도핑하여 도핑 막을 증착하는 단계를 포함하는 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 산화 변색 물질층을 증착하는 단계는상기 투명 전극 기판(transparent electrode substrate)의 상부에 전면적으로 산화 니켈(NiO), 산화 텅스텐(WO3), 산화 몰리브데늄(MoO3), 이산화 티탄(TiO2) 및 산화 바나듐(V2O5) 중 어느 하나를 포함하는 금속 산화물의 전기변색 물질로 형성된 상기 산화 변색 물질층을 증착하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제2항에 있어서,상기 투명 전극 기판은유리(Glass), 석영(Quartz) 및 폴리머(Polymer) 중 어느 하나를 포함하는 기판 상에 ITO(인듐주석산화물) 및 FTO(불소산화주석) 중 어느 하나의 투명 전극 물질로 형성된 것을 특징으로 하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 3차원 나노 구조체를 형성하는 단계는전기변색 물질로 형성된 상기 복수의 라인 패턴들이 일정한 간격을 사이로 정렬된 복수의 층(layer)을 형성하며, 각 층을 구성하는 상기 복수의 라인 패턴들이 서로 교차된 형태로 적층되어 상기 3차원 나노 구조체를 형성하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제4항에 있어서,상기 3차원 나노 구조체를 형성하는 단계는전기변색 물질로 형성된 상기 복수의 라인 패턴들을 나노 전사 프린팅(nano transfer printing) 기법을 이용하여 교차로 적층하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제5항에 있어서,상기 복수의 라인 패턴들은산화 니켈(NiO), 산화 텅스텐(WO3), 산화 몰리브데늄(MoO3), 이산화 티탄(TiO2) 및 산화 바나듐(V2O5) 중 어느 하나를 포함하는 금속 산화물의 전기변색 물질로 형성되며, 50nm 이하의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 도핑 막을 증착하는 단계는상기 3차원 나노 구조체의 상단에 전기변색 물질을 상기 특정 원소로 도핑하여 50nm 이하의 얇은 상기 도핑 막을 증착하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제7항에 있어서,상기 도핑 막을 증착하는 단계는딥 코팅(dip-coating) 및 스핀 코팅(spin-coating)과 진공 증착(Vacuum deposition) 또는 이들의 조합을 포함하는 방법을 사용하여 상기 도핑 막을 증착하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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제8항에 있어서,상기 도핑에 사용되는 특정 원소는구리(Cu), 알루미늄(Al), 리튬(Li) 및 코발트(Co) 중 어느 하나를 포함하는 금속인 것을 특징으로 하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자 형성 방법
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고 효율을 나타내는 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자에 있어서,투명 전극 기판;상기 투명 전극 기판 상에 증착되는 산화 변색 물질층;상기 산화 변색 물질층 상에 전기변색 물질로 형성되며, 일정한 선폭(width) 및 간격(pitch)을 나타내는 복수의 라인 패턴(line pattern)들을 포함하는 3차원 나노 구조체; 및상기 3차원 나노 구조체의 상단에 특정 원소를 도핑하여 증착된 도핑 막를 포함하는 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자
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제10항에 있어서,상기 3차원 나노 구조체는전기변색 물질로 형성된 상기 복수의 라인 패턴들이 일정한 간격을 사이로 정렬된 복수의 층(layer)으로 형성되며, 각 층을 구성하는 상기 복수의 라인 패턴들이 서로 교차된 형태로 적층되는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자
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제10항에 있어서,상기 복수의 라인 패턴들 사이의 일정한 간격에는 전해질이 채워진 것을 특징으로 하는, 3차원 나노 구조체의 전기변색 소자
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