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생체 신호의 입출력을 위한 전극 어레이의 제조 방법에서, 증착 공정을 이용하여 기판 상에 다수의 활성 전극을 증착하는 단계; 및화학적 무전해 도금 공정을 진행하여 상기 다수의 활성 전극 위에 3차원 나노구조체 형상을 갖는 도금층을 동시에 도금(plating)하는 단계;를 포함하는 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 도금하는 단계는,상기 화학적 무전해 도금 공정을 진행하여 금(Au) 또는 백금(Pt) 재질의 도금층을 도금하는 단계인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 도금하는 단계는,상기 화학적 무전해 도금 공정을 이용하여 금(Au) 도금층과 백금(Pt) 도금층이 교대로 적층된 다층 구조를 포함하는 상기 도금층을 도금하는 단계인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 증착하는 단계는,금(Au) 또는 백금(Pt) 재질의 상기 다수의 활성 전극을 증착하는 단계인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 증착하는 단계는,상기 기판 위에 보호막을 증착하는 단계;식각 공정을 이용하여 상기 보호막을 관통하는 다수의 홀을 형성하는 단계;진공 증착 또는 습식 증착을 이용하여, 각 홀에 의해 상부로 노출되는 상기 기판 위에 상기 활성 전극을 증착하는 단계를 포함하고,상기 도금하는 단계는,상기 화학적 무전해 도금 공정의 공정 조건에 따라 상기 보호막 위로 돌출하도록 상기 도금층을 각 활성 전극의 표면에 도금하는 단계인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 도금하는 단계는,금(Au) 재질로 이루어진 상기 다수의 활성 전극이 증착된 기판을 H2SO4와 H2O2가 혼합된 피란하 용액(piranha solution)을 이용하여 기 설정된 세척 시간 동안 세척 공정을 진행하는 단계;금(Au) 전구체로서 HAuCl4·3H2O와 환원제로서 NH2OH·HCl 수용액을 이용하여 기 설정된 반응 시간 동안 상기 화학적 무전해 도금 공정을 진행하는 단계;상기 화학적 무전해 도금 공정이 완료된 기판을 H2O를 이용하여 세척한 후 건조시키는 공정을 진행하는 단계를 포함하는 전극 어레이의 제조 방법
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제6항에서,상기 기 설정된 세척 시간이 10분이고, HAuCl4·3H2O의 농도가 3mM ~ 7mM 이고, NH2OH·HCl의 농도가 6mM ~ 10mM이고, 상기 반응 시간이 3분일 때, 상기 도금층의 3차원 나노구조체 형상은 별 모양(star-like)인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제6항에서,상기 기 설정된 세척 시간이 3분이고, HAuCl4·3H2O의 농도가 0
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제6항에서, 상기 기 설정된 세척 시간이 10분이고, HAuCl4·3H2O의 농도가 0
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제6항에서, 상기 기 설정된 세척 시간이 10분이고, HAuCl4·3H2O의 농도가 0
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제1항에서, 상기 도금하는 단계는,금(Au) 전구체로서 HAuCl4·3H2O와 환원제로서 NH2OH·HCl을 이용하여 기 설정된 반응 시간 동안 상기 화학적 무전해 도금 공정을 진행하는 단계; 및상기 화학적 무전해 도금 공정이 완료된 기판을 H2O를 이용하여 세척한 후 건조시키는 공정을 진행하는 단계를 포함하는 전극 어레이의 제조 방법
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제11항에서, 상기 HAuCl4·3H2O의 농도가 0
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제11항에서, 상기 HAuCl4·3H2O의 농도가 15mM ~ 50mM이고, 상기 NH2OH·HCl의 농도가 30mM ~ 70mM이고, 상기 반응 시간이 8분일 때, 상기 도금층의 3차원 나노구조체 형상은 입자 구조(particles structure)인 것인 전극 어레이의 제조 방법
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제1항에서, 상기 도금하는 단계는,금(Au) 재질로 이루어진 상기 다수의 활성 전극이 증착된 기판을 H2SO4와 H2O2가 혼합된 피란하 용액(piranha solution)을 이용하여 기 설정된 세척 시간 동안 세척 공정을 진행하는 단계;백금(Pu) 전구체로서 H2PtCl6·xH2O와 환원제로서 L-ascorbic acid 수용액을 이용하여 기 설정된 반응 시간 동안 상기 화학적 무전해 도금 공정을 진행하는 단계; 및상기 화학적 무전해 도금 공정이 완료된 기판을 H2O를 이용하여 세척한 후 건조시키는 공정을 진행하는 단계를 포함하는 전극 어레이의 제조 방법
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제14항에서, 상기 화학적 무전해 도금 공정을 진행하는 단계는,0
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생체 신호의 입출력을 위한 전극 어레이에서,기판; 및상기 기판 위에 배열된 다수의 생체 전극을 포함하고,각 생체 전극은,활성 전극; 및화학적 무전해 도금법에 따라 상기 활성 전극의 표면에 도금된 도금층을 포함하는 전극 어레이
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제16항에서, 상기 활성 전극의 재질은 금(Au) 또는 백금(Pt)이고, 상기 도금층의 재질은 금(Au) 또는 백금(Pt)인 것인 전극 어레이
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제16항에서, 상기 도금층은,별 모양 (star-like), 판상 모양 (plate-like), 막대 모양 (rod-like), 라멜라 구조 (lamellar structure), 다공성 구조 (porous structure) 및 입자 구조 (particle structure) 중 어느 하나의 3차원 나노구조체 형상을 갖는 것인 전극 어레이
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제16항에서, 상기 도금층은,금(Au)과 백금(Pt)이 서로 교대로 적층된 다층 구조인 것인 전극 어레이
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기판;다수의 홀을 가지며, 상기 기판 위에 증착된 보호막;상기 다수의 홀에 의해 상부로 노출된 기판 위에 배치되는 다수의 생체 전극을 포함하고,각 생체 전극은,활성 전극; 및화학적 무전해 도금법에 따라 상기 보호막 위로 돌출하도록 상기 활성 전극의 표면에 도금된 도금층을 포함하는 전극 어레이
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