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기판;상기 기판 상에 배치된 게이트 전극;상기 기판 및 상기 게이트 전극을 덮는 절연막;상기 절연막 상에 형성된 가스감지층; 및상기 가스감지층 상에 이격하게 배치된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고,상기 가스감지층은 하기 화학식 1의 구조를 갖는 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서:상기 화학식 1에서, n은 10 내지 100의 정수이다
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제1항에 있어서,상기 가스센서는 이산화질소(NO2)에 대한 감도(sensitivity)가 공기 대비 1 ppm 이상인 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘(Si), 유리 또는 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극은 금(Au), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(Al-alloy), 몰리브덴(Mo) 및 몰리브덴 합금(Moalloy)으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서
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제1항에 있어서,상기 절연막은 유기절연막, 무기절연막 또는 유무기 하이브리드막인 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서
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제1항에 있어서,상기 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체는 2,5-비스(트리메틸스타닐) 시에노-(3,2-b)티오펜 및 2,4,6-트리스(5-브로모티오펜-2-일)-1,3,5-트리아진이 교차결합되어 있는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서
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제1항 내지 제6항 중에서 선택된 어느 한 항에 따른 NO2 가스센서의 제조방법으로서,기판 상에 게이트 전극을 배치하는 단계;상기 기판 및 상기 게이트 전극을 덮는 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 상에, 하기 화학식 1의 구조를 갖는 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 포함하는 가스감지층을 형성하는 단계; 및상기 가스감지층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 이격하게 배치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서의 제조방법:상기 화학식 1에서, n은 10 내지 100의 정수이다
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제7항에 있어서,상기 가스감지층을 형성하는 단계는,2,5-비스(트리메틸스타닐) 시에노-(3,2-b)티오펜 및2,4,6-트리스(5-브로모티오펜-2-일)-1,3,5-트리아진을 스틸레 교차 결합 반응을 통해 공유결합시켜 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 제조하는 단계; 및상기 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 이용하여 가스감지층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서의 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 제조하는 단계는,상기 스틸레 교차 결합반응을 Pd0 촉매를 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서의 제조방법
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하기 화학식 1의 구조를 갖는 트리아진 기반의 공유결합 유기 구조체를 포함하는 감지전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 NO2 가스센서:상기 화학식 1에서, n은 10 내지 100의 정수이다
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