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펄스 레이저를 이용한 산화주석 나노와이어의 표면 개질방법, 이에 의해 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체 및 이를 포함하는 가스센서

  • 기술번호 : KST2020006309
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 펄스 레이저를 이용한 산화주석 나노와이어의 표면 개질방법, 이에 의해 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체 및 상기 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체를 포함하는 가스 센서를 제공한다. 구체적으로, 상기 산화주석 나노와이어에 펄스 레이저를 조사하여 표면을 개질시킴으로써, 표면에 복수개의 주석산화물(SnO) 나노입자가 구비되어 산화주석 나노와이어의 고유한 특성을 유지하면서도 넓은 표면적을 갖는 산화주석 나노와이어 구조체를 제공할 수 있어, 민감도가 우수한 가스 센서로 적극 활용될 수 있다.
Int. CL C01G 19/02 (2006.01.01) B01J 19/12 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01)
CPC C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01)
출원번호/일자 1020180149899 (2018.11.28)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0063768 (2020.06.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정영규 경기도 화성시
2 권용중 경기도 광주시
3 이창우 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1190561-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0009066-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0079706-74
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0351044-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0351053-25
7 등록결정서
Decision to grant
2020.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0747355-87
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번호 청구항
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반응 챔버 내에 산화주석 나노와이어를 배치하는, 재료준비단계; 및상기 산화주석 나노와이어에 펄스 레이저를 조사하여 표면을 개질하는, 표면처리단계를 포함하며, 상기 표면처리단계에서, 상기 산화주석 나노와이어의 표면에 복수개의 주석산화물 나노입자가 형성되는 것을 특징으로 하고,상기 표면처리단계에서, 상기 산화주석 나노와이어에 19 내지 27kV 범위의 가속 전압으로 50 내지 70초 범위의 시간 동안 펄스 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하고,상기 산화주석 나노와이어는 SnO2 나노와이어이고, 상기 복수개의 주석산화물 나노입자는 SnO 나노입자인 것을 특징으로 하고,상기 표면처리단계에서, 상기 산화주석 나노와이어의 표면에 상기 SnO 나노입자와 함께 SnO2 나노입자도 형성되는 것을 특징으로 하고,상기 펄스 레이저를 이용하여 상기 산화주석 나노와이어의 표면에 상기 SnO 나노입자를 구비하며, 상기 산화주석 나노와이어 내의 결함 증가를 통해 캐리어 밀도가 높여 전도도가 증가시키는 것을 특징으로 하는, 펄스 레이저를 이용한 산화주석 나노와이어의 표면 개질방법
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산화주석 나노와이어; 및펄스 레이저에 의해 상기 산화주석 나노와이어 표면에 형성되어 표면을 개질시킨, 복수개의 주석산화물 나노입자를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 산화주석 나노와이어는 SnO2 나노와이어이고, 상기 복수개의 주석산화물 나노입자는 SnO 나노입자인 것을 특징으로 하고,상기 산화주석 나노와이어의 표면에 상기 SnO 나노입자와 함께 SnO2 나노입자도 형성된 것을 특징으로 하는, 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체
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제1항의 펄스 레이저를 이용한 산화주석 나노와이어의 표면 개질방법에 의하여 형성된 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체
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제7항의 표면 개질된 산화주석 나노와이어 구조체를 포함하는 가스센서
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 생산기술산업원천기술개발 [원천_청정]수소에너지 산업 대응을 위한 수소제조용 다공성 3D 나노구조체 촉매 및 고감도 수소감지 스마트 세라믹 센서 원천기술 개발(2/3)