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멀티 프로버용 척 조립체로서,웨이퍼를 지지하는 척;기판, 상기 기판 상에 형성되어 상기 척 상의 웨이퍼를 향하도록 배치되는 탐침 및 상기 기판을 지지하는 보강부를 포함하는 척 조립체를 포함하며, 상기 척 상부에 체결되는 프로브 카드 구조체;상기 척 하부에서 상기 척을 히팅하는 히터;상기 히터의 하부에 상기 히터로부터 이격 배치되는 도전성 가드판 및상기 히터 및 상기 가드판이 내부에 위치되도록 상기 척 하부에 위치되는 몸체부를 포함하며,상기 프로브 카드 구조체 및 상기 몸체부가 기계적으로 체결되어 카트리지형 구조를 갖도록 형성되고,상기 보강부 및 상기 몸체부 사이에 형성된 락킹부를 포함하되,상기 락킹부는상기 보강부 하부에 형성된 상부 락커 및상기 몸체부의 상부에 형성된 하부 락커를 포함하며,상기 상부 락커 및 상기 하부 락커에는 상호 체결가능한 체결부가 형성되는 척 조립체
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제 1 항에 있어서, 상기 히터와 상기 척 사이에 배치되는 절연 부재를 더 포함하는 척 조립체
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제 1 항에 있어서, 상기 히터 하부와 상기 도전성 가드판 사이에 배치되는 단열 부재를 더 포함하는 척 조립체
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제 1항에 있어서,상기 히터는 도전성 금속판에 의하여 쉴딩 처리되고 AC 전원에 연결되는 척 조립체
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제 1 항에 있어서, 상기 도전성 가드판은 2개 이상으로 형성되고, 상기 2개 이상의 도전성 가드판은 서로 나란하게 이격 배치되는 척 조립체
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제 5 항에 있어서, 상기 척, 상기 도전성 가드판은 절연성 비도전체에 의하여 전기적으로 분리 이격되는 척 조립체
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제 1 항에 있어서, 상기 가드판 하부에 배치되는 접지 부재를 더 포함하는 척 조립체
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제 1항에 있어서, 상기 보강부는 상기 기판의 상부면 상에 위치되는 상부 보강 부재 및 상기 기판의 하부면 하에 위치되는 하부 보강 부재를 포함하는 척 조립체
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제 1항에 있어서, 상기 체결부는 상기 프로브 카드 구조체와 상기 몸체부 사이의 상대 회전에 의하여 상호 체결 가능하도록 형성되는 척 조립체
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제 10 항에 있어서, 상기 락킹부는 상기 기판의 외주부를 따라 복수개로 형성되는 척 조립체
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제 10 항에 있어서, 상기 척 조립체를 이동시킬 수 있도록 상기 보강부 상부에 형성되는 척 조립체 락커를 포함하는 척 조립체
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제 10항에 있어서, 상기 몸체부는 판 형태의 제 1 몸체; 상기 제 1 몸체로부터 하측 방향으로 이격 배치된 제 2 몸체;상기 제 1 몸체 및 상기 제 2 몸체 사이에 결합된 내부 몸체 및 상기 내부 몸체를 중심으로 회전가능하도록 상기 제 1 몸체 및 상기 제 2 몸체 사이에 결합되는 회전 몸체를 포함하고, 상기 하부 락커는 상기 회전 몸체의 상부면 상에 배치되는 척 조립체
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제 13 항에 있어서, 상기 제 1 몸체를 상기 히터로부터 이격 지지하기 위한 몸체부 지지대를 더 포함하는 척 조립체
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제 13 항에 있어서, 상기 제 1 몸체, 상기 제 2 몸체, 상기 내부 몸체 및 상기 회전 몸체는 링 형상으로 이루어지는 척 조립체
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멀티 프로버용 채널로서, 상기 제 1항 내지 제 7항 및 제 9항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 따른 척 조립체가 안착될 수 있는 내부 공간을 갖는 채널 하우징;상기 척 조립체가 상기 채널 하우징 내부 공간으로 가이드될 수 있도록 상기 채널 하우징 내부 양 측벽에 형성되는 한 쌍의 가이드 및상기 채널 하우징 바닥면에 형성되어 상기 척 조립체가 안착되도록 상기 척 조립체의 위치를 조정하는 척 조립체 조정부를 포함하는 채널
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제 16 항에 있어서, 상기 가이드의 높이를 상하 방향으로 이동시키기 위한 가이드 이동부를 더 포함하는 채널
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제 16항에 있어서, 상기 채널 하우징은 AC전원의 중성선(AC Neutral)과 1점-접지(One-point grounding)되어 상기 척 조립체를 외부로부터 전기적으로 차폐시키는 채널
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제 16항에 있어서, 상기 척 조립체 조정부는 상기 척 조립체를 x축, y축 및 z축 방향으로 이동 시킬 수 있는 구동부를 포함하는 채널
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제 16항에 있어서, 상기 채널 하우징은 일 측면에 상기 척 조립체가 출입할 수 있는 도어를 구비하는 채널
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제 16항에 있어서, 상기 채널 하우징은 타 측면에 상기 척 조립체와 연결되는 신호선 또는 상기 척 조립체 조정부와 연결되는 케이블이 관통되는 개구가 형성되는 채널
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제 16항에 있어서, 상기 채널 하우징은 육면체의 금속성 케이스로 제공되는 채널
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