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나노 임프린트 공정을 이용한 촉매의 패턴형성방법 |
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| [KST2015081356][한국전자통신연구원] |
나노 임프린트용 질화실리콘 스탬프, 및 이의 제작 방법 |
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| [KST2015094841][한국전자통신연구원] |
전도성 고분자를 포함하는 도전 패턴 형성 방법 및 이를이용한 분자 전자소자의 제조 방법 |
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| [KST2015087349][한국전자통신연구원] |
건식 리소그라피 방법 및 이를 이용한 게이트 패턴 형성방법 |
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나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법 |
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| [KST2015082591][한국전자통신연구원] |
금 전자빔 레지스트를 이용한 금 패턴 형성 방법 |
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| [KST2015088532][한국전자통신연구원] |
고상-액상반응을이용한반도체간의접착방법 |
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소자의 제작 방법 |
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| [KST2022019772][한국전자통신연구원] |
질화갈륨 마이크로 구조체 |
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사중극자 질량 분석기를 이용한 챔버 상태 모니터링 방법 |
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| [KST2015081307][한국전자통신연구원] |
나노임프린트 몰드 제작 방법 |
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| [KST2015076745][한국전자통신연구원] |
실리콘 기판 표면위의 금속 오염물 제거방법 |
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기판접합기술을이용한서로다른활성층두께를갖는SOI구조의기판제조방법 |
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ｐ－형 산화아연층의 형성 방법 및 ｐ－형 산화아연층을포함하는 반도체 소자의 제조 방법 |
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| [KST2015073659][한국전자통신연구원] |
예각프리즘어레이를이용한크로스오버광배선망의평면집적방식 |
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나노임프린팅 리소그래피를 이용한 나노와이어 소자제조방법 |
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반도체 웨이퍼 제조용 횡형 확산로 |
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산화 아연 나노 패턴 형성방법 |
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반도체 물질의 패터닝 방법 |
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정렬 마크 제조 방법 |
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반사형이진위상격자의제조방법과반사형이진위상격자를이용한점배열발생방법 |
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