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폴리싱패드에 대한 컨디셔닝을 수행하도록 마련된 컨디셔닝디스크유닛;상기 컨디셔닝디스크유닛의 상부에 결합되며 원반 형태의 몸체를 형성하는 홀더디스크, 상기 홀더디스크의 중심부에 형성되며 소정의 깊이만큼 함몰되어 형성된 함입부 및 복수개의 홀더결합홀을 갖는 홀더디스크유닛;상기 홀더디스크유닛의 상부에 결합되며, 원반 형태의 몸체를 형성하는 커버디스크를 갖는 커버디스크유닛;상기 홀더디스크유닛과 상기 커버디스크유닛 사이의 내측에 결합되며, 외주면에 끼움부가 형성되는 짐벌디스크유닛; 및상기 짐벌디스크유닛의 외주면 및 상기 홀더디스크유닛에 결합되고, 상기 홀더결합홀에 결합되는 핀결합체 및 상기 핀결합체의 상부에 형성되며, 상기 끼움부에 끼움 결합되도록 마련된 핀헤드를 갖는 핀유닛을 포함하며,상기 커버디스크는, 상기 홀더디스크와 외경이 동일하게 형성되며, 하부가 소정의 깊이만큼 함몰 형성되어 상기 홀더디스크의 상부에 결합되었을 때 상기 홀더디스크와 상기 커버디스크의 내측에 상기 짐벌디스크유닛이 삽입될 수 있는 공간이 형성되도록 마련되며,상기 커버디스크의 하부와 상기 함입부에 의해 형성된 상기 공간은 상기 짐벌디스크유닛의 두께보다 크게 형성됨으로써, 상기 커버디스크와 상기 홀더디스크가 상기 폴리싱 패드의 상면 형상에 대응하여 기울어질 수 있도록 마련되고,상기 핀헤드는 상기 끼움부에 끼움 결합된 상태에서 상기 핀결합체를 통해 고정 결합된 상기 컨디셔닝디스크유닛, 상기 홀더디스크유닛, 상기 커버디스크유닛의 기울기가 상기 폴리싱패드의 상면의 윤곽에 대응하여 기울어지도록 상기 핀헤드와 상기 끼움부 사이에는 틈이 형성되도록 마련된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 1 항에 있어서,상기 홀더디스크유닛은,상기 함입부의 중심에 형성되며 상부를 향해 볼록하게 돌출된 원형으로 형성된 볼록부; 및상기 함입부의 바깥측에 형성되며, 상기 홀더디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 상기 홀더결합홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 2 항에 있어서,상기 홀더디스크유닛은,상기 함입부와 상기 홀더결합홀 사이에 형성되며, 상기 홀더디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 홀더지지부; 및상기 홀더결합홀의 바깥측에 형성되며, 상기 홀더디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 홀더체결홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 1 항에 있어서,상기 커버디스크유닛은,상기 커버디스크의 내측에 중공 형성된 커버중공부; 및상기 커버디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 커버체결홀을 포함하며,상기 커버체결홀은 상기 홀더디스크유닛에 형성된 홀더체결홀과 대응되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 1 항에 있어서,상기 짐벌디스크유닛은,원반 형태의 몸체를 형성하는 짐벌디스크; 및상기 짐벌디스크의 외주면에 톱니 형태로 형성되며, 상기 짐벌디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 상기 끼움부를 포함하며,상기 끼움부는 상기 홀더디스크유닛에 마련된 홀더결합홀과 대응되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 5 항에 있어서,상기 짐벌디스크유닛은,상기 짐벌디스크의 중심부에 형성되며, 상기 짐벌디스크의 상부 및 하부를 향해 연장 형성된 짐벌연장부;상기 짐벌연장부의 중심에 중공 형성된 짐벌중공부;상기 짐벌연장부에 형성되며, 상기 짐벌디스크의 중심으로부터 동심원 위치를 따라 등간격으로 배치된 복수개의 짐벌체결부; 및상기 짐벌연장부의 하부 중앙에 함몰 형성되며, 상기 홀더디스크유닛의 볼록부와 대응되는 위치 및 형상으로 형성된 짐벌함입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 핀헤드의 직경은 상기 끼움부의 내경보다 작게 형성되어, 상기 컨디셔닝디스크유닛, 상기 홀더디스크유닛 및 상기 커버디스크유닛이 상기 폴리싱패드의 상면의 형태에 대응하여 기울어질 수 있도록 마련된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 6 항에 있어서,상기 짐벌디스크유닛은,상기 짐벌디스크로부터 이격되어 형성되되, 상기 짐벌디스크를 감싸도록 형성된 짐벌커버를 더 포함하며,상기 짐벌커버는 상기 끼움부와 대응되는 형상으로 마련된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 9 항에 있어서,상기 핀헤드는,상기 끼움부와 상기 짐벌커버 사이에 마련되며, 탄성력을 갖는 소재로 구비된 것을 특징으로 하는 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체
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제 1 항에 따른 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체가 구비된 컨디셔닝장치
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제 1 항에 따른 CMP설비용 컨디셔닝장치의 디스크결합체가 구비된 CMP설비
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