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나노선 구조 기반 질화물계 반도체 센서

  • 기술번호 : KST2020006536
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판, 상기 기판 상에 배치된 소스 및 드레인 전극들, 상기 소스 및 드레인 전극들 사이에서 상기 기판 상에 배치된 나노선 구조들을 포함하는 베리어층, 및 상기 나노선 구조들의 표면을 컨포말하게 덮는 기능화막을 포함하되, 상기 기판은 상기 소스 및 드레인 전극들 사이에서 상기 기판의 하면에 형성된 리세스 영역을 포함하는 나노선 구조 기반 질화물계 반도체 센서와 그 제작 방법을 개시한다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/311 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190053149 (2019.05.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0068549 (2020.06.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180155578   |   2018.12.05
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안호균 대전광역시 유성구
2 김해천 대전광역시 유성구
3 정현욱 대전광역시 유성구
4 임종원 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0464489-10
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번호 청구항
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기판;상기 기판 상에 배치된 소스 및 드레인 전극들;상기 소스 및 드레인 전극들 사이에서 상기 기판 상에 배치된 나노선 구조들을 포함하는 베리어층; 및상기 나노선 구조들의 표면을 컨포말하게 덮는 기능화막을 포함하되,상기 기판은 상기 소스 및 드레인 전극들 사이에서 상기 기판의 하면에 형성된 리세스 영역을 포함하는 나노선 구조 기반 질화물계 반도체 센서
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