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광위상배열과 광도파로로 연결되고, 상기 광위상배열에서 미리 설정된 광파의 세기 비율에 의해, 상기 광위상배열의 발산기에서 자유공간으로 방사되고 남은 광파 성분을 상기 광도파로를 통해 입력 받아 회절 및 간섭 현상을 겪으면서 상기 광위상배열에서 자유공간으로 방사되는 원거리장과 동일한 특성을 갖는 특정한 원거리장을 형성하는 회절기 소자; 및상기 형성된 원거리장을 모니터링하는 모니터링 소자를 포함하며,상기 회절기 소자 및 상기 모니터링 소자는상기 광위상배열과 동일한 광집적회로 칩 상에 배치되고,상기 모니터링 소자는상기 형성된 원거리장을 수광하는 출력포트 어레이 소자; 및상기 출력포트 어레이 소자를 통해 수광된 원거리장을 전기 신호로 변환하여 상기 광위상배열이 자유공간으로 방사하는 원거리장을 검출하는 광검출기 어레이 소자를 포함하며,상기 회절기 소자는상기 회절기 소자의 계면 부분 중 상기 출력포트 어레이 소자가 위치하지 않은 영역 중 일정 영역이 도핑된 도핑 영역을 포함하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 회절기 소자는직육면체 형태 또는 단면이 반원인 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 회절기 소자는상기 회절기 소자의 계면 부분의 일정 영역이 도핑된 도핑 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 출력포트 어레이 소자를 구성하는 각각의 출력포트 소자는테이퍼되지 않은 광도파로의 구조 또는 테이퍼된 광도파로의 구조를 사용하여 수광하는 광파 세기의 비율을 조절하는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 회절기 소자는실리콘, 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 중 적어도 하나 이상을 포함하는 반도체 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 출력포트 어레이 소자를 구성하는 각각의 출력포트 소자는실리콘, 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 중 적어도 하나 이상을 포함하는 반도체 소재로 구성되는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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제1항에 있어서,상기 광검출기 어레이 소자를 구성하는 각각의 광검출기 소자는실리콘 또는 화합물 반도체를 사용한 진행파형 광검출기(traveling-wave photodetector) 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 내장형 원거리장 모니터링 시스템
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