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연자성 및 경자성으로 구성되는 다층박막 제조방법에 있어서,챔버 내에 복수 개의 자성물질을 배치하고, 각각의 상기 자성물질이 구비된 증발기에 셔터를 구비하는 자성물질 배치단계;상기 셔터의 개문조건을 조절하고 제어하는 셔터 개문조건 제어단계; 및상기 셔터의 개문조건에 따라 기판 상에 연자성물질 및 경자성물질이 교차로 증착되며 연자성-경자성 다층박막을 형성하는 다층박막 형성단계; 를 포함하여 구성되는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 1항에 있어서,상기 다층박막 형성단계에서, 상기 연자성물질 및 상기 경자성물질은, 상기 기판의 영역마다 상이한 조성비를 갖도록 증착되는 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 1항에 있어서,상기 셔터의 상기 개문조건은,상기 셔터의 개문시간 및 개문여부인 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 개문여부를 제어하여,상기 복수 개의 자성물질 중 적어도 하나 이상으로 구성되는 연자성물질 및 경자성물질이 상기 기판 상에 교차로 증착되게 형성하는 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 3항에 있어서,상기 개문시간을 제어하여,상기 기판 상에 형성되는 연자성물질 및 경자성물질의 두께비를 조절하는 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 1항에 있어서,상기 복수 개의 자성물질은, Fe, Co 및 Sm 이며,상기 Sm 자성물질이 구비된 상기 셔터의 개문조건을 조절하여,상기 기판상에 FeCo 및 FeCoSm이 교차로 증착되며 연자성-경자성 다층박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 1항에 있어서,상기 다층박막 형성단계 이후에, 히스테리시스 곡선 연속 측정장치를 이용하여 상기 다층박막의 자기특성을 측정하는 자기특성 측정단계; 및 상기 자기특성에 기초하여 해당 영역의 잔류자화 및 보자력을 확인하고, 상기 다층박막으로 이루어진 자성재료의 최적 조성비 및 두께비를 특정하는 자성재료 최적비 특정단계;를 더 포함하여 구성되는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제 7항에 있어서,상기 자성재료 최적비 특정단계에서,상기 잔류자화 및 보자력은 히스테리시스 곡선(hysteresis loop)을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료 최적화 방법에 의하여 최적화된 연자성-경자성 다층박막으로 구성되는 자성재료
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